公开(公告)号：CN109148285A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201710455942.2

申请日：2017-06-16

Applicant: 联华电子股份有限公司 ,  福建省晋华集成电路有限公司

Inventor： 李瑞珉 ,  张景翔 ,  黄承栩 ,  陈意维 ,  刘玮鑫 ,  邹世芳

IPC: H01L21/312

CPC classification number: B05D1/005 ,  B05C11/08 ,  H01L21/02222 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/76224 ,  H01L21/76229

Abstract: 本发明公开一种改良的旋转涂布制作工艺，包含有下述步骤。首先，提供一基底。接着，喷洒一流体材料于基底的一表面上，并同时加热流体材料至高于25℃，以形成一旋转涂布介电层于基底上。

公开(公告)号：CN109119361A

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201810650221.1

申请日：2018-06-22

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 新村聪

IPC: H01L21/67

CPC classification number: G03F7/162 ,  B05C11/08 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/67011

Abstract: 本发明提供一种在向晶片供给抗蚀剂液并且使晶片旋转进行处理时，将晶片的气氛排气，将从晶片甩落的处理液排液的液处理装置中，除去附着在液处理装置内的固体成分的技术。在向旋转的晶片(W)供给抗蚀剂液进行处理的抗蚀剂涂敷装置中，在罩体(2)的内部的底面(26)设置有具有凹凸图案的液扩散部(5)，该罩体(2)用于使因晶片(W)的旋转而飞散的抗蚀剂液在底面(26)流动来进行排液。因此，在向液扩散部(5)供给了溶解处理液的固体成分的溶剂时，使溶剂的流域的面积扩大并且延长使溶剂滞留的滞留时间。因此，附着在罩体(2)内的抗蚀剂液的固体成分容易与溶剂接触，因此容易被溶解除去。

公开(公告)号：CN109046873A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201810863205.0

申请日：2018-08-01

Applicant: 唐大话五贵

Inventor： 唐大话五贵

IPC: B05C5/02 ,  B05C13/02 ,  B05C11/08

CPC classification number: B05C5/0225 ,  B05C11/08 ,  B05C13/02

Abstract: 本发明提供了一种用于新能源电池的滴胶机，包括工作台、设于所述工作台上的滴胶机构和旋转台机构、以及设于所述工作台内的底座机构；所述旋转台机构包括可转上台、固定下台、以及弹性珠；所述固定下台固定于所述工作台上并且包括安装槽；所述可转上台连接所述旋转台机构并且包括振动槽，所述可转上台受所述底座机构驱动可以相对所述固定下台转动；所述可转上台和所述固定下台上下相对，并且所述安装槽的位置、数量均和所述振动槽的对应，并且所述安装槽大于所述振动槽；所述弹性珠安装在所述安装槽内，并且当所述可转上台相对所述固定下台转动时，所述弹性珠用作使所述可转上台产生上下振动的振动源。

公开(公告)号：CN108212670A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201810276831.X

申请日：2018-03-30

Applicant: 重庆市骞焰机械有限责任公司

Inventor： 罗贵良

IPC: B05C3/10 ,  B05C9/12 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  B05C11/115 ,  B05C13/02 ,  B05C21/00

CPC classification number: B05C3/10 ,  B05C9/12 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  B05C11/1039 ,  B05C11/115 ,  B05C13/02 ,  B05C21/005

Abstract: 本发明涉及阀门生产加工领域，公开了一种阀门手轮的涂漆装置，包括漆槽，漆槽上安装有机架，机架上滑动连接有齿条，齿条上啮合有小齿轮，且齿条上转动连接有横杆，且横杆上设有固定位，固定位上套设有弹性充气筒，机架上设有竖管，竖管内设有间隙配合的活塞，活塞将竖管内部分隔为上管道和下管道，上管道内设有连杆，连杆的两端分别铰接在齿条和活塞上，下管道的下端与弹性充气筒之间连接有充气管；漆槽连接有进漆管，且漆槽内转动连接有转轴，转轴一端固定连接有涡轮，涡轮位于进漆管与漆槽的连接口处，转轴的另一端与横杆之间连接有弹性皮带。通过本发明能够在对手轮涂漆时，避免手轮的穿孔中也涂上油漆，提高手轮的加工效率。

