Abstract:
A wafer cleaning apparatus for manufacturing a semiconductor device is provided to reduce consumption of deionized water at a loss point by moving a D-sonic nozzle from one edge region to the other edge region of a wafer. A spinner unit rotates a wafer(100) at a high speed to perform a cleaning process. The wafer is loaded on an upper part of the spinner unit. A deionized water injection nozzle unit is repeatedly moved along a diameter of the wafer from one edge region to the other edge region of the wafer to inject deionized water onto a surface of the wafer. The deionized water injection nozzle unit is formed with a D-sonic nozzle part(102a,102) for injecting the deionized water.
Abstract:
An apparatus and a method for compensating a bad nozzle of an ink-jet printer are provided to realize a compensation printing regardless of any color by being compensated with an adjacent nozzle in place of a failed nozzle. In an apparatus for compensating a bad nozzle of an ink-jet printer, a failed nozzle position determination unit(600) determines a position of a failed nozzle. A driving pulse generation unit(610) generates a first driving pulse to discharge an excessive amount of ink droplet for a first driving group including the failed nozzle and the adjacent nozzle. The driving pulse generation unit generates a second driving pulse to discharge a normal amount of an ink droplet for the second driving group without including the failed nozzle and the adjacent nozzle.
Abstract:
플로팅 게이트 내부의 균열 발생에 의한 후속 공정의 불량을 방지하기 위한 플로팅 게이트 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 의한 플래쉬 메모리의 메모리 셀을 구성하는 플로팅 게이트 제조 방법은 STI 소자 분리막들 간에 형성된 터널 산화막의 상부, 상기 STI 소자 분리막들의 일부 측부 및 일부 상부 상에 플로팅 게이트의 일부를 형성할 제1 폴리실리콘 층을 형성하는 단계, 상기 형성된 제1 폴리실리콘층의 표면을 일정깊이로 산화되도록 하여 산화막을 상기 제1 폴리실리콘층의 상부 일정부분에 형성하는 단계 및 상기 산화막을 모두 식각하고 나서, 상기 제1 폴리실리콘층과 함께 상기 플로팅 게이트를 구성할 제2 폴리실리콘층을 형성하는 단계를 적어도 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 플로팅 게이트로 사용되는 폴리실리콘층 내부의 균열을 없애어 후속공정에 의한 ONO 층간유전층의 신뢰성을 높이는 반도체 장치를 제조방법을 제공할 수 있다. 플래쉬 메모리, 플로팅 게이트, 폴리실리콘, STI
Abstract:
액정 표시장치의 구동 회로는 데이터 전압과 인버터 전압 사이에 이득 조정 회로를 설계하는 것으로, 이득 조정 회로는 연산 증폭기와 피드백 단자와 입력 단자에 각각 연결되어 있는 저항으로 이루어져 있다. 그로 인해, 액정 패널의 공통 전극이 영향을 받을 경우, 데이터 전압도 공통 전극에 동기하여 변화시키므로 공통 전극의 전압 변화에 따른 물결 현상을 감소시킬 수 있다.
Abstract:
본 발명은 열전사헤드를 이용한 인쇄장치에서 열전사헤드의 발열소자를 구동시키는 장치 및 방법에 관한 것이다. 그 장치는 화상데이터를 입력받아, 소정의 개수의 그룹으로 분할된 발열소자들에 대응하는 그룹별 가열신호로 분할하여 순차적으로 출력하는 그룹분할부; 그룹분할부가 화상데이터를 출력하는 그룹에 대한 정보를 가지는 그룹선택신호를 출력하는 그룹신호생성부; 및 그룹별 화상데이터, 그룹선택신호 및 발열소자들의 가열시간에 대한 스트로브(strobe)신호를 이용하여 발열소자를 구동시키는 구동신호를 생성하여 출력하는 구동신호생성부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 열전사헤드의 발열소자들을 소정의 개수의 그룹으로 분할하여 분할된 그룹 별로 그에 속하는 발열소자들의 가열을 위한 화상데이터들만을 순차적으로 입력받아 발열소자들을 구동시킴으로써, 열전사헤드로의 화상데이터 전송량을 줄여 인쇄속도를 향상시킬 수 있으며, 구동장치의 레지스터(register)의 크기를 줄여 장치 생산비용을 절감시킬 수 있다. 또한, 열전사헤드의 열 분포를 고려하여 발열소자들을 그룹 분할함으로써, 인접한 발열소자에 의한 영향을 줄일 수 있다.
