公开(公告)号：WO2008078182A2

公开(公告)日：2008-07-03

申请号：PCT/IB2007/004150

申请日：2007-12-19

Applicant: ZHOU, Tiansheng

IPC: B81B5/00 ,  B81B7/02 ,  G02B26/08 ,  G02B5/08

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/045 ,  G02B26/0841

Abstract: A micro-electro-mechanical-system (MEMS) micromirror for use in high fill factor arrays which includes at least one stationary body and a movable body. The movable body has opposed ends and is secured to the stationary body at each of the opposed ends by a resilient primary axis pivot. A mirror support is supported by and movable with the movable body. The mirror support has a first unfettered side and a second unfettered side. A primary axis actuator is provided including a fixed portion connected to the stationary body, and a movable portion connected to the movable body. The movable portion is adapted to move away from the fixed portion in response to an electrical potential difference between the fixed portion and the movable portion, such that the movable body rotates about the primary axis resilient pivot. A mirror is supported by the mirror support.

Abstract translation: 用于高填充系数阵列的微机电系统（MEMS）微镜包括至少一个固定体和可移动体。 可移动体具有相对的端部并且通过弹性的主轴枢轴在每个相对的端部处固定到固定体。 反射镜支架由可移动体支撑并与其一起移动。 镜子支架有第一个不受约束的一面和第二个不受约束的一面。 主轴致动器被设置成包括连接到静止主体的固定部分和连接到可动主体的可动部分。 响应于固定部分和可移动部分之间的电势差，可移动部分适于从固定部分移开，使得可移动主体围绕主轴弹性枢轴旋转。 镜子由镜子支撑。

公开(公告)号：WO2006091791A2

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：PCT/US2006/006552

申请日：2006-02-23

Applicant: PIXTRONIX, INC. ,  HAGOOD, Nesbitt, W. ,  STEYN, Jasper, Lodewyk

Inventor： HAGOOD, Nesbitt, W. ,  STEYN, Jasper, Lodewyk

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B26/04 ,  G02B26/08 ,  G09G3/22

CPC classification number: G09G3/3433 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G2300/0809 ,  G09G2310/0262

Abstract: The invention relates to MEMS-based display devices. In particular, the display devices may include actuators having two mechanically compliant electrodes. In addition, bi-stable shutter assemblies and means for supporting shutters in shutter assemblies are disclosed inclusion in the display devices.

Abstract translation: 本发明涉及基于MEMS的显示装置。 特别地，显示装置可以包括具有两个机械适应电极的致动器。 另外，双稳态快门组件和用于在快门组件中支撑快门的装置被公开在显示装置中。

公开(公告)号：WO2005026816A1

公开(公告)日：2005-03-24

申请号：PCT/JP2004/009813

申请日：2004-07-09

Applicant: 株式会社村田製作所 ,  矢地 兼雄 ,  浅地 康志 ,  田村 昌弥

Inventor： 矢地 兼雄 ,  浅地 康志 ,  田村 昌弥

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00285 ,  B81C2203/0145 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/3584

Abstract: 　ガラスまたは金属を用いてファイバ挿入孔を封止することにより、装置内への異物侵入を防止し、装置を小型化しつつ、信頼性を高めるようにする。 　ガラス基板１と蓋板２との間にシリコン板３を接合して設け、シリコン板３には、ファイバ挿入孔４、アクチュエータ７等を設ける。そして、アクチュエータ７のミラー９を各光ファイバ５の間の光路に対して進退させることにより、光路を切換える。また、各ファイバ挿入孔４には、低融点ガラス等からなるガラス封止体１２を充填して設け、光ファイバ５の外周面とファイバ挿入孔４の間を封止して装置内に密閉空間１３を形成する。これにより、例えば装置全体を気密性のパッケージ等に収容する必要がなくなるから、封止構造を簡略化して装置全体を小型化しつつ、アクチュエータ７等に対して高い気密性を確保することができる。

