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公开(公告)号：KR1019970051604A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950052682
申请日：1995-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H47/00
Abstract: 본 발명은 랫칭형 자기력 구동 마이크로 릴레이 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 100면의 방향성을 갖는 실리콘 웨이퍼 기판의 바닥면에 습식 식각에서 마스크로 사용하기 위한 열산화막과 질화막을 순차적으로 형성한 후, 구조체 형태로 건식 식각하는 제1단계와; 상기 제1단계의 수행 후, 비등방성 용액으로 십 ㎛ 정도로 습식 식각을 하고 상기 구조체 부분의 절연을 위해 산화막을 형성하는 제2단계와; 상기 제2단계의 수행 후, 마이크로 릴레이의 전극을 만들기 위해 얇은 금속층을 입힌 후, 전기도금으로 후막의 전극을 형성하고, 건식 식각으로 나머지 얇은 금속층을 제거하는 제3단계와; 상기 제3단계의 전기도금 방법으로 코일을 형성한 다음, 폴리이미드를 덮은 후 패턴을 형성하는 제4단계와; 상기 제4단계의 수행 후, 상기 구조 위에 자기코아와 희생층을 각각 올린 후, 패턴을 형성하는 제5단계와; 상기 자기 코아의 절연과 저장고의 제작을 위해 폴리이미드를 올리고 상기 희생층 제거를 위한 구멍을 제작한 후, 자기 코아의 전극을 전기도금으로 제작하고 상기 희생층을 제거하여 틈을 만드는 제6단계와; 상기 제6단계의 수행 후, 실리콘 기판 뒷면의 질화막과 산화막을 건식 식각한 후 비등방성 습식 식각을 이용하여 수은 주입구를 제작하는 제7단계와; 상기 제7단계의 수행 후, 밀봉과 절연을 위해 폴리이미드를 올리고 코일을 제작한 후, 릴레이 구조체에 압력을 이용하여 수은을 주입한 다음 글라스를 실리콘 기판에 자외선 접착제로 밀봉하는 제8단계를 포함하여 이루어지어, 수 백 MHz에서 반복 스위칭 동작과 함께 액체 접점으로 인해 저 접점저항을 이룰 수 있으며, 대량생산이 가능하여 저렴할 뿐만 아니라 릴레이 어레이(array) 구성이 용이하다는 장점이 있다.
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公开(公告)号：KR1019970051558A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950052658
申请日：1995-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01H1/00
Abstract: 본 발명은 자기력 구동 마이크로 릴레이 구조체 및 그 제작방법에 관한 것으로서, 실리콘 웨이퍼 기판의 상부면과 바닥면에 절연을 위해 열 산화막을 올린 후, 상기 바닥면 위에 도금의 전극이 될 얇은 금속층을 형성하는 제1단계와; 상기 금속층 위에 폴리이미드를 입혀 패턴을 전사하여 다수의 소정 부분의 금속층이 나타나도록 건식식각하는 제2단계와; 상기 나타난 금속층을 전극으로 하여 구리를 전해 및 무전해 도금으로 코일 바닥면을 제작하는 제3단계와; 상기 코일부분을 제외한 금속층을 제거한 후 산화막 또는 폴리이미드를 덮어 코일 부분인 구리를 보호하는 제4단계와; 후막의 자성체 코아를 형성하기 위해 마스크로 사용할 기판 상부면의 열 산화막을 코아의 패턴 형태로 건식식각한 후 습식 식각방법에 의해 소정 깊이 이상을 식각하는 제5단계와; 상기 제5단계의 식각된 코아 형성부분에 금속층을 입힌 후 자성체를 전기도금으로 제작하는 제6단계와; 상기 도금 전극으로 사용한 금속층을 건식식각으로 제거하고, 절연을 위해 상기 형성된 코아 상부에 소정크기의 산화막을 형성하는 제7단계와; 상기 기판 밑면의 구리코일을 웨이퍼 윗면으로 연결배선하기 위해 습식식각에서 마스크로 사용할 산화막을 건식식각한 후, 비등방성 식각을 하여 밑면의 구리코일 배선이 나타날 때까지 식각하고, 무전해 도금으로 코일 배선 부분을 채우는 제8단계와; 상기 제5단계와 제6단계의 수행 후에 형성된 후막의 분리된 자성체 상부에 형성된 산화막을 식각한 후 밑면 전극이 될 금을 리프트 오프 방법으로 제작하고, 후막의 알루미늄 또는 폴리이미드를 채워 넣은 희생층을 형성하여 전극접점 부위를 형성하는 제9단계와; 상기 희생층 위에 릴레이의 윗면 전극이 될 금과 전기적 절연을 위한 산화막을 올리는 제10단계를 포함하여 이루어지며 실리콘 웨이퍼의 벌크 마이크로 머시닝 기술, 전기도금 기술 및 반도체 공정기술을 이용하여 기존의 릴레이보다 소형이고, 집적회로 공정과 호환성이 있는 자기 구동 마이크로 릴레이 구조체 구조에 관한 것으로, 수백 ㎒에서 반복 스위칭 동작과 아울러 저 접점저항을 이룰 수 있으며, 대량생산이 가능하여 저렴하고, 릴레이 어레이(array)구성이 용이하다는 장점이 있다.
