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公开(公告)号：KR100277695B1
公开(公告)日：2001-02-01
申请号：KR1019980037714
申请日：1998-09-12
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 반도체 기술에 관한 것으로, 특히 광도파로(optical waveguide), 발광소자(light emitting device) 및 수광소자(light receiving device)와 같은 광소자(optical device), 그리고 광섬유 등이 동일한 기판에 실장되는 하이브리드 광집적회로용 기판 제조방법에 관한 것이며, SOI 광도파로의 리브 영역과 광소자용의 정렬 마크 그리고 광섬유 정렬용 V-홈 패턴 사이의 사진전사 정렬 오차를 최소화하며, 다른 부분에 나쁜 영향을 미치지 않으면서 SOI 광도파로의 단면에 최적화된 반사방지막을 구비한 하이브리드 광집적회로용 기판 제조방법을 제공하고자 한다. 본 발명은 SOI 광도파로의 리브 영역과 광소자용의 정렬 마크 그리고 광섬유 정렬용 V-홈 패턴을 자기정렬 방식으로 형성하여 그들 사이의 사진전사 정렬 오차를 최소화한다. 즉, 광소자의 정렬방법으로 기계적인 구조물을 사용치 않고 마크에 의한 인덱스 정렬을 이용할 수 있도록 기판을 형성함으로써 정밀한 광소자의 가공이 필요치 않고 광섬유 정렬용의 V-홈과 SOI 광도파로 그리고 광소자 정렬용의 마크들 간의 정렬정밀도가 우수하여 높은 광결합 효율을 얻을 수 있다. 또한, 본 발명은 SOI 광도파로와 광섬유 및 광소자 정렬용 구조체를 제조하는 과정에서 다른 부분에 나쁜 영향을 미치지 않으면서 SOI 광도파로의 단면에 특성이 우수한 반사방지막을 도포할 수 있도록 한다.
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公开(公告)号：KR100256705B1
公开(公告)日：2000-05-15
申请号：KR1019970058901
申请日：1997-11-08
IPC: B23K26/08
Abstract: PURPOSE: A laser welding machine and a method for producing a multi-channel optical module package are provided to reduce a displacement and to arrange and to weld multi-channel optical fibers. CONSTITUTION: A laser welding machine contains an auxiliary module holder(21) located in a base to install an auxiliary module substrate; an optical direction converter(10) to arrange an optical fiber housing holder(11) by installing in both sides of the auxiliary module holder(21); many beam heads(41) installed in the optical fiber housing holder(11) and to irradiate laser beams for welding an optical fiber housing(61) and an auxiliary module substrate; a beam delivery(40) to offer directional force by installing in the beam head(41) and to fix a focus of laser beams; and positional displacement devices(30,33,34) of the beam delivery to move the beam delivery(40). Thereby, the multi-channel optical fibers are stuck to various multi-channel elements. Moreover, various welding portions are formed by simply controlling a stage of the beam delivery.