公开(公告)号：CN108028177A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680053566.8

申请日：2016-08-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小玉辉彦 ,  榎本正志 ,  田所真任 ,  桥本崇史

IPC: H01L21/027 ,  B05D1/36 ,  B05D3/00 ,  B05C11/08 ,  G01B11/02 ,  G03F7/26 ,  B05C9/14

CPC classification number: G03F7/162 ,  B05C9/14 ,  B05C11/08 ,  B05D1/36 ,  B05D3/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/022 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26 ,  H01L21/02115 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/027 ,  H01L21/0276 ,  H01L22/20

Abstract: 防止在基板的周端部形成异常的抗蚀图案。本发明的基板处理方法包括以下工序：针对基板的表面的周端部，获取沿着该基板的径向的高度分布；接着，以基于所述高度分布对所述周端部的高度的下降进行矫正的方式在所述基板的整个表面形成下层膜；以及接着，在所述下层膜的整个表面形成抗蚀膜。因而，在该基板的周端部，抑制曝光时对抗蚀膜的表面的聚焦偏移。作为其结果，能够抑制在该周端部形成异常的抗蚀图案。

公开(公告)号：CN107866355A

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201711064367.X

申请日：2017-11-02

Applicant: 上海船舶工艺研究所 ,  上海中船材料工程有限公司

Inventor： 李磊 ,  蔡正燕 ,  赵德斌 ,  由佳 ,  李梅林 ,  朱晨东

IPC: B05C7/02 ,  B05C13/02 ,  B05C11/08 ,  B05C11/02 ,  B05D7/00 ,  B05D1/12

CPC classification number: B05C7/02 ,  B05C11/02 ,  B05C11/08 ,  B05C13/02 ,  B05D1/12 ,  B05D7/222 ,  B05D2507/01

Abstract: 本发明描述了一种用于涂塑船管的喷吸涂塑装置，机架上设有旋转系统和夹紧机构，机架的一端设有喷粉系统，机架的另一端设有吸粉装置；喷粉系统包括粉末设置箱和与粉末设置箱相连的喷粉机构，喷粉机构设有喷射器和与喷射器相连的向外延伸的内喷粉管；旋转系统包括电机、由电机驱动的旋转头和被动支撑滚轮，旋转头设置于船管的一端，被动支撑滚轮设置于船管的另一端。本发明喷粉系统可以控制出粉量，喷射出来的粉比单纯的吸涂更均匀，特别对于大口径和超长管件的涂塑时，采用一端喷射另一端吸粉的方法，不仅可以节省时间，保证上粉的速度和效率，同时节省用粉量，更精确控制出粉量，粉末的喷涂更均匀，粉末的吸附力更强。

公开(公告)号：CN107731709A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201710679783.4

申请日：2017-08-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 福田昌弘 ,  一之宫博 ,  小畑耕一 ,  山本太郎 ,  田中公一朗

IPC: H01L21/67 ,  B08B3/02 ,  G03F7/40

CPC classification number: H01L21/6715 ,  B05C5/0258 ,  B05C11/08 ,  B05C11/1002 ,  B08B3/08 ,  B08B3/10 ,  G03F7/162 ,  G03F7/3021 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67178 ,  B08B3/022 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供一种液处理装置和液处理方法。提供一种在向绕铅垂轴线旋转的晶圆供给清洗液而进行处理的液处理装置中抑制雾向晶圆的再次附着的技术。液处理装置设置有：引导构件(3)，其从水平地保持着的晶圆(W)的背面的周缘部朝向外侧下方形成有倾斜面(32)；包围构件(2)，其形成为包围晶圆(W)的圆筒状，其上缘部朝向内周侧向斜上方伸出，在其内表面侧的比水平地保持着的晶圆(W)的表面高度靠上方的位置在整周上形成有两根槽部(23)。若气流沿着包围构件(2)流动，则气流在槽部(23)中形成涡流，滞留在槽部(23)内，因此，能够捕捉雾，能够抑制雾向杯体(1)的外部流出。因而，能够抑制雾向晶圆(W)的附着。