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公开(公告)号：KR1019970048457A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950047433
申请日：1995-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01C19/00
Abstract: 본 발명은 원판 진동형 마이크로 자이로스코프 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는, 원판형 진동체(2)를 지지하기 위한 지지대(3); 상부 구동전극(4)과의 정전력에 의해 가진되어 회전시 공진주파수를 2개의 서로 다른 근접한 주파수로 천이시키기 위한 원판형 진동체(2); 원판형 진동체(2)와의 정전용량 변화에 의해 자이로스코의 회전 각속도를 검출하기 위한 하부 검출전극(5); 및 상기한 원판형 진동체(2)를 구동시키기 위한 상부 구동전극(4)을 포함한다.
또한, 본 발명의 마이크로 자이로스코프 제조방법은, 실리콘 기판(1) 상에 절연층(6)을 증착시키고, P형 또는 N형 불순물이 도핑된 다결정 실리콘을 전기한 절연층(6) 위에 증착시키고, 통상의 포토리소그래피 방법에 의해 소정 부분을 제외한 나머지 부분을 제거하여 신호검출을 위한 하부 검출전극(5)을 형성하는 공정; 하부 희생층(8)으로서 상기 공정에서 얻어진 구조의 전 표면에 산화막을 PECVD법에 의해 증착하고, 하부 검출전극(5) 간의 절연층(6)이 노출되도록 하부 희생층(8)을 건식 식각에 의해 형성하는 공정; 상기한 하부 검출전극(5)에 도핑된 불순물과 동일한 불순물이 도핑된 다결정 실리콘을 상기한 하부 희생층(8) 상에 증착하고, 지지대(3) 및 원판형 진동체(2)를 제외한 부분을 건식 식각하는 공정; 산화막의 하부 희생층(8)을 PECVD법에 의해 상기한 지지대(3) 및 원판형 진동체(2) 상에 증착하고 공정; 패턴을 형성하고 상기한 하부 검출전극(5)에 도핑된 불순물과 동일한 불순물이 도핑된 다결정 실리콘을 상기한 상부 희생층(7) 상에 증착하는 공정; 및, 상기한 상부 희생층(7) 및 하부 희생층(8)을 습식 식각하는 공정을 포함한다.-
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公开(公告)号：KR1019970002777B1
公开(公告)日：1997-03-10
申请号：KR1019930030023
申请日：1993-12-27
IPC: H04L12/26
Abstract: There is provided a subscriber testing apparatus in ISDN. The testing apparatus includes: a TD-BUS matching unit(240) for matching TD-BUS with ASMP(ACCESS SWITCHING MAINTNANCE PROCESSOR) which is a superior processor; a control means(250) for generating a necessary controlling signal according to a control of the ASMP; a NT/LT function performing means(210) which is connected with the control means(250) and performs a measuring and testing operation; a tone generating means(211) which is connected with the control means(250) and transfers a testing tone and transfers a corresponding signal through a testing bus and then transfers a result to the control means(250); a multimeter measuring means(212) which is connected with the control means(250) and performs a corresponding test and transfers a result to the control means(250).
