公开(公告)号：US20050272179A1

公开(公告)日：2005-12-08

申请号：US11136306

申请日：2005-05-24

Applicant: Andrew Frauenglass

Inventor： Andrew Frauenglass

IPC: B81C1/00 ,  H01L21/42

CPC classification number: H01L21/42 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/058 ,  B81C1/00492 ,  B81C99/0095 ,  B81C2201/0159

Abstract: Embodiments of a structure and embodiments of methods for fabricating structures provide three dimensional features defined by exposure to multiple wavelengths of light. In an embodiment, material is exposed to two different wavelengths of light. Embodiments of three dimensional structures may provide a variety of three-dimensional structural features and characteristics.

Abstract translation: 用于制造结构的方法的结构和实施例的实施例提供通过暴露于多个波长的光而限定的三维特征。 在一个实施例中，材料暴露于两种不同波长的光。 三维结构的实施例可以提供各种三维结构特征和特征。

公开(公告)号：US20040049918A1

公开(公告)日：2004-03-18

申请号：US10149055

申请日：2002-06-24

Inventor： Takashi Nishi

IPC: B21K001/30 ,  B23P015/14

CPC classification number: F16H55/22 ,  B23P15/14 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0085 ,  Y10T29/49462 ,  Y10T29/49467 ,  Y10T29/49469 ,  Y10T29/4948

Abstract: In order that a worm 1 is rotated, a clearance (a region constituting a clearance portion between bearings and a worm gear) is formed (FIGS. 4(1) to (3)) in an upper surface of a base plate 3. A mold 12 for forming a lower half region of the worm therein is formed (FIG. 4(8)). A material 5 for the worm is deposited (FIG. 4(9)) to a height equal to that of a lower half region plus that of an upper half of the worm. An upper half of the worm is formed (FIGS. 4(10) to (12). Finally, the material 13 in the clearance between the base plate 3 and gear 1 is removed (FIG. 4(13)).

Abstract translation: 为了使蜗杆1旋转，在基板3的上表面形成有间隙（构成轴承和蜗轮之间的间隙部的区域）（图4（1）〜（3））。 形成用于形成蜗杆下半部分的模具12（图4（8））。 将蠕虫的材料5（图4（9））沉积到等于下半部分加上蠕虫上半部的高度的高度。 形成蜗杆的上半部（图4（10）〜（12）），最后移除基板3与齿轮1之间的间隙中的材料13（图4（13））。

公开(公告)号：US20030099763A1

公开(公告)日：2003-05-29

申请号：US10158582

申请日：2002-05-30

Applicant: The Ohio State University

Inventor： Kenneth H. Sandhage

IPC: B05D003/00 ,  B01J013/00 ,  A61J001/00

CPC classification number: G01N33/54346 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00 ,  B81C99/0085 ,  G01N33/54353 ,  G01N33/544 ,  Y10S977/811 ,  Y10S977/84 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/90

Abstract: The present invention is focused on a revolutionary, low-cost (highly-scaleable) approach for the mass production of three-dimensional microcomponents: the biological reproduction of naturally-derived, biocatalytically-derived, and/or genetically-tailored three-dimensional microtemplates (e.g., frustules of diatoms, microskeletons of radiolarians, shells of mollusks) with desired dimensional features, followed by reactive conversion of such microtemplates into microcomponents with desired compositions that differ from the starting microtemplate and with dimensional features that are similar to those of the starting microtemplate. Because the shapes of such microcomponents may be tailored through genetic engineering of the shapes of the microtemplates, such microcomposites are considered to be Genetically-Engineered Materials (GEMs).

