公开(公告)号：JP3689681B2

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：JP2002134958

申请日：2002-05-10

Applicant: キヤノン株式会社

Inventor： 康宏 岸川 ,  誠二 竹内

IPC: G01J4/04 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/7085 ,  G01J4/04 ,  G03F7/70566

公开(公告)号：JP2005085904A

公开(公告)日：2005-03-31

申请号：JP2003314699

申请日：2003-09-05

Applicant: Fujitsu Ltd ,  富士通株式会社

Inventor： KOMIYAMA MANABU

IPC: G01J4/04 ,  G01J9/00 ,  H01S5/00 ,  H01S5/02 ,  H01S5/022 ,  H01S5/024 ,  H01S5/0687

CPC classification number: G01J9/00 ,  G01J4/04 ,  H01S5/005 ,  H01S5/0064 ,  H01S5/02248 ,  H01S5/02284 ,  H01S5/02415 ,  H01S5/02438 ,  H01S5/0687

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem wherein a plurality of etalon filters are required and the number of adjustment working hours is increased, to detect a minute change in an LD output wavelength in a wide wavelength range, since characteristics in the etalon filters are periodic, even though the etalon filter is usually used to detect the minute change in the LD output wavelength in an LD module, having a built-in wavelength locker.
SOLUTION: The output light of an LD element 10 is changed to two different polarization states by a polarization switching element 5, and by setting transmission characteristics in a filter 31A to be different characteristics by the polarization state, variations in the output wavelength of the LD element 10 are detected over a wide wavelength range.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题为了解决需要多个标准具过滤器并且增加调整工作时间的数量的问题，为了检测宽波长范围内的LD输出波长的微小变化，由于 标准具滤波器是周期性的，即使标准具滤波器通常用于检测具有内置波长锁存器的LD模块中的LD输出波长的微小变化。 解决方案：通过偏振切换元件5将LD元件10的输出光改变为两种不同的偏振状态，并且通过将滤光器31A中的透射特性设定为由偏振态引起的不同特性，输出波长的变化 在宽波长范围内检测LD元件10。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：JP2004271510A

公开(公告)日：2004-09-30

申请号：JP2003354750

申请日：2003-10-15

Applicant: Centre National De La Recherche Scientifique ,  Ecole Polytech ,  エコール ポリテクニク ,  サーントル ナスィヨナル ドゥ ラ ルシェルシュ スイヤンティフィック

Inventor： DREVILLON BERNARD ,  DE MARTINO ANTONELLO

IPC: G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G02F1/13

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01N21/211

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polarimetric device having one or more of modulation of polarized light without using a mechanical moving member, providing of a sufficiently extensive acceptable angle in an application to image formation, a simple and compact design including optimization for error propagation, and rapid data acquisition of real-time measurement.
SOLUTION: This device comprises a polarization state generator 4 including a polarizer 5 for linearly polarizing an incident light beam 2 along the polarization direction in an exciting area 1 for emitting optical beam, a polarization state detector 8 including an analyzer 9 and a detection means 10, and a processing device 11. The polarization state generator 4 (PSG) and the polarization state detector 8 (SPD) each has a first and a second liquid crystal elements 13 and 14. Each LCj element 13 of the PSG has an extraordinary axis making an angle θj with respect to the polarization direction, and a phase retardation δj between its ordinary and extraordinary axes. Each liquid crystal element 14 is positioned in reverse order in the PSG with respect to each LCj element of the PSG, with θ'j equal to θj, and a retardation δ'j equal to -δj.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供具有一个或多个调制偏振光而不使用机械移动构件的偏振装置，在图像形成的应用中提供足够广泛的可接受的角度，包括优化的简单且紧凑的设计 用于误差传播和快速数据采集实时测量。 解决方案：该装置包括：偏振态发生器4，其包括用于在用于发射光束的激励区域1中沿着偏振方向线性偏振入射光束2的偏振器5;偏振状态检测器8，包括分析器9和 检测装置10和处理装置11.偏振态发生器4（PSG）和偏振态检测器8（SPD）各自具有第一和第二液晶元件13和14.PSG的每个LCj元件13具有 非常轴相对于偏振方向产生角度θj，以及其普通和非常轴之间的相位延迟δj。 相对于PSG的每个LCj元件，每个液晶元件14以相反的顺序位于PSG中，其中θ'j等于θj，延迟δ'j等于-δj。 版权所有（C）2004，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：JP2003529067A

