公开(公告)号：EP2309130B1

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：EP10180441.7

申请日：2000-06-27

Applicant: California Institute of Technology

Inventor： Unger, Marc A. ,  Scherer, Axel ,  Quake, Stephen R. ,  Chou, Hou-Pu ,  Thorsen, Todd A.

IPC: F04B43/04 ,  F15C5/00 ,  F16K99/00

CPC classification number: B29C51/00 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0655 ,  B33Y80/00 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/034 ,  C12Q1/6874 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C5/00 ,  F16K11/20 ,  F16K13/00 ,  F16K31/126 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0491 ,  Y10T137/0497 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24744 ,  C12Q2535/125

公开(公告)号：EP2216289A4

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：EP07823028

申请日：2007-11-02

Applicant: IKERLAN CT DE INVESTIGACIONES TECNOLOGICAS S COOP

Inventor： FERNANDEZ LEDESMA LUIS JOSE ,  TIJERO SERNA MARIA

IPC: B81C3/00 ,  F16K99/00

CPC classification number: B81C3/001 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L3/502746 ,  B81B2201/054 ,  B81C2201/0108 ,  B81C2203/037 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0094

公开(公告)号：EP1194693B1

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：EP00943235.2

申请日：2000-06-27

Applicant: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY

Inventor： UNGER, Marc, A. ,  CHOU, Hou-Pu ,  THORSEN, Todd, A. ,  SCHERER, Axel ,  QUAKE, Stephen, R.

IPC: F04B43/04 ,  F15C5/00

CPC classification number: B29C51/00 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0655 ,  B33Y80/00 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/034 ,  C12Q1/6874 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C5/00 ,  F16K11/20 ,  F16K13/00 ,  F16K31/126 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0491 ,  Y10T137/0497 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24744 ,  C12Q2535/125

Abstract: A method of fabricating an elastomeric structure, comprising : forming a first elastomeric layer on top of a first micromachined mold, the first micromachined mold having a first raised protrusion which forms a first recess extending along a bottom surface of the first elastomeric layer; forming a second elastomeric layer on top of a second micromachined mold, the second micromachined mold having a second raised protrusion which forms a second recess extending along a bottom surface of the second elastomeric layer; bonding the bottom surface of the second elastomeric layer onto a top surface of the first elastomeric layer such that a control channel forms in the second recess between the first and second elastomeric layers; and positioning the first elastomeric layer on top of a planar substrate such that a flow channel forms in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate.

Abstract translation: 一种制造用于微型泵或阀的弹性体结构的方法，包括：在第一微加工模具（10）的顶部上形成第一弹性体层，所述第一微加工模具（10）具有第一凸起突起（11） （21），沿着所述第一弹性体层（20）的底表面延伸; 在第二微加工模具的顶部上形成第二弹性体层（22），所述第二微加工模具具有第二凸起突起（13），所述第二凸起突起形成沿着所述第二弹性体层的底表面延伸的第二凹部（23） 第二弹性体层的表面到第一弹性体层的顶表面上，使得控制通道（30）形成在第一和第二弹性体层之间的第二凹部中; 以及将所述第一弹性体层定位在平面基底的顶部上，使得在所述第一弹性体层和所述平面基底之间的所述第一凹部中形成流动通道。

公开(公告)号：EP1345551A2

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：EP01989783.4

申请日：2001-11-28

Applicant: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY

Inventor： UNGER, Marc, A. ,  CHOU, Hou-Pu ,  THORSEN, Todd, A. ,  SCHERER, Axel ,  QUAKE, Stephen, R. ,  LIU, Jian ,  ADAMS, Mark, L. ,  HANSEN, Carl, L.