Abstract translation: 目的：提供激光焊接机和多通道光模块封装的制造方法，以减少位移，并布置和焊接多通道光纤。 规定：激光焊接机包含位于基座中的辅助模块支架（21），用于安装辅助模块基板; 光学方向转换器（10），通过安装在辅助模块保持器（21）的两侧来布置光纤壳体保持器（11）; 许多光束头（41）安装在光纤壳体保持器（11）中并照射用于焊接光纤壳体（61）和辅助模块基板的激光束; 光束传送（40），通过安装在光束头（41）中并固定激光束的焦点来提供定向力; 以及所述光束传送的位移位移装置（30,33,34）以移动所述光束传送（40）。 由此，多声道光纤被粘贴到各种多声道元件上。 此外，通过简单地控制束输送的阶段来形成各种焊接部分。
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公开(公告)号：KR100249518B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019970061818
申请日：1997-11-21
CPC classification number: G02B6/4201 , G02B6/30 , G02B6/4225 , G02B6/4237 , G02B6/4249 , G02B6/4256 , G02B6/4267 , G02B6/4268 , G02B6/4271
Abstract: 본 발명은 모듈 특성을 열화시키지 않으면서 모듈 외부의 열적 환경 변화에 대해서 매우 안정된 특성을 유지하도록, 열변형을 최소화하기 위한 완충 장치를 갖는 광스위치 모듈을 제공하고자 하는 것으로, 이를 위해 본 발명은, 광스위치 소자에 광섬유 어레이를 고정하기 위한 광스위치 모듈에 있어서, 상기 광섬유 어레이를 고정하는 광섬유 고정대; 상기 광섬유 고정대와 동종접합을 이루며, 제1 열변형완충장치를 갖는 제1지지수단; 및 상기 제1지지수단과 이종접합을 이루어 상기 제1지지수단을 지지하고, 상기 광스위치 소자를 지지하며, 제2 열변형완충장치를 갖는 제2지지수단을 포함하여 이루어진다. 바람직하게, 상기 제1지지수단은 제1 열변형완충장치로서 그 주연부에 국부적으로 다수의 슬롯을 갖는다. 또한, 상기 제2지지수단은 그 중앙부에서 상기 광스위치 소자를 지지하고 양측단부에서 상기 제1지지수단을 지지하며, 상기 양측단부에서 상기 제2 열변형 완충 장치로서의 오픈부를 갖는다. 상기 광섬유고정대는 SUS304L 재질이고, 상기 제1지지수단은 SUS304L 재질의 플레이트이고, 상기 제2지지수단은 Cu-W 재질을 갖는다. 상기 제1지지수단과 상기 제2지지수단은 상기 제1지지수단의 모서리에서 용접되어 서로 고정된다.
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公开(公告)号：KR1020000002285A
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019980022958
申请日：1998-06-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/02
CPC classification number: G02B6/4237 , B23K26/22 , G02B6/422 , G02B6/4226
Abstract: PURPOSE: A method for correcting optical alignment of a multi-channel optical element module is provided to correct a displacement to all directions during laser hammering. CONSTITUTION: The method for correcting optical alignment of the multi-channel optical element module includes laser hammering process. An array of optical fiber is corrected by the laser hammering process, then it is possible to be moved to the horizontal, vertical and shaft direction and also rotating direction along each of the shaft. Thus, the displacement of the array of optical fiber is corrected about all direction to obtain the reliable multi-channel optical element module.
Abstract translation: 目的：提供一种用于校正多通道光学元件模块的光学对准的方法，以在激光锤击期间校正所有方向上的位移。 构成：用于校正多通道光学元件模块的光学对准的方法包括激光锤击处理。 通过激光锤击处理来校正光纤阵列，然后可以沿着每个轴移动到水平，垂直和轴方向以及旋转方向。 因此，针对所有方向校正光纤阵列的位移以获得可靠的多通道光学元件模块。