公开(公告)日：2003-09-30

申请号：JP2001571059

申请日：2001-03-23

Applicant: ハインズ インスツルメンツ インコーポレイテッド

Inventor： ワン バオリャン、

IPC: G01J4/04 ,  G01N21/23

CPC classification number: G01N21/23 ,  G01J4/04

Abstract: (57)【要約】 【課題】 光学材料の低レベルの直線偏光および円偏光の複屈折特性の精密な測定のための実用的な装置および方法を提供すること。 【解決手段】 光学材料（２６）の低レベルの直線偏光および円偏光の複屈折特性（リターダンスおよび方向）の精密な測定のための装置および方法。 装置は、試料（２６）を通って指向される偏光された光を変調するために光弾性変調器（２４）を組み入れる。 試料から伝播するビーム（「Ｂｉ」）は２つの部分に分離され、一方の部分は（「Ｂ１」）は、他方のビーム部分（「Ｂ２」）の偏光方向とは異なる偏光方向を有する。 これらの分離されたビーム部分は別個の経路として処理される。 各経路に関係づけられた検出機構（３２、５０）は、ビームの２つ部分のそれぞれに対応する時変光強度を検出する。 この情報は、試料によってもたらされた直線偏光および／または円偏光のリターダンス、試料の速い軸線の方向および円偏光リターダンスの方向の精密な測定値を計算するために結合される。

公开(公告)号：JPS6183924A

公开(公告)日：1986-04-28

申请号：JP20515984

申请日：1984-09-29

Applicant: Shimadzu Corp

Inventor： OKAZAKI NOBUO

IPC: G01J4/04 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01J4/04

Abstract: PURPOSE:To obtain a measuring apparatus containing no mechanically moving part which enable continuous decision with an excellent durability, by dividing a linearly polarized light transmitting with a sample into two polarization components to calculate the optical rotary power of the sample from he relationship of intensity between the two polarization components. CONSTITUTION:When the sample cell 4 is empty or the sample has no optical rotary power, a light detecting element 5 is so arranged that the linearly polarized light from a light source 1 passing through a polarizer 2 is separated into two polarization components equal to each other in the direction at + or -45 deg. to the polarizing direction of the original polarized light. Then, when the sample has any optical rotary power, the linearly polarized light passing through the sample cell 4 turns somewhat from the polarizing direction of the polarizer 2. Then, the rotary angle alpha can be calculated from a specified formula by utilizing the polarization components divided in two directions with the light detecting element 5. In other words, two luminous fluxes received by light receiving elements 71 and 72 are inputted into an arithmetic unit 12 via a preamplifiers 10 and 11 and the unit 12 performs computation by the specified formula to calculate the rotary angle alpha. The results of the computation are sent to a display 13 for indication.

Abstract translation: 目的：为了获得不含机械移动部件的测量装置，通过将透射样品的线性偏振光分成两个偏振分量来计算样品的光学旋转功率，从而能够连续地确定耐久性，具有良好的耐久性， 两个偏振分量。 构成：当样品池4为空或样品没有光学旋转动力时，光检测元件5被布置成使得通过偏振器2的来自光源1的线偏振光分离成两个等于每个的偏振分量 其他方向在+或-45度。 到原始偏振光的偏振方向。 然后，当样品具有任何光学旋转功率时，通过样品池4的线偏振光从偏振器2的偏振方向稍微转动。然后，可以通过利用偏振分量从指定的公式计算旋转角度α 用光检测元件5分成两个方向。换句话说，由光接收元件71和72接收的两个光束经由前置放大器10和11被输入到运算单元12中，并且单元12通过指定的公式进行计算 计算旋转角度α。 将计算结果发送到显示器13以进行指示。

