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    Cooled echelle grating spectrometer
    101.
    发明授权
    Cooled echelle grating spectrometer 失效
    冷却的梯形光栅光谱仪

    公开(公告)号：US4205229A

    公开(公告)日：1980-05-27

    申请号：US956529

    申请日：1978-10-31

    Applicant: Robert A. Administrator of the National Aeronautics and Space Administration, with respect to an invention of Frosch ,  Reinhard Beer

    Inventor： Robert A. Administrator of the National Aeronautics and Space Administration, with respect to an invention of Frosch ,  Reinhard Beer

    IPC: G01J3/18 ,  G01J1/00

    CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/0286

    Abstract: A cooled echelle grating spectrometer for detecting wavelengths between one micron and fifteen microns. More specifically, a spectrometer is disclosed having a cross-dispersing grating for ordering infrared energy, and an echelle grating for further ordering of the infrared energy. Means are disclosed to direct infrared energy to the cross-dispersing grating and then to the echelle grating. Ordered radiation from the echelle grating is sensed by a detecting means. Means are also disclosed for cooling the cross-dispersing grating, the echelle grating and the detecting means so that background radiation can be minimized. In a specific embodiment the cross-dispersing grating and echelle grating are in separate enclosed volumes having access to each other through a single intermediate aperture, reflected energy from the cross-dispersing grating being focused so as to pass through the intermediate aperture and then collimated and directed to the echelle grating for further ordering. Also disclosed is use of a Schmidt camera for focusing the further ordered radiation from the echelle grating onto a detector array having individual detectors dispersed on a plane which substantially corresponds to a curved focal plane of the Schmidt camera. A spectrometer constructed according to the teachings of the present invention will continuously cover the spectrum between one micron and fifteen microns and have a resolution of 0.1 cm..sup.-1.

    Abstract translation: 用于检测1微米至15微米波长的冷却式梯形光栅光谱仪。 更具体地，公开了一种具有用于排列红外能量的交叉分散光栅的光谱仪，以及用于进一步排列红外能量的梯形光栅。 公开的手段是将红外能量引导到交叉分散光栅，然后到梯形光栅。 通过检测装置感测来自梯形光栅的有序辐射。 还公开了用于冷却交叉分散光栅，梯形光栅和检测装置的装置，使得可以最小化背景辐射。 在一个具体实施例中，交叉分散光栅和梯形光栅处于分离的封闭体积中，其通过单个中间孔相互接近，来自交叉分散光栅的反射能量被聚焦以便穿过中间孔然后准直 针对梯形栅格进一步排序。 还公开了使用施密特照相机将来自梯形光栅的进一步有序辐射聚焦到具有分散在基本上对应于施密特照相机的弯曲焦平面的平面上的各个检测器的检测器阵列上。 根据本发明的教导构造的光谱仪将连续地覆盖1微米至15微米的光谱并具有0.1厘米-1的分辨率。

    METHOD AND SYSTEM FOR DATA PROCESSING FOR DISTRIBUTED SPECTROPHOTOMETRIC ANALYZERS
    104.
    发明申请
    METHOD AND SYSTEM FOR DATA PROCESSING FOR DISTRIBUTED SPECTROPHOTOMETRIC ANALYZERS 审中-公开

    公开(公告)号：WO2018090142A1

    公开(公告)日：2018-05-24

    申请号：PCT/CA2017/051374

    申请日：2017-11-17

    Applicant: BARWICZ, Andrzej ,  MORAWSKI, Roman Z.

    Inventor： BARWICZ, Andrzej ,  MORAWSKI, Roman Z.

    IPC: G01J3/28

    CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/18 ,  G01J3/1809

    Abstract: A method of spectrophotometric analysis is disclosed. There is provided a measuring system including a low-resolution spectrophotometric sensor, a device of mobile communication (such as smartphone or tablet) and software which may be installed partially on that device and partially on a remote computing server or service. The method includes calibration of a measurement channel, oriented on measuring optical spectra or spectrum- related quantities; estimation of the optical spectrum of an arbitrary, analyzed sample, on the basis of the data from the sensor and the results of calibration; and evaluation of a spectrum-related quantity on the basis of the results of estimation. These steps may include involvement of local and/or remote computing resources.

