公开(公告)号：KR1020160074412A

公开(公告)日：2016-06-28

申请号：KR1020150179013

申请日：2015-12-15

Applicant: 팔로 알토 리서치 센터 인코포레이티드

Inventor： 알렉스헤기 ,  조에그마르티니 ,  피터키이셀 ,  데이비드케이.비에겔센

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G01N21/3586 ,  G01J3/12

CPC classification number: G01J3/447 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/45 ,  G01J3/4531 ,  G02B5/04 ,  G02B5/3083 ,  G02B27/283 ,  G02B27/286

Abstract: 본광학장치는제1 및제2 편광자들간에개재되는파장판을포함하며또한광학장치에상대하여이동중인물체또는물체이미지로부터방사하는광을수용하도록배치된다. 검출기어레이는하나이상의검출기요소들을포함하며또한제2 편광자로부터광을수용하도록광학적으로결합된다. 검출기어레이의검출기요소각각은제2 편광자로부터수용되는광의강도에따라변화하는전기출력신호를제공한다. 광의강도는물체또는물체이미지와광학장치의상대이동의함수이며또한물체의물체지점에관한스펙트럼정보를포함한다.

Abstract translation: 光学装置包括插入在第一和第二偏振器之间的波长板，并且被布置成接收由相对于光学装置移动的物体发射的光或物体的图像。 检测器阵列包括一个或多个检测器元件，并被光耦合以接收来自第二偏振器的光。 检测器阵列的每个检测器元件提供由第二偏振器接收的光的强度变化的电输出信号。 光的强度是物体或物体的图像的相对运动的函数，并且还包括关于物体的位置的光谱信息。

公开(公告)号：KR101520453B1

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：KR1020090010547

申请日：2009-02-10

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 이헌정 ,  채승기 ,  한재원 ,  오창훈

IPC: H01L21/205 ,  H05H1/24

CPC classification number: G02B21/0028 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/443

Abstract: 본발명은플라즈마용광학장치을제공한다. 이장치는플라즈마발생장치의윈도우를통하여대상영역에서방출되는광방출스펙스럼(optical emission spectrum)을수광하는수광렌즈, 수광렌즈와상기윈도우사이에배치되어아웃포커스(out focus)된광을차단하는제1 구경조리개(aperture stop), 수광렌즈와수광렌즈의결상영역사이에배치되어인 포커스광을차단하는제2 구경조리개, 및수광렌즈의결상영역에배치되고대상영역의촛점심도를제한하는핀 홀(pin hole)을포함한다.

公开(公告)号：KR101103091B1

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：KR1020067003658

申请日：2004-08-23

Applicant: 씨8 메디센서스, 인크.

Inventor： 립슨,얀

IPC: G01J3/30 ,  G01J3/42 ,  G01J3/427 ,  G01J3/44

CPC classification number: G01J3/44 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/1838 ,  G01N21/274 ,  G01N21/31 ,  G03H1/0005

Abstract: 더 작은 전체 검출기 면적에서 스펙트럼 에너지를 집중시키는 것을 제공하면서, 복수 개의 파장의 시료로부터 산란된 약한 신호가 단일 검출기 또는 복수 개의 검출기에 방사되도록 더해질 수 있다. 또한, 샘플 부피에서 물의 양을 측정하고 샘플 부피에서 체액의 염도를 측정함으로써 주어진 시료에 대한 결과적인 신호의 조정이 얻어질 수 있는 방법이 개시된다.

公开(公告)号：KR101649579B1

公开(公告)日：2016-08-19

申请号：KR1020107023463

申请日：2009-03-11

Applicant: 코닌클리케 필립스 엔.브이.

Inventor： 잭,마틴,제이.,제이. ,  반덴빅겔라르,데오도루스,제이.,피. ,  메이저,에두아르드,제이. ,  티머링,유진

IPC: G01J1/06 ,  G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/50 ,  G01J3/51 ,  G01J1/04 ,  G02B13/22

CPC classification number: G01J1/06 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0204 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0437 ,  G01J1/0448 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/06 ,  G01J3/505 ,  G01J3/51 ,  G01J3/513 ,  G02B13/22 ,  G02B26/004

Abstract: 적어도하나의파장선택광 검출기(10), 렌즈(20) 및개구(30)를포함하는광 센서(1)가제안된다. 파장선택광 검출기는센서위에떨어지는미리정해진파장범위내의광을검출하는것을허용한다. 렌즈는광 검출기위에광을투영하고개구는광 센서의뷰의필드를한정한다. 광검출기(10), 렌즈(20), 및개구(30)는텔레센트릭구성으로배치된다. 바람직하게는, 이것은개구에입사하는광의방향과무관하게미리정해진각도들의범위내의광이파장선택광 검출기위에부딪히게하여, 파장선택광 검출기의각도의존응답을제거한다.