Abstract translation: 一种光纤开关，其中纤维插入孔被玻璃或金属密封，防止异物进入开关以提高其可靠性并减小开关尺寸。 在玻璃基板（1）和盖板（2）之间接合硅板（3），并且设置有光纤插入孔（4），致动器（7）等。 通过使致动器（7）的反射镜（9）进入/退出光路来切换光纤（5）之间的光路。 每个纤维插入孔（4）填充有低熔点玻璃的玻璃密封体（12），并且光纤（5）的外周表面和纤维插入孔（4）之间的空间被密封以形成 光开关中的封闭空间（13）。 由于整个光学开关不需要包含在气密封装等中，可以通过简化密封结构来减小开关的总尺寸，并且可以确保致动器（7）等的高气密性 。

公开(公告)号：WO2004003981A1

公开(公告)日：2004-01-08

申请号：PCT/US2003/017027

申请日：2003-05-30

Applicant: SILICON LIGHT MACHINES, INC.

Inventor： HUNTER, James, A.

IPC: H01L21/00

CPC classification number: G02B26/0833 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00531 ,  B81C2201/0132 ,  G02B26/0841

Abstract: In one embodiment, a micro device is formed by depositing a sacrificial layer over a metallic electrode (step 304), forming a moveable structure over the sacrificial layer (step 306), and then etching the sacrificial layer with a noble gas fluoride (step 308). Because the metallic electrode is comprised of a metallic material that also serves as an etch stop in the sacrificial layer etch, charge does not appreciably build up in the metallic electrode. This helps stabilize the driving characteristic of the moveable structure. In one embodiment, the moveable structure is a ribbon in a light modulator.

Abstract translation: 在一个实施例中，通过在金属电极上沉积牺牲层（步骤304）形成微器件，在牺牲层上形成可移动结构（步骤306），然后用惰性气体氟化物蚀刻牺牲层（步骤308 ）。 因为金属电极由在牺牲层蚀刻中也用作蚀刻停止层的金属材料组成，所以电荷在金属电极中不会明显地积聚。 这有助于稳定可移动结构的驱动特性。 在一个实施例中，可移动结构是光调制器中的带状物。

公开(公告)号：WO0218979A3

公开(公告)日：2003-11-06

申请号：PCT/US0126529

申请日：2001-08-24

Applicant: CORNING INTELLISENSE CORP ,  BERNSTEIN JONATHAN ,  TAYLOR WILLIAM P ,  KIRKOS GREGORY A ,  WAELTI MARC

Inventor： BERNSTEIN JONATHAN ,  TAYLOR WILLIAM P ,  KIRKOS GREGORY A ,  WAELTI MARC

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  G02B26/00 ,  G01C19/00 ,  G01L3/00 ,  G02B26/02 ,  H01F7/08 ,  H02K5/16 ,  H02K33/00

CPC classification number: B81B3/0062 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/045 ,  B81B2207/015 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/035 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085

Abstract: An array of magnetically actuated MEMS mirror devices (100) is provided having stationary magnets configured to provide strong magnetic fields in the plane of the mirrors without any magnets or magnet system components in the plane of the mirrors. Also, a magnetically actuated mirror device is provided that includes an improved actuation coil configuration (106, 107) that provides greater torque during mirror actuation. In addition, a mechanism is provided to detect the angular deflection of a moveable mirror. Also, an improved process is provided for manufacturing MEMS mirror devices.

Abstract translation: 提供了一种磁致MEMS MEMS镜器件（100）的阵列，其具有固定磁体，其被配置为在镜的平面中提供强磁场，而在反射镜的平面内没有任何磁体或磁体系统部件。 而且，提供了一种磁致动反射镜装置，其包括在镜子致动期间提供更大扭矩的改进的致动线圈构造（106,107）。 此外，提供了一种用于检测可移动镜的角度偏转的机构。 而且，提供了一种用于制造MEMS反射镜装置的改进方法。