Abstract translation: 本发明集中在用于大规模生产三维微型组件的革命性的低成本（高度可扩展）方法：天然衍生的，生物催化衍生的和/或基因定制的三维微型模板的生物繁殖 （例如，硅藻的截头圆锥体，放射体的微骨架，软体动物的壳）具有所需的尺寸特征，随后将这种微模板反应转化成具有与起始微模板不同的所需组成的微组件，并具有与起始微模板类似的尺寸特征 微模板。 由于这些微型组件的形状可以通过微型模板的形状的遗传工程来定制，所以这种微复合材料被认为是基因工程材料（GEM）。

公开(公告)号：US5417801A

公开(公告)日：1995-05-23

申请号：US083226

申请日：1993-06-29

Applicant: Igor I. Bol

Inventor： Igor I. Bol

IPC: B23P15/00 ,  B81C1/00 ,  G03F7/00 ,  H01H1/00 ,  H02N1/00 ,  H01L21/302

CPC classification number: B81C1/00198 ,  B23P15/00 ,  G03F7/00 ,  H01H1/0036 ,  H02N1/002 ,  B81B2201/035

Abstract: A process in which micromechanical bushings can be made and the application of such process to making micromechanical devices. Bushings are made on a surface of a stationary structure extending from a planar surface. The bushings are separated from the stationary structure by a sacrificial layer. The stationary structure, the bushing and the planar surface are then further processed by coating with a second sacrificial layer, and a structural layer. The structural layer is patterned into a movable structure that is held onto the stationary structure by a curved, undercut edge such as gear on stool. Final processing includes removing both sacrificial layers to free the movable structure, the bushing, and the stationary structure from each other. The bushing is trapped between the movable structure and the stationary structure but able to move freely.

Abstract translation: 可以制造微机械套管的过程以及制造微机械装置的这种工艺的应用。 衬套在从平坦表面延伸的固定结构的表面上制成。 衬套通过牺牲层与静止结构分离。 然后通过用第二牺牲层和结构层进行涂覆来进一步处理固定结构，衬套和平面表面。 结构层被图案化成可移动的结构，其通过弯曲的底切边缘（例如在凳子上的齿轮）保持在固定结构上。 最终处理包括移除两个牺牲层以使可移动结构，衬套和固定结构彼此释放。 衬套被夹在可移动结构和固定结构之间，但能够自由移动。

公开(公告)号：WO2019043432A1

公开(公告)日：2019-03-07

申请号：PCT/IB2017/055200

申请日：2017-08-30

Applicant: ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)

Inventor： QUACK, Niels ,  TOROS, Adrien ,  KISS, Marcell ,  GRAZIOSI, Teodoro ,  GALLO, Pascal

IPC: C30B29/04 ,  C30B29/60 ,  C30B33/12 ,  B81C99/00 ,  G04B13/00

CPC classification number: C30B29/04 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00396 ,  B81C1/00619 ,  B81C2201/0132 ,  C30B29/607 ,  C30B29/66 ,  C30B33/12 ,  G04B13/02

Abstract: The present invention relates to a free-standing single crystalline diamond part and a single crystalline diamond part production method. The method includes the steps of: - providing a single crystalline diamond substrate or layer; - providing a first adhesion layer on the substrate or layer; - providing a second adhesion layer on the first adhesion layer: - providing a mask layer on the second adhesion layer; - forming at least one indentation or a plurality of indentations through the mask layer and the first and second adhesion layers to expose a portion or portions of the single crystalline diamond substrate or layer; and - etching the exposed portion or portions of the single crystalline diamond substrate or layer and etching entirely through the single crystalline diamond substrate or layer.

公开(公告)号：WO2012048693A4

公开(公告)日：2012-07-19

申请号：PCT/DE2011075120

申请日：2011-05-27

Applicant: BPE E K ,  HORNIG WOLFGANG

Inventor： HORNIG WOLFGANG

IPC: B44B5/00 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C59/022 ,  B29C59/007 ,  B29C2059/023 ,  B44B5/0052 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0085 ,  B81C2201/038

Abstract: The invention relates to a method for producing bodies having surface structures in the micrometer or nanometer range, wherein the stamping section of a stamping tool is pressed several times against various locations of the surface of a body by means of a hardness testing device, whereby recesses are stamped at the pressing locations, and wherein a stamping tool having an elongated stamping section is used and corresponding channels or line-like structure are produced in the body.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于对具有在微米或纳米范围内，其中，冲压工具的压花部由硬度计的手段按压几次在身体上，这是在各自的Aufpressstellen凹陷印象深刻的表面的不同点处的表面结构的物品的制造方法，并且其中，压花工具具有 在身体中产生使用的纵向形状的压花部分和相应的通道或线状结构。