IPC: A61F2/00

CPC classification number: B05D3/04 ,  B01J2219/00355 ,  B01J2219/00378 ,  B01J2219/00396 ,  B01J2219/00398 ,  B01J2219/00439 ,  B01J2219/005 ,  B01J2219/00527 ,  B01J2219/00605 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00621 ,  B01J2219/00659 ,  B01J2219/00707 ,  B01J2219/00722 ,  B01J2219/00725 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L7/54 ,  B01L9/527 ,  B01L2200/025 ,  B01L2200/027 ,  B01L2200/0605 ,  B01L2200/10 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2300/14 ,  B01L2300/18 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/0688 ,  B32B2037/1081 ,  B65B31/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  C12Q1/6832 ,  C12Q1/6874 ,  C30B29/54 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C3/00 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/0424 ,  Y10T137/206 ,  Y10T137/2082 ,  Y10T137/2164 ,  Y10T137/2169 ,  Y10T137/2174 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/3084 ,  Y10T137/7837 ,  Y10T137/86027 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24612 ,  C12Q2535/125

Abstract: A method of fabricating an elastomeric structure, comprising: forming a first elastomeric layer on top of a first micromachined mold, the first micromachined mold having a first raised protrusion which forms a first recess extending along a bottom surface of the first elastomeric layer; forming a second elastomeric layer on top of a second micromachined mold, the second micromachined mold having a second raised protrusion which forms a second recess extending along a bottom surface of the second elastomeric layer; bonding the bottom surface of the second elastomeric layer onto a top surface of the first elastomeric layer such that a control channel forms in the second recess between the first and second elastomeric layers; and positioning the first elastomeric layer on top of a planar substrate such that a flow channel forms in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate.

Abstract translation: 一种制造弹性体结构的方法，包括：在第一微加工模具的顶部上形成第一弹性体层，所述第一微加工模具具有形成沿所述第一弹性体层的底表面延伸的第一凹槽的第一凸起突起; 在第二微加工模具的顶部上形成第二弹性体层，所述第二微加工模具具有形成沿所述第二弹性体层的底表面延伸的第二凹槽的第二凸起突起; 将第二弹性体层的底表面粘合到第一弹性体层的顶表面上，使得控制通道形成在第一和第二弹性体层之间的第二凹部中; 以及将所述第一弹性体层定位在平面基底的顶部上，使得在所述第一弹性体层和所述平面基底之间的所述第一凹部中形成流动通道。

公开(公告)号：EP1317625A1

公开(公告)日：2003-06-11

申请号：EP01968418.2

申请日：2001-08-31

Applicant: Advanced Sensor Technologies

Inventor： HOWER, Robert, W. ,  CANTOR, Hal, C. ,  MONDRO, Jason, R.

IPC: F04B35/02 ,  F16K31/122 ,  F16K7/04

CPC classification number: F04B19/006 ,  A61B5/0002 ,  A61B5/145 ,  A61B5/14514 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/14546 ,  A61B5/1491 ,  A61B2560/0412 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/10 ,  B01L2300/0636 ,  B01L2300/0645 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/087 ,  B01L2400/0442 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/086 ,  B81B1/00 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  F04B43/046 ,  F15B2015/208 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0036 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0069 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084

Abstract: According to the present invention, there is provided a micro-fluidic sensor system (6) including a micro-conduit (56) for carrying fluid therethrough having a flexible wall portion (18), at least one micro-fluidic actuator having a closed cavity, flexible mechanism defining a wall of the cavity (11) and flexible wall portion (18) of the micro-conduit for deflecting upon an application of pressure thereto, and expanding mechanism (14) disposed in the cavity for selectively expanding the cavity and thereby selectively flexing said expanding mechanism, and sensor mechanism in fluid communication with the micro-conduit for sensing the presence or absence of molecules. The present invention further provides for a micro-fluidic system for moving micro-fluid amounts including a micro-conduit and at least one micro-fluidic actuator in fluid communication with the micro-conduit.

公开(公告)号：EP1194693A2

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：EP00943235.2

申请日：2000-06-27

Applicant: California Institute of Technology

Inventor： UNGER, Marc, A. ,  CHOU, Hou-Pu ,  THORSEN, Todd, A. ,  SCHERER, Axel ,  QUAKE, Stephen, R.

