光纤预成型件的制造方法
    134.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1637445A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200410045731.4

    申请日:2004-05-24

    Inventor: 金成珍 吴成国

    Abstract: 一种通过外套管过程制造光纤预成型件的方法和装置,其中所述外套管过程减少制造过程中形成的羟基的量。所述方法包括步骤:准备主预成型件以及与主预成型件同轴对齐的辅助玻璃管;在同轴对齐主预成型件和辅助玻璃管之后密封主预成型件和辅助玻璃管的预定末端。置换气体被引入主预成型件和辅助玻璃管中,所述置换气体具有优良的吸收主预成型件与辅助玻璃管之间的羟基的属性。沿主预成型件和辅助玻璃管的纵向、从主预成型件和辅助玻璃管的预定端完全密封主预成型件和辅助玻璃管。通过在外套管步骤实施之前将置换气体注入主预成型件与辅助玻璃管之间所形成的空间中,使羟基被置换气体置换。

    一种高沉积速率PCVD工艺制作光纤芯棒的方法

    公开(公告)号:CN1403397A

    公开(公告)日:2003-03-19

    申请号:CN02139197.1

    申请日:2002-10-23

    CPC classification number: C03B37/0183 C03B2201/12 C03B2201/31 Y02P40/57

    Abstract: 本发明涉及一种高沉积速率PCVD工艺制作芯棒的方法,采用等离子体化学气相沉积,在圆管形的石英衬管内壁上沉积纯硅或掺杂的氧化硅层,包括流经石英衬管的原料气体(或蒸气),石英衬管穿过筒形的谐振腔且周期转动,同时谐振腔沿石英衬管轴向往复移动,其特征在于高频系统的输出高频功率最大可达3~6KW;反应所需主要原料气体的流量最高可达:以纯SiCl4蒸气计800~2000sccm,总O21500~5000sccm,以纯GeCl4蒸气计20~500sccm,以纯Freon蒸气计10~100sccm;可实现的最大沉积速率(以纯硅计)为1.80~3.50g/min,沉积完毕后,在缩棒设备上将沉积管熔缩成实心芯棒。本发明能在保持PCVD原有工艺特性的基础上有效提高其沉积速率,从而提高PCVD工艺的生产效率。

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