公开(公告)号：KR101462848B1

公开(公告)日：2014-11-18

申请号：KR1020130028630

申请日：2013-03-18

Applicant: 에스엔유 프리시젼 주식회사

Inventor： 조태영 ,  황영민 ,  김성룡 ,  강상수 ,  박희재

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G01N21/25

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B9/02029 ,  G01B9/02034 ,  G01B9/02057 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/50 ,  G01J3/506 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2021/9513

Abstract: 본 발명은 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에 관한 것이며, 본 발명의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치는 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정하는 3차원 형상 측정 장치에 있어서, 광을 방출하는 광원; 상기 광원으로부터 방출된 광을 반사시키거나 또는 측정대상물에 의하여 반사된 광을 투과시키는 광분할기; 상기 광분할기에 의해 반사된 광을 상기 측정대상물에 집속시키는 렌즈부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 광을 검출하는 광검출부; 상기 광원과 상기 광분할기 사이의 광경로 상에 배치되며 상기 광원의 중심 영역으로부터 방출되는 광을 차단하여 상기 렌즈부에서 발생하는 광의 간섭을 약화시키는 광조절부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정할 수 있고 추가적으로 측정대상물의 색정보를 측정할 수 있는 색정보를 측정할 수 있는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치가 제공된다.

Abstract translation: 本发明提供一种三维形状测量装置，其能够使用干涉仪测量测量对象的形状和测量对象的颜色信息，该装置包括用于发光的光源; 用于反射从光源发射的光或透射由测量对象反射的光的光分离器; 用于将由分光器反射的光聚焦到测量对象上的透镜单元; 光检测器，用于检测从测量对象反射的光; 以及光调节器，布置在光源和分光器之间的光路上，并且被配置为中断从光源的中心区域发射的光，以减少在透镜单元中发生的光的干涉。

公开(公告)号：KR1020140045512A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：KR1020147002086

申请日：2012-06-12

Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

Inventor： 크리쉬난쉔커 ,  왕하이밍

IPC: G01N21/25 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/065 ,  G01B2210/56 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/42 ,  G01N21/00 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213 ,  G01N2021/214 ,  G01N2201/0675

Abstract: 기판에 대한 다파장(multi-wavelegnth), 다방위각(multi-azimuth), 및 다입사각(multi-angle-of-incidence) 판독치를 처리하는 분광 기구로서, 조사빔을 생성하는 광대역 광원, 조사빔을 다방위각 및 다입사각으로 동시에 기판으로 지향시켜, 반사빔을 생성하는 대물 렌즈, 방위각과 입사각의 소망하는 개별 조합을 갖는 반사빔의 일부를 선택적으로 통과시키기 위해 내부에 조사 조리개 및 복수 개의 집광 조리개가 형성되는 조리개판, 방위각과 입사각의 개별 조합을 수신하여 판독치를 생성하는 검출기, 및 판독치를 해석하는 프로세서를 포함하는 분광 기구가 제공된다.

公开(公告)号：KR1020120080591A

公开(公告)日：2012-07-17

申请号：KR1020127008257

申请日：2010-09-01

Applicant: 마이크로소프트 테크놀로지 라이센싱, 엘엘씨

Inventor： 맥엘다우니스코트 ,  지아이모에드워드

IPC: H04N5/30 ,  H04N5/225

CPC classification number: G01J3/0205 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0235 ,  H04N5/332 ,  H04N13/254

Abstract: 이중 모드는 가시광이 필터링될 수 있는 구조화된 조명을 투사하도록 구성된 광원을 포함한다. 이중 모드 영상기는 또한 장면으로부터 구조화된 조명 및 가시광의 둘 다를 포착하도록 구성된 검출기를 포함한다. 시간적 또는 공간적 필터는 선택적으로 검출기의 하나 이상의 부분으로부터 가시광을 차단하면서 구조화된 조명을 검출기의 하나 이상의 부분으로 통과시키는데 이용된다.