公开(公告)号：WO2003064316A1

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：PCT/FR2003/000263

申请日：2003-01-28

Applicant: OPSITECH-OPTICAL SYSTEM ON A CHIP ,  BRUEL, Michel

Inventor： BRUEL, Michel

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  B81C1/00214

Abstract: Structure intégrée comprenant une couche de base (2) en un matériau conducteur de l’électricité, une couche intermédiaire en un matériau électriquement isolant, et une couche supérieure (4) en un matériau conducteur de l’électricité. La couche supérieure (4) est perforée et la couche intermédiaire et éventuellement la couche de base (2) sont dégagées de façon à réaliser une cavité (5) dans laquelle au moins une région de la couche supérieure constitue une partie suspendue (6) reliée au reste de la couche supérieure. Ainsi, la partie suspendue (6) est déplaçable, depuis une position stable et à l’encontre de l’élasticité de sa liaison (10, 11) avec reste de cette couche supérieure, dans le sens qui la rapproche ou l’éloigne de la couche de base lorsque la partie suspendue et la couche de base sont soumises à une source d’énergie électrique. La structure peut en outre comprendre un moyen de guidage optique (22) en deux parties entre lesquelles une portion (7) de la partie suspendue (6) peut se déplacer.

Abstract translation: 本发明涉及一种整体结构，其包括由导电材料制成的基底层（2），由电绝缘材料制成的中间层和由导电材料制成的上层（4）。 上层（4）被穿孔，并且中间层和可能的基层（2）以这样的方式被挖掘，以便产生空腔（5），其中上层的至少一个区域包括悬挂件（6） ）连接到上层的其余部分。 因此，当悬挂件和底座上的悬挂件和底座相对时，悬挂件可以从与稳定位置抵接的连接件（10,11）与上层的其余部分沿着朝向或远离基层的方向移动 层经受电能供应。 该结构还可以包括两个部件的光学引导装置（22），悬挂件（6）的一部分（7）可以放在其间。

公开(公告)号：WO2002084335A2

公开(公告)日：2002-10-24

申请号：PCT/US2001/049364

申请日：2001-12-19

Applicant: COVENTOR, INCORPORATED ,  DEREUS, Dana, R. ,  CUNNINGHAM, Shawn, J. ,  MORRIS, Arthur, S., III

Inventor： DEREUS, Dana, R. ,  CUNNINGHAM, Shawn, J. ,  MORRIS, Arthur, S., III

IPC: G02B

CPC classification number: G02B26/0866 ,  B81B3/0051 ,  B81B7/0067 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/051 ,  B81C1/00182 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/0109 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/353 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/356 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3578 ,  G02B6/3582 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  G02B26/0858 ,  H01H2001/0052 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: According to one embodiment of the present invention, an optical device is provided. The optical device includes a substrate having an aperture for providing a pathway for light transmission and a device attached to a surface of the substrate for interacting with light transmitted along the pathway. According to another embodiment of the present invention, an optical device is provided which includes a substrate manufactured of a light-transmissive material having surfaces coated with an anti-reflective material for providing a pathway for light transmission and a device attached to a surface of the substrate for interacting with light transmitted along the pathway.

Abstract translation: 公开了一种用于光学MEMS器件（104）的透光基板（100）。 根据本发明的一个实施例，提供一种光学装置。 光学装置包括具有用于提供光透射路径的孔径（102）的基板（100）和附接到基板（100）的表面（106）的装置（104），用于与沿着路径传输的光相互作用。 根据本发明的另一实施例，提供一种光学装置，其包括由透光材料制成的基板（100），该基板具有涂覆有用于提供光透射路径的抗反射材料的表面和装置（104） 附着到衬底（100）的表面（106），用于与沿着路径传输的光相互作用。