公开(公告)号：WO2018014118A1

公开(公告)日：2018-01-25

申请号：PCT/CA2017/050852

申请日：2017-07-14

Applicant: INSTITUT NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： OZAKI, Tsuneyuki ,  CHAI, Xin

IPC: G01J9/00 ,  G01J4/00

CPC classification number: G01J3/0224 ,  G01J3/42 ,  G01J4/04 ,  G01J9/02

Abstract: A characterization and detection method and system, the system comprising a terahertz beam source, a probe beam source, a detection crystal receiving a probe beam from the probe beam source and a terahertz beam from the terahertz beam source, the probe beam and the terahertz beam co-propagating collinearly through the detection crystal, and a polarizer analyser receiving the pump beam transmitted from the detection crystal, wherein the polarizer analyser comprises two liquid crystal variable retarders and a linear polarizer, the polarizer analyzer analyzing a phase delay and orientation changes of the principle axes of the probe beam induced by the THz electric field and polarization.

Abstract translation: 表征和检测方法和系统，该系统包括太赫兹光束源，探测光束源，接收来自探测光束源的探测光束和来自太赫兹光束源的太赫兹光束的探测晶体 探测光束和太赫兹光束共线传播通过检测晶体，偏振器分析仪接收从检测晶体透射的泵浦光束，其中偏振器分析仪包括两个液晶可变延迟器和线性偏振器，偏振器分析器分析 由THz电场和偏振引起的探测光束主轴的相位延迟和取向变化。

公开(公告)号：WO2017110391A1

公开(公告)日：2017-06-29

申请号：PCT/JP2016/085535

申请日：2016-11-30

Applicant: 株式会社目白67

Inventor： 上原　誠

IPC: G01J4/04 ,  G02B5/30 ,  G02B17/08 ,  G02B5/04

CPC classification number: G01J4/04 ,  G02B5/04 ,  G02B5/30 ,  G02B17/08

Abstract: 物体面からの反射光を結像させるための結像光学系に等倍反射型結像光学系が用いられているエリプソメータにおいて、エリプソメータの性能を改善することを目的とする。　エリプソメータ１００は、物体の表面からの反射光の光束を受光面に結像させるための結像光学系３０を備えている。結像光学系３０は、凹面主鏡３２及び凸面副鏡３４を含む等倍反射型結像光学系で構成されている。物体の表面からの反射光の光束は、凹面主鏡３２、凸面副鏡３４、凹面主鏡３２の順番で反射した後、受光面４０に結像する。等倍反射型結像光学系は、第１の検光子５０及び第２の検光子５２を含む。第１の検光子５０及び第２の検光子５２は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において同一の屈折率を有する偏光素子で構成されている。

Abstract translation: 在椭率计

在用于成像从物平面反射的光的成像光学系统的等放大率反射型成像光学系统被使用时，它的目的是改善椭偏仪的性能 到。 椭偏仪100设置有成像光学系统30，用于在受光表面上形成来自物体表面的反射光的光束。 成像光学系统30由包括凹面主镜32和凸面辅助镜34的等倍反射成像光学系统构成。 从凹主镜32的物体表面时，反射光的通过凸副镜34，凹主镜32的顺序反射后的光束，形成在光接收表面40。 等倍反射成像光学系统包括第一分析器50和第二分析器52。 第一分析仪50和第二分析仪52由在X轴方向和Y轴方向上具有相同折射率的偏振元件形成。

公开(公告)号：WO2017053128A1

公开(公告)日：2017-03-30

申请号：PCT/US2016/051494

申请日：2016-09-13

Applicant: BENCHMARK TECHNOLOGIES

Inventor： TU, Yuqiang ,  REYNOLDS, Patrick

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/78 ,  H01L21/027

CPC classification number: G01J4/04 ,  G03F1/44 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70641

Abstract: Methods and apparatus for characterizing a beam parameter associated with an electromagnetic beam of a light source. The light source exposes a phase-shifted target through a set of focal distances relative to a focal plane of a substrate. At each focal distance of the set, registration values are measured and used to determine one or more registration slopes as a function of focal distance. The registration slopes are compared with baseline registration slopes to characterize the current relative state of the beam parameter in question. Beam parameters that may be characterized in this manner include degree of polarization and polarization rotation relative to an initial polarization direction. Phase shift test patterns advantageously used for beam characterization are described.