公开(公告)号：CN107427860A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680013005.5

申请日：2016-02-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 桥本崇史 ,  畠山真一 ,  柴田直树 ,  吉原孝介

IPC: B05D1/40 ,  B05C11/08

CPC classification number: B05D1/005 ,  B05C11/08 ,  B05D3/104 ,  G03F7/091 ,  G03F7/162 ,  G03F7/2028 ,  H01L21/027 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67253

Abstract: 在基板上涂敷涂敷液的涂敷处理方法，包括：在基板的中央部利用溶剂形成第1液膜，在基板的外周部利用该溶剂形成膜厚比第1液膜厚的环状的第2液膜的溶剂液膜形成步骤；一边使基板以第1转速旋转，一边对基板的中心部供给涂敷液的涂敷液供给步骤；和一边供给涂敷液，一边使基板以比所述第1转速快的第2转速旋转，使所述涂敷液在基板上扩散的涂敷液扩散步骤。

公开(公告)号：CN107185770A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201710583465.8

申请日：2017-07-18

Applicant: 中山松德印刷机械有限公司

Inventor： 郭景松 ,  贺志磐 ,  黄亚东 ,  吴文秋

IPC: B05C1/12 ,  B05C11/08 ,  B05D3/06 ,  B05D3/04

CPC classification number: B05C1/12 ,  B05C11/08 ,  B05D3/0406 ,  B05D3/067

Abstract: 本发明公开了一种离型膜涂布LED光固化生产线，包括有依次连接的放卷单元、入料牵引单元、涂布单元、流平单元、LED UV光固化单元、风机自然吹风单元、收料牵引单元、以及收卷单元。本案结构简单易实现，运用冷光源固化干燥技术，其具有显著特点，干燥温度低，涂布过程中不易变形，与常规离型膜涂布机的电、气、油等加热烘干方式相比，本案能耗低，生产线取消了常规离型膜涂布机的烘道设计，无需热固化干燥，从而大幅度减少走料的损耗；另，LED UV光固化单元后采用风机自然吹风单元进行自然吹风，其在能耗不高的情况下增强固化效果，实用性好。

公开(公告)号：CN104937143B

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201280076603.9

申请日：2012-10-25

Applicant: 俄铝工程技术中心有限责任公司

Inventor： A·V·普罗什金 ,  S·Y·利文森 ,  V·V·平金 ,  A·V·莫洛佐夫

IPC: C25C3/08

CPC classification number: C25C3/08 ,  B05C11/025 ,  B05C11/08

Abstract: 本发明涉及为电解池的阴极加装内衬的方法和设备。所述方法包括对电解池壳充填粉末材料，使用水平板调平，使用防尘膜覆盖充填的材料，然后进行压实。压实分两个阶段进行：初步静态处理和最终的动态处理，其通过使相应的作业部件经由至少2层构成的缓冲垫沿所述电解池阴极的纵轴相继移动而进行，所述缓冲垫的至少2层为：下层，所述下层防止粉末材料向移动方向移位；和上层，所述上层用于在缓冲垫和作业部件之间提供连接。具有驱动器的辊形式的静态压实单元借助弹性元件与具有振动激发器的动态压实单元连接，从而使动态压实单元能够沿所述辊的水平和竖直轴运动。本发明有助于减缓熔融氯化物盐渗入阴极隔热物的速率，并增加电解池的工作寿命。