控制场发射阴极测试与老化过程中电流稳定性的方法

    公开(公告)号:CN106960773B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201710271213.1

    申请日:2017-04-24

    Abstract: 本发明涉及场致电子发射领域。为解决场发射阴极测试与老化过程中电流发射稳定性等问题,提供了利用场发射电子源装置控制场发射阴极测试与老化过程中电流稳定性的方法,使场发射电子源的阴极电子发射能力与在阴极和阳极之间所施加的电场强度相关联,并且使得由高压电源输出到阳极的电压越高,阴极电子发射能力越强;在场发射电子源上加载持续的高压,采用高压脉冲驱动单元把加载在场发射电子源上的持续的高压调节成脉冲式高压;设定脉冲式高压,以用于高压电源稳定读取测试中的电流,反馈给控制平台进行调节,并在下一个连续脉冲周期到来前完成调节过程。本发明通过对场发射电压进行反馈补偿,从而实现发射电流的稳定控制,具有较强的实用性。

    一种微波调制相位可控的多电子注冷阴极电子枪

    公开(公告)号:CN109559950A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201710883810.X

    申请日:2017-09-26

    Inventor: 刘梅

    Abstract: 该发明属于可集成电真空辐射源器件配套用冷阴极电子枪,包括:电子枪壳体及其底座,上、下电极板及设有与冷阴极的个数相同通孔的微波输入层,微波输入层中各通孔分别与上、下电极板一并组成相应个数的互作用腔,各冷阴极分别嵌于相应互作用腔底部的下电极板上,在正对每个互作用腔的上电极板区域内均开设了一组各孔尺寸都小于微波波长的阵列式电子注输出孔。该发明具有注波互作用空间小,可按要求馈入不同频率的微波来调制多个冷阴极发射电流、以产生不同调制频率及强度的多个电子注,而且每个电子注微波调制相位可控,可为集成微型电真空辐射源器件提供多个电子注源,且输出功率大,有效扩大了应用范围等特点。

    一种双栅控制式冷阴极电子枪及其制备方法

    公开(公告)号:CN109065428A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201810935160.3

    申请日:2018-08-16

    Abstract: 本发明涉及真空电子器件技术领域,公开了一种双栅控制式冷阴极电子枪及其制备方法。通过本发明创造,提供了一种工艺简单、使用寿命长和性能优良的新型电子枪,即采用冷阴极作为真空电子器件的发射源,并利用阴极栅网阵列化冷阴极表面,可有效削弱大面积冷阴极材料发射电子的静电屏蔽效应,提高大面积冷阴极材料的发射电流,同时将阴极衬底表面设计为一整个平面,不但可规避加工毛刺等问题,改善边缘效应及打火等现象,还可以使阴极衬底表面的电场分布较为平坦,有利于提高发射电流密度的均匀性,实现大电流发射目的,进而可适用于真空电子辐射元器件或产生大电流及高密度电子注的器件中。

    一种在质谱分析中使用的离子反应装置和质谱仪

    公开(公告)号:CN105830197B

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201480070184.7

    申请日:2014-11-18

    Inventor: 马场崇

    Abstract: 本发明提供一种离子反应装置,其具有用于接收多个离子的离子注入入口及离子可通过其离开所述装置的离子射出出口。所述反应装置包含:多个非线性杆,其是相对于彼此而安置以便提供经配置以经由所述离子注入入口接收多个阴离子及阳离子的轴向区域以及与所述轴向区域连通的多个俘获区域,所述阴离子及阳离子可被局限在所述俘获区域中。DC电压源经调适以横跨所述杆中的至少两者施加DC电压以便在所述轴向区域的至少一部分内产生电场以用于在空间上分离所述经接收阴离子与阳离子并将所述阴离子导向到所述俘获区域中的一者中且将所述阳离子导向到所述俘获区域中的另一者中。

    一种场发射阴极电子源及其应用

    公开(公告)号:CN108091529A

    公开(公告)日:2018-05-29

    申请号:CN201711200705.8

    申请日:2017-11-27

    Applicant: 温州大学

    CPC classification number: H01J3/021 H01J1/304

    Abstract: 本发明公开了一种场发射阴极电子源及其应用,包括有场发射阴极和场发射门极,场发射阴极和场发射门极之间设置有场发射电压,场发射门极对应场发射阴极电子源的场发射方向的外端位置设置有环形电极,环形电极对应场发射阴极电子源的场发射方向的外端位置为环形带栅孔电极,环形带栅孔电极的径向外侧套设有环形辅助外电极,其中辅助外电极可以是电子源的外壳。该场发射电子源的主要功能和优点是是为真空电子器件(包括X射线管、微波管等)提供电子束流或在真空电子器件中进行气体压强监控。

    离子源
    148.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107993909A

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201711317954.5

    申请日:2017-12-12

    Inventor: 井内裕

    CPC classification number: H01J3/04 H01J3/12

    Abstract: 本发明提供一种离子源,能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化,并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备:长条状的等离子体生成容器(10);多个磁铁(30),在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B);及多个第一丝极(40A),沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状,并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移,从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b),比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。

    一种基于场发射阴极电子源的电离真空计及其应用方法

    公开(公告)号:CN107993908A

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201711200611.0

    申请日:2017-11-27

    Applicant: 温州大学

    Inventor: 董长昆 张建

    Abstract: 本发明公开了一种基于场发射阴极电子源的电离真空计及其应用方法,本发明公开了一种基于场发射阴极电子源的电离真空计,该真空计包括场发射电子源、离子收集极、电子振荡收集极、和圆筒外电极等。从场发射阴极发射出的电子流,以一定能量进入电离区域轰击真空腔体残留气体分子,气体被电离形成正离子,部分离子被离子收集极收集,收集到的离子电流与气体压强成正比,从而测量真空系统的压强。本真空计具有灵敏度高、测量范围宽、功耗低、放气低、响应速率快等优点。

    一种基于螺旋环形电子注冷阴极辐射源

    公开(公告)号:CN107591300A

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201710713841.0

    申请日:2017-08-18

    Abstract: 本发明公开一种基于螺旋环形电子注冷阴极辐射源,属于微波、毫米波、亚毫米波和太赫兹频段辐射源技术领域,包括电子枪、输入结构、输出结构、高频系统、收集极,电子枪包括阴极、第一阳极、第二阳极、第三阳极,阴极固定在电子枪底座上,阴极上设有用于发射电子注的碳纳米管;第一阳极正对碳纳米管,第一阳极、第二阳极、第三阳极沿电子注传播方向排列;电子枪、高频系统、收集极依次连接,输入结构、输出结构与高频系统的两头连接。本发明利用做螺旋运动的电子与高频场发生互作用,进而把做螺旋运动的电子的纵向能量交给高频场,实现电磁辐射,有效地解决了冷阴极栅控电子枪结构导致的电子截获、通过率低、发射电流不均匀、打火等一系列问题。

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