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公开(公告)号：KR1020100086747A
公开(公告)日：2010-08-02
申请号：KR1020090006138
申请日：2009-01-23
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H04M1/72569 , H04M2250/12
Abstract: PURPOSE: An electronic apparatus and a control method included for selectively using the input of the speed of wind/temperature sensor and a keypad are provided to supply an intuitive interface to a user by using the temperature sensor. CONSTITUTION: A wind speed/temperature sensor is connected to a controller(120). The signal corresponding to the wind speed/temperature detected from the wind speed/temperature sensor to the electronic apparatus. The electronic apparatus comprises a keypad and a switch(150). The switch switches a keypad input receiving mode input from the wind of speed/temperature sensor and the keypad.
Abstract translation: 目的：提供用于选择性地使用风/温度传感器和小键盘的速度的输入的电子设备和控制方法，以通过使用温度传感器向用户提供直观的界面。 构成：风速/温度传感器连接到控制器（120）。 对应于从风速/温度传感器到电子设备检测到的风速/温度的信号。 电子设备包括键盘和开关（150）。 开关切换从速度/温度传感器和键盘的风向输入的键盘输入接收模式。
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公开(公告)号：KR100942439B1
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：KR1020070141055
申请日：2007-12-28
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/128
Abstract: 본 발명은 가스센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 가스 감지물질 하부에 위치한 폴리실리콘(poly-silicon) 멤브레인의 특정 영역에 불순물을 주입하여 형성된 마이크로 히터를 폴리실리콘 멤브레인 내부에 구비함으로써, 열적인 구조 안정성, 가스 감지물질 형성 용이성이 우수한, 마이크로 가스센서 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 가스센서는 제1절연막이 형성된 기판상에 증착된 폴리실리콘 내부에 불순물 주입을 하여 형성된 마이크로 히터; 상기 마이크로 히터의 열손실을 감소시키기 위한 폴리실리콘 멤브레인; 상기 마이크로 히터의 양단에 형성되어 전원공급과 온도를 측정하기 위한 전원전극과 온도측정 전극; 상기 마이크로 히터상에 형성된 제2절연막; 상기 제2절연막상에 형성되어 가스를 감지하기 위한 감지물질; 및 상기 감지물질의 물성변화를 측정하기 위한 감지전극을 포함함에 기술적 특징이 있다.
본 발명의 마이크로 가스센서의 제조방법은 제1절연막이 형성된 기판상에 폴리실리콘을 형성하는 단계; 상기 폴리실리콘에 불순물 주입을 하여 마이크로 히터를 형성하는 단계; 상기 마이크로 히터 양단에 전극을 형성하는 단계; 상기 마이크로 히터의 상부에 제2절연막을 형성하는 단계; 상기 제2절연막 상부에 감지물질을 형성하는 단계; 및 상기 감지물질 상에 감지 전극을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.
가스, 센서, 폴리실리콘, 멤브레인, 도핑-
公开(公告)号：KR1020090072830A
公开(公告)日：2009-07-02
申请号：KR1020070141055
申请日：2007-12-28
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01N27/128
Abstract: A micro-gas sensor and a manufacturing method thereof are provided to have the thermal structure stability by installing a micro heater inside a poly-silicon membrane. A micro-gas sensor comprises: a micro heater manufactured by injecting impurity inside poly-silicon evaporated on a substrate(210) in which a first insulating layer(220) is formed; a poly-silicon membrane(242) in order to reduce the heat loss of the micro heater; a power electrode and a temperature measurement electrode formed at both ends of the micro heater in order to measure the electric power supply and temperature; a second insulating layer(260) formed on the micro heater; a sensing member(270) formed on the second insulating layer in order to sense the gas; and a sensing electrode(280) measuring the physical property change of the sensing member.
Abstract translation: 提供一种微气体传感器及其制造方法，通过在多硅膜内部设置微加热器来具有热结构的稳定性。 微气体传感器包括：通过在其中形成有第一绝缘层（220）的衬底（210）上注入多晶硅内的杂质而制造的微加热器; 多晶硅膜（242），以减少微加热器的热损失; 在微加热器的两端形成电力电极和温度测量电极，以测量电力供应和温度; 形成在所述微加热器上的第二绝缘层（260） 感测构件（270），形成在所述第二绝缘层上以感测所述气体; 以及测量感测部件的物理特性变化的检测电极（280）。
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公开(公告)号：KR100809285B1
公开(公告)日：2008-03-04
申请号：KR1020060039997
申请日：2006-05-03
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01L1/20
Abstract: 본 발명의 다축 감지용 촉각센서는 복수의 가로축 압저항 전극과 복수의 세로축 압저항 전극은 상이한 층에서 직교하며, 상기 복수의 가로축 압저항 전극과 상기 복수의 세로축 압저항 전극은 절연층에 의해 절연되고, 상기 복수의 가로축 압저항 전극과 상기 복수의 세로축 압저항 전극이 교차하는 4개의 교차부분을 포함하여 형성되는 돌출부를 포함하는 구조이다.
