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公开(公告)号：CN102791331B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201180013023.0
申请日：2011-03-01
Applicant: ASML荷兰有限公司
Abstract: 在此公开一种可以包括等离子体产生系统的设备，该等离子体产生系统包括靶材料液滴源和产生在辐射区域辐射液滴的光束的激光器，等离子体产生EUV辐射，其中，液滴源包括离开小孔的流体以及在流体中产生扰动的子系统，该子系统产生具有不同初始速率的液滴，当液滴行进到辐射区域时引起在至少一些相邻液滴之间的间距减少。
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公开(公告)号：CN103256983B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201310044123.0
申请日：2013-01-25
Applicant: 株式会社日立制作所
Abstract: 本发明提供一种光学装置。在CARS显微镜光学装置中不使向生体物质等观察物体的照射光量增加就能够实现高分辨率和信号噪声比的提高。使来自观察物体(202)的CARS光与超连续谱光的一部分且波长为ωAS＝2ωP-ωST的参照光干涉，通过从干涉光取出信号来使信号放大。
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公开(公告)号：CN102998089B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201210478716.3
申请日：2012-11-23
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种极远紫外探测器校准装置，包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元、探测器单元和压力差分单元。其中，汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜，其包括摆镜和旋转位移平台，摆镜为两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜。探测器单元包括标准探测器和待测探测器。利用本发明可以实现在30nm～200nm范围内探测器相对光谱响应度校准。本发明提供的整个装置体积小巧，接口丰富，在极紫外和远紫外辐射度校准和消除高级次光谱上有独特的设计，提高了极紫外和远紫外辐射校准的精度。
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公开(公告)号：CN102998088B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201210478703.6
申请日：2012-11-23
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种极远紫外光源校准装置，包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元、探测器单元和压力差分单元。其中，汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜，其包括摆镜和旋转位移平台，摆镜为两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜。利用本发明可以实现30nm～200nm范围内光源光谱辐射参数校准。本发明提供的整个装置体积小巧，接口丰富，在极紫外和远紫外辐射度校准和消除高级次光谱上有独特的设计，提高了极紫外和远紫外辐射校准的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105004694A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510289459.2
申请日：2015-05-29
Applicant: 苏州诺联芯电子科技有限公司
Inventor： 罗雯雯
IPC: G01N21/3504 , G01J3/10
Abstract: 本发明提供一种基于MEMS技术的阵列式红外光源器件及其制备方法。红外光源器件包括红外发光部分和聚光罩部分。红外发光部分包括第一硅基晶圆、形成在第一硅基晶圆上表面的绝缘层、形成在绝缘层上的金属电极和与金属电极连接的若干个呈阵列式间隔分布的金属加热区、形成在金属加热区周围的绝缘层上的第一锚点和沉积在若干所述金属加热区上表面的高辐射率材料。金属加热区和高辐射率材料共同形成若干个红外辐射源。第一硅基晶圆上形成有位于红外辐射源下方的绝热腔体。聚光罩部分包括第二硅基晶圆和设置在第二硅基晶圆的下表面的第二锚点，第二硅基晶圆上形成有若干与所述红外辐射源一一对应设置的聚光孔；第一锚点和第二锚点相互键合。
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公开(公告)号：CN104937395A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201480005048.X