IPC: F04B43/04 ,  F15C5/00

CPC classification number: B29C51/00 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0655 ,  B33Y80/00 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/034 ,  C12Q1/6874 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C5/00 ,  F16K11/20 ,  F16K13/00 ,  F16K31/126 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0491 ,  Y10T137/0497 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24744 ,  C12Q2535/125

Abstract: A method of fabricating an elastomeric structure, comprising : forming a first elastomeric layer on top of a first micromachined mold, the first micromachined mold having a first raised protrusion which forms a first recess extending along a bottom surface of the first elastomeric layer; forming a second elastomeric layer on top of a second micromachined mold, the second micromachined mold having a second raised protrusion which forms a second recess extending along a bottom surface of the second elastomeric layer; bonding the bottom surface of the second elastomeric layer onto a top surface of the first elastomeric layer such that a control channel forms in the second recess between the first and second elastomeric layers; and positioning the first elastomeric layer on top of a planar substrate such that a flow channel forms in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate.

公开(公告)号：EP1081391A2

公开(公告)日：2001-03-07

申请号：EP00810770.8

申请日：2000-08-29

Applicant: JDS Uniphase Inc. ,  Cronos Integrated Microsystems, Inc.

Inventor： Dhuler, Vijayakumar R. ,  Walters, Mark David

IPC: F15C5/00

CPC classification number: F15C5/00 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  B81C2203/031 ,  B81C2203/036 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0036 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  H01H2001/0042

Abstract: A microelectromechanical (MEMS) device (10) is provided that includes a microelectronic substrate (50) and a thermally actuated microactuator (20). For example, the MEMS device (10) may be a valve. As such, the valve may include at least one valve plate (30) that is controllably brought into engagement with at least one valve opening (40) in the microelectronic substrate (50) by selective actuation of the microactuator (20). While the MEMS device (10) can include various microactuators (20), the microactuator advantageously includes a pair of spaced apart supports (22) disposed on the substrate (50) and at least one arched beam (24) extending therebetween. The microactuator (20) may further include metallization traces (70) on distal portions (23) of the arched beams (24) to constrain the thermally actuated regions of arched beams to medial portions thereof. The valve may also include a latch (680) for maintaining the valve plate (30) in a desired position without requiring continuous energy input to the microactuator (20).

Abstract translation: 提供了一种包括微电子衬底（50）和热致动微致动器（20）的微机电（MEMS）装置（10）。 例如，MEMS器件（10）可以是阀。 因此，阀可以包括至少一个阀板（30），其通过选择性地致动微致动器（20）而可控制地与微电子衬底（50）中的至少一个阀开口（40）接合。 虽然MEMS器件（10）可以包括各种微致动器（20），微致动器有利地包括设置在基板（50）上的一对间隔开的支撑件（22）和在其间延伸的至少一个拱形梁（24）。 微致动器（20）还可包括在拱形梁（24）的远侧部分（23）上的金属化走线（70），以将拱形梁的热致动区域约束到其中间部分。 阀还可以包括用于将阀板（30）保持在期望位置的闩锁（680），而不需要对微致动器（20）的连续能量输入。

公开(公告)号：EP1065378A2

公开(公告)日：2001-01-03

申请号：EP00305389.9

申请日：2000-06-27

Applicant: California Institute of Technology

Inventor： Unger, Marc A. ,  Chou, Hou-Pu ,  Thorsen, Todd A. ,  Scherer, Axel ,  Quake, Stephen R.

IPC: F04B43/04 ,  F15C5/00

CPC classification number: B29C51/00 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2400/046 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0655 ,  B33Y80/00 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81C1/00119 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/034 ,  C12Q1/6874 ,  F04B43/043 ,  F15C1/06 ,  F15C5/00 ,  F16K11/20 ,  F16K13/00 ,  F16K31/126 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K99/0051 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T137/0491 ,  Y10T137/0497 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24744 ,  C12Q2535/125

Abstract: A method of fabricating an elastomeric structure for a micropump or valve comprising: forming a first elastomeric layer on top of a first micromachined mold (10), the first micromachined mold (10) having a first raised protrusion (11) which forms a first recess (21) extending along a bottom surface of the first elastomeric layer (20); forming a second elastomeric layer (22) on top of a second micromachined mold, the second micromachined mold having a second raised protrusion (13) which forms a second recess (23) extending along a bottom surface of the second elastomeric layer, bonding the bottom surface of the second elastomeric layer onto a top surface of the first elastomeric layer such that a control channel (30) forms in the second recess between the first and second elastomeric layers; and positioning the first elastomeric layer on top of a planar substrate such that a flow channel forms in the first recess between the first elastomeric layer and the planar substrate.