따라서, 본 발명에 따른 촉각센서는 여러방향의 축에서 인가되는 힘을 감지할 수 있어 센서의 정확도를 더욱 향상시킬 수 있으며, 그 재질을 변형이 용이하고 복원력이 우수한 탄성체로 형성하고 이와 더불어 하부면에 캐비티 구조를 형성함으로써 촉각센서의 감도를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
다축 감지, 촉각센서, 돌출부, 캐비티-
公开(公告)号：KR100809284B1
公开(公告)日：2008-03-04
申请号：KR1020060037880
申请日：2006-04-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명에 따른 촉각센서 어레이 제조방법은 기판의 상부에 고분자층을 형성하는 단계(S1), 상기 고분자층의 상부에 변형 검출기 및 제1금속배선을 형성하는 단계(S2), 상기 고분자층의 전면에 감광막을 형성하는 단계(S3), 상기 감광막을 패터닝하여 상기 변형 검출기의 상부에 콘택홀을 형성하는 단계(S4), 상기 감광막의 상부에 제2금속배선을 형성하는 단계(S5), 상기 감광막 상부의 끝단에 지지블록을 형성하는 단계(S6), 상기 지지블록이 형성된 영역을 제외한 상기 감광막 상부에 보호블록을 형성하는 단계(S7), 상기 기판으로부터 상기 고분자층을 분리하는 단계(S8) 및 상기 고분자층의 하부에 하중블록을 형성하는 단계(S9)를 포함한다.
따라서, 본 발명은 고분자층의 상부에 촉각센서 어레이 및 금속배선을 동시에 형성함으로써, 공정 수율의 향상 및 공정 비용의 절감 효과가 있으며, 각종 산업분야에 적용이 용이하여 가상환경 구현 기술에 중요한 촉각제시 기술에 유효하게 적용 및 채택할 수 있는 이점이 있다.
촉각센서 어레이, 고분자층-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100782351B1
公开(公告)日：2007-12-11
申请号：KR1020050117423
申请日：2005-12-05
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 분석 소자와 패키지 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 마이크로 압전 펌프를 구비하여 용액을 빠르게 반응채널홈으로 흐르게 하여 용액 분석 속도를 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
또한,본 발명은 마이크로 분석 소자를 패키지 바디에 간단한 삽입 공정만 수행하더라도 패키징되어, 조립공정을 단순화시킬 수 있게, 주입구의 개수를 가변시키고 반응채널홈의 길이 및 구조를 가변시켜 설계된 다양한 형태의 마이크로 분석 소자를 용도에 따라 쉽게 패키지할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 마이크로 분석 소자와 패키지 바디에 돌출부와 삽입홈을 구비시켜, 패키지 바디의 광원 및 광 검출기와 마이크로 분석 소자의 광섬유들의 광학적인 정렬을 우수히 할 수 있는 효과가 있다.
마이크로, 분석, 소자, 패키지, 펌프, 용액, 삽입-
公开(公告)号：KR100712420B1
公开(公告)日：2007-04-27
申请号：KR1020060048832
申请日：2006-05-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 그리퍼 및 그를 구비한 그립 장치에 관한 것으로, 공기가 흡입되고 배출되는 입구(Inlet)홈과, 상기 입구홈에 연결된 채널홈과, 상기 채널홈에 연결된 그립홈이 형성되어 있는 하부 기판과; 상기 입구홈에 대응되는 관통홀이 형성되어 있고, 상기 하부 기판에 접합되어 있는 상부 기판으로 구성된다.
그러므로, 본 발명은 공기를 흡입 및 배출하여 그립홈에 대상물을 흡착하여 그립할 수 있고, 대상물을 쉽게 이탈시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 그립홈의 일부 영역이 상부 기판의 끝단의 선상으로부터 돌출되어 있으면, 대상물을 그립홈에 안착시켜 보다 안전하게 그립할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 아답터를 구비하여, 공기의 누출됨이 없이 그립퍼를 아답터를 통하여 펌프에 연결시킬 수 있는 효과가 있다.