申请日：2014-01-14
Applicant: 皇家飞利浦有限公司
CPC classification number: G01N21/3151 , A61B5/0507 , A61B5/082 , A61M2016/102 , A61M2016/103 , A61M2205/3313 , G01J3/108 , G01J3/28 , G01J3/42 , G01N21/274 , G01N21/3504 , G01N21/359 , G01N33/497 , G01N2021/3181 , G01N2021/8578 , G01N2201/0612 , G01N2201/062
Abstract: 通过红外光谱法执行气体测量，气体测量检测器被配置为监测在可呼吸气流的流路径(18)内的气体分子种类的水平，所述流路径(18)与对象的气道连通。除了使用单个源(20)来生成参考的电磁辐射以及测量波长，近红外电磁辐射源(22)被用于生成参考电磁辐射。所述检测器包括：第一源(20)，其被配置为发射中红外电磁辐射；第二源(22)，其被配置为发射近红外电磁辐射；源光学器件(24)，其被配置为将由所述第一源和第二源发射的中红外电磁辐射和近红外电磁辐射组合成同轴射束，以及引导所述同轴射束穿过所述流路径(18)；传感器光学器件(38)，其被配置为接收已经贯穿所述流路径(18)的所述同轴射束中的电磁辐射，以及将接收到的电磁辐射分成第一辐射和第二辐射，其中，所述第一辐射包括中红外电磁辐射，所述第二辐射包括近红外电磁辐射；第一辐射传感器(40)，其被配置为接收所述第一辐射，并且生成传达与在所述第一辐射中的所述中红外电磁辐射的参数有关的信息的输出信号；第二辐射传感器(42)，其被配置为接收所述第二辐射，并且生成传达与在所述第二辐射中的所述近红外电磁辐射的参数有关的信息的输出信号；以及处理器(36)，其被配置为，基于由所述第一辐射传感器(40)和所述第二辐射传感器(42)生成的所述输出信号，确定在所述流路径中所述可呼吸气流内的气体分子种类的水平，使得由所述第二辐射传感器(42)生成的所述输出信号被实施为补偿通过所述流路径的光损耗。优选地基于通过所述源(20)的电阻的测量补偿了所述源(20)的辐照度的波动，所述源(20)在测量波长处生成电磁辐射。
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公开(公告)号：CN104713644A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310712517.9
申请日：2013-12-17
Applicant: 南开大学
IPC: G01J3/10
Abstract: 本发明是一种波导光学照明测色探头，此装置采取波导光学照明作为主要的照明方式。贴片LED作为照明光源，被均匀地安装在测色仪感光单元外部的圆周上。贴片LED同时与光波导的入射端相连接，待测样品被放置在光波导的出射端，在测量过程中被光波导所传输的LED贴片光源所发出的光均匀照明。聚光透镜将样品在垂直方向上的反射光汇聚在感光单元上，通过感光单元测量出样品的色度值。此种测色探头最大特点为体积小、能耗低、发热少、实用性高，适用于液体和染料样品的色度测量，具有较高的经济效益和社会效益。
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公开(公告)号：CN102753949B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201180008932.5
申请日：2011-02-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01J3/10 , G01J3/02 , G01J3/0297
Abstract: 本发明提供一种使用了氙气闪光灯的分光光度计及其性能测定方法，在所述分光光度计中能够与过去的存储数据核对。通常使用来自氙气闪光灯的光束，经由凹面镜后用分光器分光为任意波长，用光检测器检测透过试样的光束，由此进行分光分析。当进行性能测定时，在氙气闪光灯和分光器之间的光束路径中配置低压水银灯，驱动构成光闸机构的遮光板遮光以及使光透过来检测光强度，由此使用低压水银灯的亮线光谱进行“波长准确性”或“分辨率”的测定。由此，可以进行能够与过去的存储数据核对的分光分析。
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公开(公告)号：CN104568153A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410716002.0
申请日：2014-12-02
Applicant: 爱彼思(苏州)自动化科技有限公司
Abstract: 一种环形光源及使用该光源的颜色检测装置，本发明公开了一种环形光源，包括发光部，用于发出由平行光构成的柱状光束，其特征是，还包括连接所述发光部的光路传递部，用于改变所述发光部出光的照射方向，所述光路传递部由至少三个传递分部围绕柱状光束的中心线环形排布而成，能够在各自方位同步改变所述发光部出光的传递方向使与所述中心线成一定夹角。本发明的环形光源，通过简单的光路传递部和一个柱状光束发光部的配合而获得，不仅体积小，而且可保证光源颜色及对产品水平方向各角度检测结果的一致性。十分适合产品表面颜色的检测。
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