公开(公告)号：WO2012065802A1

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：PCT/EP2011/068371

申请日：2011-10-20

Applicant: THE SWATCH GROUP RESEARCH AND DEVELOPMENT LTD ,  BOURBAN, Stewes ,  RICHARD, David ,  GILOMEN, Beat ,  STEINMUELLER, Detlef ,  DREXEL, Herwig ,  STEINMUELLER, Doris ,  GHODBANE, Slimane

Inventor： BOURBAN, Stewes ,  RICHARD, David ,  GILOMEN, Beat ,  STEINMUELLER, Detlef ,  DREXEL, Herwig ,  STEINMUELLER, Doris ,  GHODBANE, Slimane

IPC: C23C16/27 ,  D04B15/14 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01L21/02527 ,  B81B3/0075 ,  B81B2201/035 ,  B81C2201/0119 ,  C23C16/27 ,  C23C16/278 ,  C23C16/279 ,  G04B15/14

Abstract: Method for coating micromechanical components of a micromechanical system, in particular a watch movement, comprising: providing a substrate (4) component to be coated; providing said component with a first diamond coating (2) doped with boron; providing said component with a second diamond coating (3); wherein :said second diamond coating (3) is provided by CVD in a reaction chamber; during CVD deposition, during the last portion of the growth process, a controlled increase of the carbon content within the reaction chamber is provided, thereby providing an increase of the sp2/sp3 carbon (6) bonds up to an sp2 content substantially between 1% and 45%. Corresponding micromechanical components are also provided.

Abstract translation: 用于涂覆微机械系统的微机械部件的方法，特别是手表机芯，包括：提供待涂覆的基底（4）部件; 向所述部件提供掺杂有硼的第一金刚石涂层（2）; 向所述部件提供第二金刚石涂层（3）; 其中：所述第二金刚石涂层（3）通过CVD在反应室中提供; 在CVD沉积期间，在生长过程的最后部分期间，提供了反应室内碳含量的可控增加，从而提供sp2 / sp3碳（6）键的增加，直到sp2含量基本上在1％ 和45％。 还提供了相应的微机械部件。

公开(公告)号：WO2011009869A1

公开(公告)日：2011-01-27

申请号：PCT/EP2010/060497

申请日：2010-07-20

Applicant: MONTRES BREGUET SA ,  KARAPATIS, Nakis

Inventor： KARAPATIS, Nakis

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00682 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00674 ,  B81C2201/0178 ,  Y10T29/49986

Abstract: Le procédé de fabrication d'une pièce micromécanique en silicium renforcé comporte les étapes de : - micro-usiner la pièce, ou un lot de pièces dans une plaquette de silicium; - former, sur toute la surface de la pièce, en une ou plusieurs étapes, une couche de dioxyde de silicium, de manière à obtenir une épaisseur de dioxyde de silicium au moins cinq fois supérieure à l'épaisseur d'un dioxyde de silicium natif; - retirer la couche de dioxyde de silicium par attaque chimique.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造由增强硅制成的微机械部件的方法，包括以下步骤：在硅晶片中微加工所述部件或一批部件; 在一个或多个步骤中并在整个表面上形成二氧化硅层，以获得比天然二氧化硅的厚度大至少五倍的二氧化硅的厚度; 并通过化学侵蚀去除二氧化硅层。

公开(公告)号：WO2008055844A1

公开(公告)日：2008-05-15

申请号：PCT/EP2007/061800

申请日：2007-11-01

Applicant: ETA SA MANUFACTURE HORLOGERE SUISSE ,  MARMY, Philippe ,  HELFER, Jean-Luc ,  CONUS, Thierry

Inventor： MARMY, Philippe ,  HELFER, Jean-Luc ,  CONUS, Thierry

IPC: B81C5/00

CPC classification number: B81C99/0095 ,  B81B2201/035 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/056 ,  B81C2203/038 ,  B81C2203/051 ,  G04B31/004 ,  G04D3/0069 ,  Y10T29/49579