    ACTIVE SPECTRAL CONTROL DURING SPECTRUM SYNTHESIS
    105.
    发明申请
    ACTIVE SPECTRAL CONTROL DURING SPECTRUM SYNTHESIS 审中-公开
    在光谱合成期间的主动光谱控制

    公开(公告)号：WO2013162850A1

    公开(公告)日：2013-10-31

    申请号：PCT/US2013/035337

    申请日：2013-04-04

    Applicant: CYMER, LLC

    Inventor： ROKITSKI, Rostislav ,  SEONG, Nakgeuon ,  O'BRIEN, Kevin, M.

    IPC: G01J3/28

    CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J3/027 ,  G01J3/1809 ,  G01J11/00 ,  G01J2001/4238 ,  G01J2009/006 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/7085

    Abstract: A spectral feature of a pulsed light beam produced by an optical source is estimated by modifying the wavelength of the pulsed Sight beam based on a predefined repeating pattern having a pattern period including, a plurality of steps, the modification including shifting the wavelength of the pulsed light beam by a wavelength offset from, a baseline wavelength for each step in the pattern period measuring the wavelength of the light beam for each step in the pattern period as the wavelength is modified across the pattern; and estimating a spectral feature of the pulsed light beam over an evaluation window that includes all of the steps within the pattern period based at least in part on the measured wavelength of the light beam for each step in the pattern period.

    Abstract translation: 由光源产生的脉冲光束的光谱特征通过基于具有包括多个步骤的模式周期的预定义的重复图案修改脉冲视场光束的波长来估计，该修改包括将脉冲 波长偏移波长偏移，在图案周期中的每个步骤的基线波长，测量在图案周期中的每个步骤的波长的波长，作为波长在整个图案上被修改; 以及至少部分地基于所述模式周期中的每个步骤的所述光束的波长来估计包括所述模式周期内的所有步骤的评估窗口上的所述脉冲光束的光谱特征。

    SPEKTROMETERANORDNUNG
    106.
    发明申请
    SPEKTROMETERANORDNUNG 审中-公开
    谱仪安排

    公开(公告)号：WO2011076598A1

    公开(公告)日：2011-06-30

    申请号：PCT/EP2010/069472

    申请日：2010-12-13

    Applicant: LEIBNIZ - INSTITUT FÜR ANALYTISCHE WISSENSCHAFTEN - ISAS - E.V. ,  FLOREK, Stefan ,  BECKER-ROSS, Helmut ,  OKRUSS, Michael

    Inventor： FLOREK, Stefan ,  BECKER-ROSS, Helmut ,  OKRUSS, Michael

    IPC: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/14

    CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0235 ,  G01J3/14 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1828

    Abstract: Eine Spektrometeranordnung (10) enthaltend ein Echelle-Gitter (18; 46) zur Dispersion der in die Spektrometeranordnung (10) eintretenden Strahlung in einer Hauptdispersionsrichtung, und eine Dispersionsanordnung (16; 40) zur Dispersion eines aus der in die Spektrometeranordnung eintretenden Strahlung erzeugten parallelen Strahlenbündels in einer Querdispersionsrichtung, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Dispersionsanordnung (16; 40) reflektierend und in Bezug auf das Echelle-Gitter (18; 46) derart angeordnet ist, dass das parallele Strahlenbündel in Richtung auf das Echelle-Gitter reflektiert wird. Das Echelle-Gitter (18; 46) kann vorzugsweise derart angeordnet sein, dass die dispergierte Strahlung zurück in Richtung auf die Dispersionsanordnung (16; 40) reflektiert wird. )

    Abstract translation: 光谱仪布置（10），包括一个阶梯光栅（18; 46），用于（10）的光谱仪装置的分散在一个主分散方向进入辐射和分散组件（16; 40），用于从进入分光计布置辐射所产生的平行分散 光束在横向分散的方向，其特征在于，所述分散体的装置;反射和相对于所述阶梯光栅（16 40）（18; 46），该平行光束被反射在阶梯光栅的方向被设置成。 的阶梯光栅（18; 46）可以优选地布置成使得分散辐射回在分散装置的方向（16; 40）被反射。 ）

    HOCHAUFLÖSENDES SPEKTROMETER
    108.
    发明申请
    HOCHAUFLÖSENDES SPEKTROMETER 审中-公开
    高分辨率光谱仪

    公开(公告)号：WO2005040740A1

    公开(公告)日：2005-05-06

    申请号：PCT/EP2004/009914

    申请日：2004-09-06

    Applicant: GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG ANGEWANDTER OPTIK, OPTOELEKTRONIK, QUANTENELEKTRONIK UND SPEKTROSKOPIE E.V. ,  GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER SPEKTROCHEMIE UND ANGEWANDTEN SPEKTROSKOPIE E.V. ,  BECKER, Ross, Helmut ,  FLOREK, Stefan ,  WESEMANN, Günter