Abstract:
플래시 메모리 장치와 같은 반도체 장치를 형성하는 방법에 있어서, 기판의 제1부위를 노출시키는 제1개구를 갖는 마스크 패턴을 형성하고, 상기 노출된 제1부위를 식각하여 트렌치를 형성한다. 상기 제1개구와 상기 트렌치를 매립하는 절연 패턴을 형성하고, 상기 마스크 패턴의 상부를 식각하여 상기 절연 패턴의 상부를 노출시키는 제2개구를 형성한다. 상기 노출된 절연 패턴의 상부를 부분적으로 제거하여 상기 제2개구의 폭을 확장시킨 후, 상기 마스크 패턴의 나머지 부분을 제거하여 상기 기판의 제2부위를 노출시키는 제3개구를 형성한다. 이어서, 상기 확장된 제2개구 및 상기 제3개구를 매립하는 도전층을 상기 노출된 기판의 제2부위 및 상기 절연 패턴 상에 형성하고, 상기 도전층으로부터 플로팅 게이트 전극을 형성한다. 따라서, 상기 도전층 내부에 보이드가 발생되는 것을 방지할 수 있다.
Abstract:
플래시 메모리 장치의 플로팅 게이트를 제조하는 방법에 있어서, 반도체 기판 상에 액티브 영역을 정의하며 상기 반도체 기판의 표면을 노출시키는 개구를 갖는 절연 패턴을 형성한다. 제1예비 폴리실리콘층은 상기 개구를 매립하도록 상기 절연 패턴 상에 형성된다. 상기 제1예비 폴리실리콘층을 형성하는 동안 상기 절연 패턴의 기하학적인 형상에 의해 상기 제1예비 폴리실리콘층 내에 생성된 보이드는 습식 식각 공정을 통해 제거된다. 상기 습식 식각 공정을 수행함으로써 상기 개구 내에 잔류하는 제1폴리실리콘층 및 상기 절연 패턴 상에 제2예비 폴리실리콘층을 형성한다. 상기 절연 패턴의 상부면이 노출되도록 상기 제2예비 폴리실리콘층의 상부를 제거하여 제1폴리실리콘층 및 제2폴리실리콘층을 포함하는 플로팅 게이트를 형성한다.
Abstract:
A printer is connected to a host via an interface having a data wire and a power supply wire. The printer includes a power supply portion to convert an external power to a driving power and to supply the driving power to the respective electronic components of the printer, a switch portion to determine whether to supply the driving power to the respective electronic components, and a controller capable of operating from the voltage applied through the power supply wire, to control the switch portion according to a transmission of printing data through the data wire. The controller controls the switch portion to stop a supply of the driving power to the respective electronic components when the printing data is not transmitted for a predetermined time, and when the voltage is not applied through the power supply wire of the interface. Accordingly, unnecessary power consumption is reduced and convenience is improved.
Abstract:
An ink jet printer reducing maximum current consumed by an ink jet print head includes a controller outputting addresses for selecting nozzles, a first enable signal, and a second enable signal, and an ink cartridge deriving a first group of nozzles in response to the addresses and the first enable signal, and for driving a second group of the nozzles in response to the addresses and the second enable signal, wherein the first and second enable signals are generated by a predetermined time difference. The first group and the second group of the nozzles are not driven at the same time and are aligned at different positions.