Abstract translation: 在ISDN中提供了用户测试装置。 测试装置包括：TD-BUS匹配单元（240），用于将TD-BUS与作为优先处理器的ASMP（访问切换维护处理器）进行匹配; 控制装置，用于根据ASMP的控制产生必要的控制信号; 与控制装置（250）连接并执行测量和测试操作的NT / LT功能执行装置（210） 与控制装置（250）连接并传送测试音并通过测试总线传送相应的信号，然后将结果传送到控制装置（250）的乐音产生装置（211）。 万用表测量装置（212），其与控制装置（250）连接并执行相应的测试并将结果传送到控制装置（250）。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019950022410A
公开(公告)日：1995-07-28
申请号：KR1019930030023
申请日：1993-12-27
IPC: H04L12/26
Abstract: 본 발명은 ISDN 교환기의 가입자에 대한 시험을 수행하는 장치로 교환기내에 설치되어 ISDN 가입자 선로, 망종단 장치(NT)및 라인/교환기 종단장치(LT/ET)-기본속도 가입자 정합장치(BSI),일차군 속도 가입자 정합장치(PSI)및 기본속도 다중화 가입자 정합장치(BAMI)-의 계층1과 계층2에 대한 고장유무와 정상동작 상태의 시험기능을 모국과 원격 시스템의 가입자에 대해 동일하게 제공할 수 있는 종합정보통신망 가입자 시험장치에 관한 것으로, 교환기내에 포함되어 ISDN가입자에 대해서 라인/교환기 종단장치 및 망종단장치 계층1, 계층2의 정상동작 여부를 시험 및 측정할수 있을 뿐 아니라 ISDN가입자에 대하여 라인/교환기 종단장치 및 망종단장치 계층1, 계층2의 정상동작 여부를 시험 및 측정할수 있을 뿐 아니라 ISDN가입자 특성상 그 큰 의미가 큰 BER, ES, SES등의 측정기준을 가지며 이러한 기능들이 모국이나 원격 시스템의 가입자에 대하여 동일하게 적용할 수 있도록 하여 준다. 그 외에도 현장에 나가 있는 전공이 쉽게 심선을 찾을 수 있도록 하기 위한 기능과 ISDN라인 코드에 대한 선로의 품질을 측정할 수 있도록 톤 및 루프 품질 측정 신호 송출 기능을 가지며 교환기 외부에 측정기를 연결하여 시험 및 측정을 할 수 있도록 시험 포트를 제공하는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1019950021022A
公开(公告)日：1995-07-26
申请号：KR1019930026310
申请日：1993-12-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 반도체 장치의 제조를 위한 피소그래피 장비에서 웨이퍼의 수평 상태를 자동으로 측정하는 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 장치는 광원으로 반도체 레이저(1)를 사용하고, 선형편광자(11)를 사용하며, 광량 조절수단인 광감쇠기(12)에 의해 반도체 레이저(1)로부터의 레이저 빔이 웨이퍼 표면으로 전달되기 전에 레이저 빔을 받아들여 평행광으로 변환하는 광변환수단인 시준렌즈(2)로 부터의 지름 100mm
;의 평행광을 웨이퍼면(4)에 입사각76도로 입사시키고, 2차원 면에서의 광점의 변위를 측정할 수 있도록 2차원형 위치 검출소자(10)를 사용하며, 웨이퍼 표면(4)에서 반사된 광을 소정의 촛점거리(f)에 모아 광점을 형성하는 집광수단인 집광렌즈(6)에 의한 광점(7a)의 위치를 증폭하여 위치 검출 소자(9)에 증폭된 광점의 변위를 전달하고, 이렇게 증폭된 광점이 2-차원 위치검출소자(9)로 입사되면 위치 검출소자(9)에서는 4개의 출력단자들을 통하여 빔의 조사위치에 4개의 신호들이 각각 출력되고, 이들 신호들을 다시 크기, 방향 위치 검출 소자 감지 면 상의
-측과 ｙ-축의 좌표를 나타내는 아날로그 전압 신호로 변환되어 처리하는 자동 수평 측정계(1~12, 20)에 의해 척(10)위에 위치하는 웨이퍼의 기울어짐을 측정하여 이를 보상해 준다.
따라서, 반도체 위치 검출 소자와 간단한 광학장치 만에 의해서도 높은 징밀도와 넓은 감지영역을 갖는 웨이퍼 자동 수평 측정 장치를 전체 노광 영역에 걸쳐 초점심도를 확보할 수 있게 된다.-
公开(公告)号：KR1019930011652B1
公开(公告)日：1993-12-16
申请号：KR1019910002378
申请日：1991-02-12
IPC: H04M3/22
Abstract: The unit which collects and processes the alarms generated in a full electronic switching system comprises a control section for supervising interface and frame synchronizing signals, a bus impedence matching section for receiving and transmitting data, a control signal generating section, a memory for saving data, and a buffer section for receiving a hardware device alarm information and a characteristic address.
Abstract translation: 收集和处理在全电子交换系统中产生的警报的单元包括用于监视接口和帧同步信号的控制部分，用于接收和发送数据的总线阻抗匹配部分，控制信号产生部分，用于保存数据的存储器， 以及用于接收硬件设备报警信息和特征地址的缓冲部分。
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