阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN105874554A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201480071826.5

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种阴极配置(20),其包括:阴极本体,其容纳发射表面(32),用以在纵向方向(Z)中发射电子,其中,该发射表面由发射周围(35)界定;聚焦电极(40),其在横向方向中至少部分封闭该阴极本体,并且包括电子透射孔径(44),用以聚焦由该发射表面所发射的电子,其中,该孔径由孔径周围(45)界定,其中,该阴极本体以可移动的方式在与对齐位置(R0)相隔最大横向距离(d1)处被布置在该聚焦电极内部,并且其中,该孔径周围横向延伸越过该发射表面并且超越该发射周围在一重叠距离(d2),该重叠距离超过该最大横向距离。

    一种阴极电子源
    112.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103839739B

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201210487305.0

    申请日:2012-11-26

    Inventor: 徐一鸣 章健

    Abstract: 本发明公开了一种阴极电子源,包括阴极、栅极和阳极,其中,所述阴极包括集射罩和位于集射罩内的多组灯丝,所述多组灯丝形成多个发射面,所述集射罩为一面开口的多面体,内部形成一腔体,所述栅极设置在所述集射罩开口面的前方,所述栅极设有一开孔;所述多个发射面上发射的电子束穿过所述开孔后在阳极上聚焦形成相同的斑点中心。本发明提供的阴极电子源,具有多个发射面,且各发射面发射的电子束具有共同的焦点中心,从而使得不同电子束可以互相叠加,继而增多可选择的发射档位,提高阴极电子源的电流。

    场发射装置
    113.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103107054B

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201310031010.7

    申请日:2010-05-20

    Abstract: 本发明涉及一种场发射装置,其包括:一绝缘基底;一电子引出电极,该电子引出电极设置于该绝缘基底的一表面;一二次电子发射层,该二次电子发射层设置于该电子引出电极的表面;一阴极电极,该阴极电极通过一第一绝缘隔离层与该电子引出电极间隔设置,所述电子引出电极设置在阴极电极与绝缘基底之间,该阴极电极具有一表面至少部分与该电子引出电极面对设置,该阴极电极具有一第一开口,该第一开口定义一电子出射部;一电子发射层,该电子发射层设置在阴极电极面对该电子引出电极设置的部分表面;一阳极电极,该阳极电极与阴极电极间隔设置,且所述阴极电极设置在电子引出电极与阳极电极之间。

    一种场发射阴极电子源
    114.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104078294A

    公开(公告)日:2014-10-01

    申请号:CN201310100704.1

    申请日:2013-03-26

    Inventor: 徐一鸣 章健

    Abstract: 本发明提供一种场发射阴极电子源,包括阴极、栅极和阳极,所述阴极包括衬底和衬底上的场发射材料,所述栅极置于所述场发射材料的侧面,绝缘体分布于所述栅极的周围,所述绝缘体与所述场发射材料之间有间隙。本设计使电子源在不增加栅极电压、不拉近栅极距离以及不减小栅极网丝厚度的情况下,阴极表面获得更高的电场,提高场发射电流密度,同时保证了电子源的稳定性和寿命。

    场发射装置
    115.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103107054A

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:CN201310031010.7

    申请日:2010-05-20

    Abstract: 本发明涉及一种场发射装置,其包括:一绝缘基底;一电子引出电极,该电子引出电极设置于该绝缘基底的一表面;一二次电子发射层,该二次电子发射层设置于该电子引出电极的表面;一阴极电极,该阴极电极通过一第一绝缘隔离层与该电子引出电极间隔设置,所述电子引出电极设置在阴极电极与绝缘基底之间,该阴极电极具有一表面至少部分与该电子引出电极面对设置,该阴极电极具有一第一开口,该第一开口定义一电子出射部;一电子发射层,该电子发射层设置在阴极电极面对该电子引出电极设置的部分表面;一阳极电极,该阳极电极与阴极电极间隔设置,且所述阴极电极设置在电子引出电极与阳极电极之间。

    电子源基板和使用该基板的图像形成装置

    公开(公告)号:CN1722342B

    公开(公告)日:2010-06-23

    申请号:CN200510091605.7

    申请日:2002-08-23

    Inventor: 蜂巢高弘

    CPC classification number: H01J29/92 H01J1/316

    Abstract: 本发明涉及电子源基板和使用该电子源基板的图像形成装置。本发明的电子源基板上具有由一对元件电极和具有电子发射部的导电性薄膜构成的电子发射元件和与该元件电极相连的、由与该元件电极不同的组分构成的金属布线,其特征在于:该导电性薄膜与该金属布线的沿该元件电极与上述基板的界面的最短距离大于等于50微米。本发明的电子源基板能够解决因布线材料扩散引起的电子发射元件特性恶化,即使在形成了钠扩散防止层的基板表面上用印刷法等廉价的方法形成了布线的情况下,也能够防止电子发射特性的恶化。

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