Abstract translation: 用于表征与光源的电磁束相关联的光束参数的方法和装置。 光源通过相对于基板的焦平面的一组焦距来曝光相移的目标。 在组的每个焦距处，测量对准值并用于确定作为焦距的函数的一个或多个配准斜率。 将配准斜率与基线配准斜率进行比较，以表征所讨论的梁参数的当前相对状态。 可以以这种方式表征的光束参数包括相对于初始偏振方向的偏振度和偏振旋转度。 描述有利地用于光束表征的相移测试图案。

公开(公告)号：WO2016088483A1

公开(公告)日：2016-06-09

申请号：PCT/JP2015/080380

申请日：2015-10-28

Applicant: ソニー株式会社

Inventor： 近藤　雄飛 ,  平澤　康孝 ,  早坂　健吾

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01C3/06 ,  H04N5/225 ,  H04N5/232

CPC classification number: H04N13/214 ,  G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01C3/085 ,  G01J4/04 ,  G06T7/55 ,  H04N5/2254 ,  H04N5/2258 ,  H04N5/247 ,  H04N13/218 ,  H04N13/229 ,  H04N13/232 ,  H04N13/243 ,  H04N13/271 ,  H04N2013/0081

Abstract: 　デプスマップ生成部２２は、撮像ユニット２１で複数の視点位置で被写体を撮像して得られた画像からデプスマップを生成するデプスマップを生成する。位置合わせ部２３は、デプスマップ生成部２２で生成されたデプスマップに基づき、撮像ユニット２１において偏光方向が視点位置毎に異なる偏光フィルタを介して複数の視点位置で被写体を撮像して得られた偏光画像の位置合わせを行う。偏光特性取得部２４は、位置合わせ部２３で位置合わせした偏光画像を用いて、所望の視点位置からの被写体の偏光特性の取得を行い、時間解像度や空間解像度の劣化の少ない高精度な偏光特性を得る。所望の視点位置における被写体の偏光特性を取得できるようになる。

Abstract translation: 深度图生成单元22通过由成像单元21从多个观察位置对被摄体的成像获得的图像生成深度图。基于深度图生成单元22生成的深度图， 对准单元23通过成像单元21通过在每个观察位置处具有不同偏振方向的偏振滤光器，通过成像单元21从多个观察位置对被摄体进行成像而获得的偏振光图像进行位置对准。 偏振光特征获取单元24使用由位置对准单元23位置对准的偏振光图像从期望的观察位置获取被摄体的偏振特性，并且获得高度精确的偏振特性，其大大没有时间分辨率和空间上的劣化 解析度。 因此可以获得在期望的观察位置处的被摄体的偏振特性。

公开(公告)号：WO2015198562A3

公开(公告)日：2016-03-24

申请号：PCT/JP2015003023

申请日：2015-06-17

Applicant: SONY CORP

Inventor： OZAWA KEN

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G01J3/453 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01J1/42 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0429 ,  G01J1/0488 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/027 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/4531 ,  G01J4/04 ,  G01J2004/005 ,  G01N2021/3595

Abstract: An imaging device and method are provided. Light from an object is provided as a plurality of sets of light beams to a phase difference array having a plurality of elements. The phase difference array is configured to provide different optical paths for light included within at least some of a plurality of sets of light beams. The light from the phase difference array is received at an imaging element array. The imaging element array includes a plurality of imaging elements. Information obtained from hyperspectral imaging data based on output signals of the imaging element array can be displayed.

Abstract translation: 提供了一种成像装置和方法。 将来自物体的光作为多组光束被提供给具有多个元件的相位差阵列。 相位差阵列被配置为为包括在多组光束中的至少一些光束中的光提供不同的光路。 来自相位差阵列的光在成像元件阵列处被接收。 成像元件阵列包括多个成像元件。 可以显示从基于成像元件阵列的输出信号的高光谱成像数据获得的信息。