公开(公告)号：KR101134330B1

公开(公告)日：2012-04-09

申请号：KR1020067008342

申请日：2004-10-20

Applicant: 램 리써치 코포레이션

Inventor： 맥밀린브라이언케이 ,  다사파프랑수와찬드라세카

IPC: G01N21/00 ,  G01J3/30

CPC classification number: G01N21/68 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/443 ,  H01J37/32963

Abstract: 대략 말하면, 본 발명은 플라즈마 광 방출을 모니터링하기 위해 제공된다. 보다 상세하게는, 본 발명은, 거짓 종점 호출을 야기할 수 있는 간섭 없이 플라즈마 에칭 프로세스의 종점을 검출하기 위해서 가변 개구를 통해 플라즈마 광 방출을 모니터링하는 방법을 제공한다. 이 방법은, 가동 부재에 의해 정의된 개구를 통해 플라즈마로부터의 광 방출 데이터를 수집하는 단계를 포함한다. 이 가동 부재는 개구의 구성을 변화시킬 수 있다. 또한, 이 방법은, 특정 시간에 이 가동 부재를 유지하여, 개구로 하여금 고정된 구성을 유지하도록 하는 단계를 포함한다. 이 방법은, 가동 부재를 유지하는 동안에 플라즈마 광 방출에서의 특정 섭동을 검출하는 단계를 더 포함한다.
플라즈마 광 방출 모니터링 방법, 플라즈마 에칭 프로세스의 종점 검출 방법

公开(公告)号：KR1020110053453A

公开(公告)日：2011-05-23

申请号：KR1020117005884

申请日：2009-08-06

Applicant: 코닌클리케 필립스 엔.브이.

Inventor： 마이어,에드워드,제이. ,  니베,엔젤,제이. ,  델노이,로저,피.,에이.

IPC: F21V23/00 ,  F21V9/00

CPC classification number: H05B33/0869 ,  G01J1/32 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0278 ,  G01J3/51 ,  G01J3/513 ,  H05B33/0803

Abstract: 상이한 영역들로부터 온 광(2)을 모니터링하기 위한 장치(1)는 특정 영역으로부터 온 광을 선택하기 위한 제1 컴포넌트(10), 선택된 광을 필터링하기 위한 제2 컴포넌트(20), 필터링된 광을 감지하기 위한 제3 컴포넌트(30), 및 제3 컴포넌트(30)의 출력 신호에 응답하여, 감지된 광의 스펙트럼을 결정하고, 그 스펙트럼으로부터 컬러 포인트 및/또는 연색 지수와 같은 컬러 매개변수들을 계산하기 위한 제4 컴포넌트(40)를 포함한다. 제1 컴포넌트(10)는 회전 거울들(110) 및 회전 장치들(112)과 같은 광 각도 선택기 및 재지향기(11), 및 흡수 벽들(120) 또는 원형 홀들(121)을 갖는 고 종횡비 구조물들과 같은 광 각도 제한기(12)를 포함할 수 있다. 제2 컴포넌트(20)는 필터 어레이(21)를 포함할 수 있다. 제3 컴포넌트(30)는 센서 어레이(31)를 포함할 수 있다. 제4 컴포넌트(40)는 광원(6)의 사전 지식에 기초하여, 또는 의사 역행렬 기법을 이용하여 스펙트럼을 결정하기 위한 제어기(43)를 포함할 수 있다. 메모리(44)는 장치 정보, 컬러 매칭 함수, 반사 곡선, 및 컬러 메트릭 계산을 위한 표준화된 데이터를 저장할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020100126382A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：KR1020107020496

申请日：2009-02-03

Applicant: 데모스, 개리

Inventor： 데모스,개리

IPC: H04N1/46 ,  H04N9/64

CPC classification number: G09G5/02 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/46 ,  G01J3/462 ,  G01J3/465 ,  G01J3/50 ,  G06F3/013 ,  G06T5/007 ,  G06T7/90 ,  G09G2340/0407 ,  G09G2340/06 ,  H04N9/67

Abstract: 정지 영상 및 동영상, 특히 디지털화된 컬러 이미지의 시퀀스에 대한 색 표현을 정확, 정밀하게 하는 방법 및 시스템이다. 스펙트럼 및/또는 확장된 동적 범위 정보는 색 조정 동안에 포착된 이미지로서 유지, 처리, 및 표시된다. 이 추가의 스펙트럼 정보를 사용하면, 이들 이미지 내의 색을 추가로 표시 또는 처리하는 다양한 방법론을 최적할 수 있다. 프리젠테이션 디바이스 독립성은 디바이스 독립적인 중간 표현을 발견하기 위해 시도함으로써가 아니라, 실제로 사용될 때까지 프리젠테이션 디바이스 상의 색 표현에 대한 바인딩 및 매핑을 지연시킴으로써 달성된다.

Abstract translation: 用于准确和精确地表示静止和运动图像，特别是数字化彩色图像序列的颜色的方法和系统。 在颜色调整过程中捕获，处理和呈现图像时，保留光谱和/或扩展的动态范围信息。 使用这种额外的光谱信息，可以优化用于进一步呈现或处理这些图像内的颜色的各种方法。 演示设备独立性不是通过尝试发现与设备无关的中间表示来实现的，而是通过将颜色表示的绑定和映射推迟到呈现设备上直到实际使用。