게다가, 본 발명은 그립홈의 폭을 채널홈의 폭보다 크게 하여, 채널홈의 폭보다 큰 대상물을 원활하게 흡착하여 그립할 수 있는 효과가 있다.
흡착, 그리퍼, 그립홈, 아답터, 폭Abstract translation: 本发明涉及一种夹持器，并用他的抓握装置，到所述入口槽，以及与连接到信道槽的抓握槽的下部基板入口（入口），该空气被吸入和排出槽，通道槽和连接形成 。 并且上基板形成有与入口凹槽相对应的通孔并与下基板结合。
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公开(公告)号：KR100679894B1
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：KR1020040058192
申请日：2004-07-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/14
Abstract: 본 발명은 가스 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 가스 센서가 만들어지는 기판의 뒷면을 식각하여 생기는 홈을 그대로 이용하여 감지물질을 도포 시킴으로써, 종래 기술과 같은 가스 감지물질 지지대를 별도로 제작하여 접합하는 공정이 필요하지 않고, 감지물질을 고온에서 소결할 때 지지부가 분리되는 문제를 제거할 수 있으며, 또한 반도체 포토 리소그래피 공정을 이용하여 감지 물질 지지를 위한 홈을 형성하기 때문에 별도의 가스 감지물질 지지대의 정렬장치가 필요 없는 효과가 있다.
가스, 센서, 지지대, 감지물질, 식각-
公开(公告)号：KR100660316B1
公开(公告)日：2006-12-21
申请号：KR1020060010644
申请日：2006-02-03
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L41/08
Abstract: A micro gripper and its driving method are provided to prevent stiction and to grip firmly an object by inhaling fluid using a through hole in a micro gripper jaw. A micro gripper includes a micro gripper jaw(130), a power supply part(200), an actuator(300) for supplying the power to the power supply part, and an inhalation part(400). The micro gripper jaw is provided with a first and a second structure(100,120) having a desired distance(d1), and through holes(111,112) located in the structures. The through holes are exposed at the opposite plane of the first and the second structure. The inhalation part is inhaled a fluid by using the through holes so as to grip firmly an object(150).
Abstract translation: 提供了一种微型抓具及其驱动方法，以防止静摩擦并通过使用微型抓具钳口中的通孔吸入流体来牢牢抓住物体。 微型夹持器包括微型夹持器钳口（130），电源部分（200），用于向电源部分供电的致动器（300）以及吸入部分（400）。 微型夹爪设置有具有期望距离（d1）的第一和第二结构（100,120）以及位于结构中的通孔（111,112）。 通孔暴露在第一和第二结构的相对平面处。 吸入部分通过使用通孔吸入流体以牢固地夹持物体（150）。
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公开(公告)号：KR100625608B1
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020040056783
申请日：2004-07-21
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/14
Abstract: 본 발명은 미세 다공성 구조물을 갖는 가스센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 기판과; 상기 실리콘 기판의 중앙 영역 상부에서 내부로 형성된 미세 다공성 실리콘 산화 구조물과; 상기 미세 다공성 실리콘 산화 구조물을 포함하여 실리콘 기판 전면 상부에 형성된 멤브레인(Membrane)막과; 상기 미세 다공성 실리콘 산화 구조물이 존재하는 영역의 멤브레인막 상부에 형성된 가열 전극 패턴과; 상기 가열 전극 패턴 양측의 멤브레인막 상부에 형성된 감지 전극 패턴과; 상기 감지 전극 패턴을 제외하고 가열 전극 패턴을 감싸며, 상기 멤브레인막 상부에 형성된 절연막과; 상기 가열 전극 패턴을 감싸는 절연막을 내장시키며, 상기 감지 전극 패턴을 감싸는 감지막으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 미세 다공성 실리콘 산화 구조물 상에 가스센서를 제조함으로써, 열 손실을 최소화할 수 있고, 외부 진동 및 충격과 가열부의 열에 의해 발생하는 열 응력에 의한 맴브레인의 파손을 최소화 할 수 있어 소자의 내구성을 높일 수 있는 효과가 있다.
다공, 가스센서, 멤브레인, 전기화학, 진공, 열, 손실
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