公开(公告)号：TW200720542A

公开(公告)日：2007-06-01

申请号：TW095135492

申请日：2006-09-26

Applicant: 契歐尼克斯股份有限公司 KIONIX CORPORATION

Inventor： 林肯 洋 YOUNG, LINCOLN ,  周朋 ZHOU, PENG

IPC: F04B

CPC classification number: F16K7/12 ,  B01F5/0683 ,  B01F5/0688 ,  B01F11/0071 ,  B01F13/0059 ,  B01F2215/0034 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502738 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0861 ,  B01L2300/0867 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2400/0481 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/06 ,  B01L2400/0638 ,  B01L2400/0655 ,  B01L2400/084 ,  B29C65/4895 ,  B29C66/004 ,  B29C66/54 ,  B29C66/5412 ,  B29C66/71 ,  B29K2025/00 ,  B29K2025/04 ,  B29K2033/08 ,  B29K2069/00 ,  B29K2101/12 ,  B29L2031/7496 ,  B29L2031/7506 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00103 ,  B81C1/00158 ,  F04B43/028 ,  F04B43/043 ,  F04B43/06 ,  F15C1/08 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0021 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0055 ,  F16K99/0057 ,  F16K99/0059 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/0076 ,  F16K2099/0078 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0084 ,  F16K2099/0094 ,  Y10T29/49405 ,  Y10T137/212 ,  Y10T137/2202 ,  Y10T137/2218 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T156/1002 ,  Y10T156/1043 ,  B29K2033/12 ,  B29K2025/06

Abstract: 具有大致上剛性膜片的塑膠微射流構造,該膜片係在一個放鬆狀態與一個致動狀態之間致動,在放鬆狀態中,膜片係坐落抵著基材的表面,且在致動狀態中,膜片係被移動遠離基材。如將可以從以下說明看出的,形成為具有這種膜片的微射流構造提供了製造的容易性及堅固的系統,以及立即可以製造之像是閥及泵的元件。

Abstract in simplified Chinese: 具有大致上刚性膜片的塑胶微射流构造,该膜片系在一个放松状态与一个致动状态之间致动,在放松状态中,膜片系坐落抵着基材的表面,且在致动状态中,膜片系被移动远离基材。如将可以从以下说明看出的,形成为具有这种膜片的微射流构造提供了制造的容易性及坚固的系统,以及立即可以制造之像是阀及泵的组件。

公开(公告)号：TWI301285B

公开(公告)日：2008-09-21

申请号：TW094138594

申请日：2005-11-03

Applicant: 英特爾公司 INTEL CORPORATION

Inventor： 車崇桂 CHEE, CHOONG KOOI

IPC: H01H

CPC classification number: B81B3/0024 ,  A61M5/16881 ,  A61M5/1723 ,  A61M2205/0266 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/045 ,  B81B2201/054 ,  H01H2037/008 ,  Y10T137/8242

Abstract: 簡單的說,依據本發明的一具體例,一開關結構或是例如一閥件,馬達或光學開關之類似物,可以用一熱反應性聚合物為基礎來架構。在一第一溫度下熱反應性聚合物可以處於一第一體積狀態中,而在一第二溫度下熱反應性聚合物可以處於一第二體積狀態中。在熱反應性聚合物的體積上的變化可以被用來推動或拉引開關、閥件、電動機、光學開關,等等,以使得該結構運作。

Abstract in simplified Chinese: 简单的说,依据本发明的一具体例,一开关结构或是例如一阀件,马达或光学开关之类似物,可以用一热反应性聚合物为基础来架构。在一第一温度下热反应性聚合物可以处于一第一体积状态中,而在一第二温度下热反应性聚合物可以处于一第二体积状态中。在热反应性聚合物的体积上的变化可以被用来推动或拉引开关、阀件、电动机、光学开关,等等,以使得该结构运作。