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公开(公告)号：KR100211998B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960034665
申请日：1996-08-21
IPC: B23K26/04 , B23K26/042
Abstract: 본 발명은 레이저빔의 초점거리에 용접부위의 위치를 정확히 위치시켜 이상적인 용접부위를 형성할 수 있는 레이저 용접 시스템의 용접부위 지시장치에 관한 것으로, 용접하고자 하는 광학부품 또는 모듈 제작용 부품을 고정하기 위한 Nd-YAG 레이저 본체 및 레이저 출사 유니트로 구성된 레이저 용접 시스템의 용접부위 지시장치에 있어서, 상기한 레이저 출사 유니트의 헤드(25)의 양측에, 용접부위 지시용 가시광선(45a,45b)을 방출하기 위한 가시광선 방출수단과(40a,40b) 상기한 가시광선 방출수단(40a,40b)에 대한 x,y,z 방향의 위치를 조절하기 위한 위치조절수단(32a,32b)을 각각 부설한 것을 특징으로 한다. 본 발명의 용접부위 지시장치를 채용한 레이저 용접 시스템을 사용하여 용접을 수행하는 경우, 용접후의 변위를 최소한으로 줄일 수 있고, 모듈제작시의 불량율을 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 공정시간 단축을 통한 생산성 증대를 가져올 수 있는 등의 효과가 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100211974B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960061030
申请日：1996-12-02
IPC: G02B6/24
Abstract: 본 발명은 단위 광소자용 보조장치에 관한 것으로, 특히, 초소형의 단위 광소자를 광모듈로 조립하기 전에 선행되는 각종 시험과 같은 반복적인 취급 과정을 용이하게 수행할 수 있는 단위 광소자용 보조장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 단위 광소자용 보조장치는, 광소자의 구동시 발생된 열을 분산시키기 위한 받침대(21)와, 받침대(21)상에 장착되고, 상부에는 전기적인 연결을 위한 적어도 한개의 전극용 금속선(27,28)이 형성되며, 상기한 한 개의 전극용 금속선(28)에는 시험용 단위 광소자가 위치하는 탐사침 접점부위(48)가 형성된, 전극용 보조 받침대(24)와, 탐사침(46)이 중앙부에 하향으로 삽입 고정되고 그 후방 일측에는 회전봉(42)이 삽입 설치된 회전판(41)과, 상기한 회전봉(42)의 양단을 지지하기 위한 지지대(29,30)와, 상기한 지지대(29,30)와 상기한 전극용 보조받침대(24)를 상기한 받침대(21)에 고정하기 위한 고정수단으로 구성되어, 시험용 단위 광소자의 착탈시에는 상기한 회전판(41)이 회전봉(42)을 중심으로 회동하여 열림 상태로 되는 한편, 시험용 단위 광소자가 � �기한 전극용 보조받침대(24)의 탐사침 접점부위(48) 상에 탑재된 경우에는 상기한 회전판(41)이 회전봉(42)을 중심으로 회동하여 상기한 탐사침(46)이 단위 광소자와 접촉하는 닫힘 상태로 전환되도록 구성된 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR100211943B1
公开(公告)日：1999-08-02
申请号：KR1019960068950
申请日：1996-12-20
IPC: G02B6/42
Abstract: 본 발명은 광통신용 레이저 광원인 광송신 모듈에서 플립칩 본딩된 레이저 다이오드와 광섬유의 광결합 장치 및 광결합 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광결합 장치는, 와이어 본딩 패드와, 상기한 레이저 다이오드의 솔더범프와 접폭하는 플립칩 본딩용 접합부가 일면에 구비되고, 그 일측 중앙부에는 상기한 테이퍼드 광섬유가 삽입되어 레이저 다이오드의 활성영역과 광정렬이 수행되도록 하는 브이홈이 형성된 실리콘 기판과, 전체적으로 L자 형태를 지니고, 그 일측에는 테이퍼드 광섬유가 고정된 실리콘 기판이 고정 장착되는 실리콘 기판 장착부가 구비되고, 타측에는, 테이퍼드 광섬유가 삽입되는 광섬유 삽입공이 중앙에 천설되고, 그 상면 일측에는 광섬유 삽입공을 통해 삽입된 테이퍼드 광섬유를 고정하기 위한 에폭시가 주입되는 에폭시 주입공이 구비되어 정렬이 완료된 광섬유를 고정 지지하기 위한 광섬유 지지봉이 돌출 설치된 지지부재로 구성된다. 또한 본 발명에 따른 레이저 다이오드와 광섬유의 광결합 방법은, 레이저 다이오드를 실리콘 기판에 플립칩 본딩하는 단계와, 테이퍼드 광섬유를 지지부재의 광섬유 삽입공을 통해 삽입하는 단계와, 레이저 다이오드가 플립칩 본딩된 실리콘 기판을 실리콘 기판 지지수단 위에 재치하고 광섬유를 상기한 실리콘 기판의 브이홈에 위치시킨 후, 광섬유를 능동정렬하는 단계와, 광섬유를 실리콘 기판에 고정시키는 단계와, 실리콘 기판을 상기한 지지부재의 실리콘 기판 장착부 상에 장착하는 단계와, 실리콘 기판과 지지부재 및 광섬유와 지지부재를 고정시키는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019990041254A