公开(公告)号：WO2002065187A2

公开(公告)日：2002-08-22

申请号：PCT/FR2002/000546

申请日：2002-02-13

Applicant: TEEM PHOTONICS ,  VALETTE, Serge

Inventor： VALETTE, Serge

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B3/0062 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un micro-miroir optique comportant une partie fixe, une partie mobile, avec des moyens de réflexion, reliée à la partie fixe par des moyens d'articulation. Ce procédé est caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: a) réalisation d'un empilement formé d'un support mécanique (21), d'une première couche (22) de matériau d'oxydation thermique et d'au moins une deuxième couche (26) de matériau destinée à former la partie mobile, b) réalisation des moyens d'articulation (27), c) réalisation des moyens réflecteurs (29) sur la deuxième couche, d) réalisation de la partie mobile par gravure d'au moins la deuxième couche de matériau, e) élimination de la couche d'oxydation thermique pour libérer ladite partie mobile. Applications possibles aux systèmes de routage optique ou de projection d'images.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造光学微镜的方法，该光学微镜包括固定部分，具有反射装置的可移动部分，通过铰接装置连接到固定部分。 所述方法的特征在于其包括以下步骤：a）产生由机械支撑件（21），热氧化材料的第一层（22）和至少设计成构成的第二层（26）的材料组成的叠层 移动部分; b）提供铰接装置（27）; c）在第二层上产生反射装置（29）; d）通过蚀刻至少第二层材料制造可移动部件; e）消除热氧化层以释放所述移动部件。 本发明适用于光路由或图像投影系统。

公开(公告)号：WO2002065186A2

公开(公告)日：2002-08-22

申请号：PCT/FR2002/000545

申请日：2002-02-13

Applicant: TEEM PHOTONICS ,  VALETTE, Serge

Inventor： VALETTE, Serge

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B3/0062 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841

Abstract: L'invention concerne micro-miroir comportant une partie fixe (31), une partie mobile (41,48) comprenant des moyens de réflexion (48) et des moyens d'articulation reliant la partie mobile à la partie fixe, ce micro-miroir est caractérisé en ce que les moyens d'articulations sont formés par un pivot (47) situé sous la partie mobile entre cette dernière et la partie fixe et apte à permettre un déplacement de la partie mobile selon des axes de rotation contenus dans la partie mobile et passant par un axe du pivot, et dans lequel la partie fixe comprend au moins une cavité (36) en regard d'au moins une zone d'une extrémité de la partie mobile. L'invention concerne également une matrice de micro-miroirs à pivots ainsi qu'un procédé de fabrication de tels micro-miroirs. Ces micro-miroirs sont utilisables notamment dans des systèmes de routage optique ou de projection d'images.

Abstract translation: 本发明涉及一种微镜，其包括固定部分（31），包括反射装置（48）的移动部分（41,48）和将移动部分连接到固定部分的铰接装置。 所述微镜的特征在于，所述铰接装置由枢轴（47）形成，所述枢轴（47）位于所述枢轴（47）之间，所述枢轴（47）位于所述枢轴（47）之间，所述枢轴（47）位于所述可动部分之间，所述枢轴 枢轴的轴线，并且其中固定部分至少包括与移动部件的一端的至少一个区域相对的空腔（36）。 本发明还涉及旋转微镜阵列和制造这种微镜的方法。 所述微镜可用于光路由或图像投影系统。

公开(公告)号：WO0174707A2

公开(公告)日：2001-10-11

申请号：PCT/US0109261

申请日：2001-03-22

Applicant: ONIX MICROSYSTEMS INC

Inventor： BEHIN BEHRANG ,  PANNU SATINDERPALL S

IPC: B81B5/00 ,  B81B3/00 ,  B81C99/00 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  H02N1/00

CPC classification number: G02B6/357 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00214 ,  B81C1/00396 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3524 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/359 ,  G02B26/0833 ,  H02N1/008 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49156

Abstract: A method of fabricating multi-layer vertical comb-drive actuator that includes a first comb structure having a plurality of first comb fingers and a second comb structure having a plurality of second comb fingers, wherein the first and second comb fingers are substantially interdigitated. The present invention includes masking and etching of a structure that contains these multiple layers, wherein the first and second comb fingers are simultaneously fabricated. The first and second comb fingers may include two or more stacked conductive layers electrically isolated from each other by an insulating layer or an air gap. Alternatively, either the first or second comb fingers may include only one conductive layer.

Abstract translation: 一种制造多层垂直梳状驱动致动器的方法，该致动器包括具有多个第一梳齿的第一梳结构和具有多个第二梳指的第二梳结构，其中第一和第二梳指基本相互交错。 本发明包括掩蔽和蚀刻包含这些多层的结构，其中同时制造第一和第二梳齿。 第一和第二梳齿可以包括通过绝缘层或气隙彼此电隔离的两个或更多个堆叠的导电层。 或者，第一或第二梳齿可以仅包括一个导电层。