    Inventor： BECKER, Ross, Helmut ,  FLOREK, Stefan ,  WESEMANN, Günter

    IPC: G01J3/22

    CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/22

    Abstract: Ein hochauflösendes Spektrometer (10) ist mit einem Eintrittsspalt (12), einem dispergierenden Element (16), einer Kameraoptik (14), und einer Detektoranordnung mit einem Detektor (22) ausgestattet. Die optischen Komponenten sind analog zu einer Littrow-Anordnung so zueinander angeordnet, dass Strahlung, welche durch den Eintrittsspalt (12) in das Spektrometer (10) eintritt, mittels der Kameraoptik (14) auf das dispergierende Element (16), und danach bis auf einen kleinen Winkel (y) in sich zurück über die gleiche Kameraoptik (14) leitbar und auf dem Detektor (22) fokussierbar ist. Es sind ferner Mittel (18, 20) zur Erzeugung einer Mehrfachdispersion durch das dispergierende Element (16) vorgesehen. Das Spektrometer ist dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Erzeugung der Mehrfachdispersion wenigstens zwei reflektierende, ebene Flächen (18, 20) umfassen, die miteinander einen rechten Winkel bilden und welche die dispergierte und fokussierte Strahlung (3) zuerst in Richtung auf eine der jeweils anderen reflektierenden Flächen und dann in Richtung auf das dispergierende Element (16) zurückreflektieren. Die reflektierenden Flächen sind so angeordnet sind, dass sich der Eintrittsspalt (12) in der Schnittlinie der Ebenen befindet, welche durch die reflektierenden Flächen (18, 20) definiert sind.

    Abstract translation: 高分辨率光谱仪（10）配备有一个入口狭缝（12），分散元件（16），照相机镜头（14），并且包括：检测器（22）的检测器组件。 光学部件被类似地布置成一个利特罗排列彼此，使得辐射穿过入口狭缝（12）到光谱仪（10）到所述分散体由相机光学器件的装置（14）进入（16），之后，直到 在通过相同的相机光学器件（14）背面的小角度（y）被可聚焦来进行与检测器（22）上。 这里还提供了装置（18，20）提供了一种通过分散元件（16）产生的多分散性。 该光谱仪的特征在于：用于产生至少两个反射平面表面（18，20）的多个分散的装置，它们一起形成一个直角，并且所述分散的和聚焦的辐射（3）首先在彼此的顶部方向 反射回来的反射表面，然后在分散元件（16）的方向。 反射面被布置成使得所述入口狭缝（12）是在其通过所述反射表面（18，20）所限定的平面的相交处。

    TRANSIENT SPECTROSCOPIC METHOD AND APPARATUS FOR IN-PROCESS ANALYSIS OF MOLTEN METAL
    109.
    发明申请
    TRANSIENT SPECTROSCOPIC METHOD AND APPARATUS FOR IN-PROCESS ANALYSIS OF MOLTEN METAL 审中-公开
    瞬态光谱方法和装置用于金属金属的过程分析

    公开(公告)号：WO1990013008A1

    公开(公告)日：1990-11-01

    申请号：PCT/US1990002078

    申请日：1990-04-20

    Applicant: LEHIGH UNIVERSITY

    Inventor： LEHIGH UNIVERSITY ,  KIM, Yong, W.

    IPC: G01J03/36

    CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/04 ,  G01J3/28 ,  G01J3/2889 ,  G01J2003/1828 ,  G01N21/718 ,  G01N2021/695

    Abstract: A method and apparatus for in-process transient spectroscopic analysis of a molten metal, wherein a probe (10) containing a pulsed high-power laser (14) producing a pulsed laser beam having a substantially triangular pulse waveshape is immersed in the molten metal and irradiates a representative quantity of the molten metal. The pulsed laser beam vaporizes a portion of the molten metal to produce a plasma plume having an elemental composition representative of the elemental composition of the molten metal. Before the plasma plume reaches thermal equilibrium shortly after termination of the laser pulse, a spectroscopic detector (241) in the probe (10) detects spectral line reversals, during a short first time window. Thereafter, when the afterglow plasma is in thermal equilibrium, a second spectroscopic detector (242) also in the probe (10) performs a second short time duration spectroscopic measurement. A rangefinder (22) measures and controls the distance between the molten metal surface and the pulsed laser (14).

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