Abstract: Le procédé comporte les étapes suivantes : a) usiner dans une première plaquette de silicium (1) un premier élément (3) ou une pluralité desdits premiers éléments (3) en maintenant lesdits éléments (3) liés par des ponts de matière (5); b) répéter l'étape a) avec une deuxième plaquette de silicium (2) pour usiner un deuxième élément (4), de forme différente de celle du premier élément (3), ou une pluralité desdits deuxièmes éléments (4); c) à l'aide de moyens de positionnement (6, 7), appliquer face contre face les premiers et deuxièmes éléments (3, 4) ou les premières et deuxièmes plaquettes (1, 2); d) effectuer une oxydation de l'ensemble formé à l'étape c) et e) séparer les pièces (10) des plaquettes (1, 2). Pièces de micromécanique horlogère obtenue selon le procédé.

Abstract translation: 该方法包括以下步骤：a）在第一硅晶片（1）中加工第一元件（3）或多个所述第一元件（3），以使所述元件（3）通过材料桥（5）连接在一起 ）; b）用第二硅晶片（2）重复步骤a），以便加工与第一元件（3）的形状不同的第二元件（4）或多个所述第二元件（4）; c）第一和第二元件（3,4）或第一和第二晶片（1,2）通过定位装置（6,7）面对面地施加; d）步骤c）中形成的组件经历氧化; 和e）部件（10）与晶片（1,2）分离。 根据工艺获得的微型钟表零件。

公开(公告)号：WO2008046539A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：PCT/EP2007/008754

申请日：2007-10-09

Applicant: PAUL SCHERRER INSTITUT ,  HENEIN, Simon

Inventor： HENEIN, Simon

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0027 ,  B81B2201/035 ,  F16H21/04 ,  Y10T74/18992

Abstract: The present invention discloses a device (CD) for converting a first motion (x s ) into a second motion (Δy) responsive to said first movement (x s ) under a demagnif ication scale (i), comprising: a) an input portion (IP) being drivable in a rectilinear translation in a first direction (x) by an actuator (AC) causing said first motion (x s ); b) an output portion (OP) being movable by a converting blade (CB) causing said second motion (Δy) responsive to said first motion (x s ) in a second direction (y) substantially perpendicular to said first direction (x); and c) a converting section (CS) connecting said input portion (IP) to said output portion (OP); said converting section (CS) comprising an intermediate spring portion (ITP) and the converting blade (CB), cl) wherein said intermediate spring portion (ITP) comprises at least two parallel flexure blades (FBI, FB2); and c2) wherein said converting blade (CB) being substantially- identical in shape to the a least two parallel flexure blades (FBI, FB2) and being offset from its neutral position by a predetermined amount (x 0 ) in the first direction (x) as compared to the neutral position of the at least two parallel flexure blades (FBI, FB2). This device has a flexure-based structure that allows combining the advantages of classical actuators with accuracies in the micrometer range and the advantages of flexures to achieve nanometer accuracy.

Abstract translation: 本发明公开了一种用于响应于所述第一移动（x SUB）而将第一运动（x SUB）转换成第二运动（ωy）的装置（CD）， （i），其包括：a）通过致动器（AC）在第一方向（x）上以直线平移方式驱动的输入部分（IP），所述致动器（AC）引起所述第一运动（x SUB） >）; b）输出部分（OP）可由转换刀片（CB）移动，所述转换刀片（CB）在基本垂直的第二方向（y）上响应于所述第一运动（x SUB）引起所述第二运动（θy） 到所述第一方向（x）; 以及c）将所述输入部分（IP）连接到所述输出部分（OP）的转换部分（CS）; 所述转换部分（CS）包括中间弹簧部分（ITP）和转换刀片（CB），c1），其中所述中间弹簧部分（ITP）包括至少两个平行弯曲刀片（FBI，FB2）; 和c2），其中所述转换刀片（CB）的形状基本上与至少两个平行弯曲刀片（FBI，FB2）相同，并且从其中性位置偏移预定量（x < ）与第一方向（x）相比，与至少两个平行弯曲叶片（FBI，FB2）的中立位置相比。 该装置具有基于挠曲的结构，可以将经典执行器的优点与微米范围的精度相结合，并具有弯曲的优点，以达到纳米精度。