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019970061818
申请日：1997-11-21
Abstract: 본 발명은 모듈 특성을 열화시키지 않으면서 모듈 외부의 열적 환경 변화에 대해서 매우 안정된 특성을 유지하도록, 열변형을 최소화하기 위한 완충 장치를 갖는 광스위치 모듈을 제공하고자 하는 것으로, 이를 위해 본 발명은, 광스위치 소자에 광섬유 어레이를 고정하기 위한 광스위치 모듈에 있어서, 상기 광섬유 어레이를 고정하는 광섬유 고정대; 상기 광섬유 고정대와 동종접합을 이루며, 제1 열변형완충장치를 갖는 제1지지수단; 및 상기 제1지지수단과 이종접합을 이루어 상기 제1지지수단을 지지하고, 상기 광스위치 소자를 지지하며, 제2 열변형완충장치를 갖는 제2지지수단을 포함하여 이루어진다. 바람직하게, 상기 제1지지수단은 제1 열변형완충장치로서 그 주연부에 국부적으로 다수의 슬롯을 갖는다. 또한, 상기 제2지지수단은 그 중앙부에서 상기 광스위치 소자를 지지하고 양측단부에서 상기 제1지지수단을 지지하며, 상기 양측단부에서 상기 제2 열변형 완충 장치로서의 오픈부를 갖는다. 상기 광섬유고정대는 SUS304L 재질이고, 상기 제1지지수단은 SUS304L 재질의 플레이트이고, 상기 제2지지수단은 Cu-W 재질을 갖는다. 상기 제1지지수단과 상기 제2지지수단은 상기 제1지지수단의 모서리에서 용접되어 서로 고정된다.
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公开(公告)号：KR1019990041032A
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019970061560
申请日：1997-11-20
IPC: G01J1/42
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
레이저 다이오드의 양방향 광에너지 측정장치
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 요지
본 발명은 측정대상으로부터 발산되는 광에너지를 흡수하는 경로로서, 수정막대를 레이저 다이오드의 양측에 밀착시켜, 상기 레이저 다이오드로부터 발생되는 양방향의 광에너지를 동시에 측정하는 것이 용이하면서도 정확한 레이저 다이오드의 양방향 광에너지 출력장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은 레이저 다이오드를 고정하며, 홀이 형성된 레이저 다이오드 지지수단; 전원을 인가받는 전극판; 상기 레이저 다이오드 지지수단의 양측 관통홀에 각각 끼워지며, 각각의 일단면 중심이 상기 레이지 다이오드에 근접되게 위치되어 레이저 다이오드로부터 발산되는 광에너지가 흡수되어 이동되는 경로를 제공하는 수정막대; 및 상기 양측 수정막대에서 출력되는 광에너지를 수광하는 포토 다이오드를 포함하는 레이저 다이오드의 양방향 광에너지 측정장치를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 레이저 다이오드의 광에너지 측정장치에 적용되는 것임.-
公开(公告)号：KR100198462B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019960052613
申请日：1996-11-07
IPC: G02B6/42
Abstract: 본 발명은 광 교환용 다채널 스위치 소자와 광섬유 어레이를 정렬한 후 에폭시로 고정시킨 광스위치 모듈 패키지에 관한 것이다. 종래에는 단일모드 광섬유간의 높은 공결합효율을 구현하기에는 많은 어려움이 있다.
따라서 본 발명은 광스위치 소자와 광섬유 어레이간에 있어서 수직 및 수평방향으로 동시에 미세 정렬이 가능하도록 특수하게 고안된 광섬유고정용 구조물(광섬유 하우징, 모듈 케이스)을 이용한 것으로 우선 모듈 케이스내에 임피던스 정합이 고려된 세라믹재질의 주기판위에 조립된 스위치 소자를 열전 냉각소자 위에 조립된 금속 블럭위에 고정하고 V-홈 기판위에 조립된 광섬유 어레이를 광섬유 하우징에 조립후 광섬유 하우징을 모듈 케이스의 구멍에 넣고 스위치 소자와 광섬유를 최적으로 정렬시킨 후 광섬유 하우징과 모듈 케이스를 에폭시 방법을 이용하여 고정시키는 것을 특징으로 한다.
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