一种使用MEMS超小尺寸光谱仪

    公开(公告)号:CN109425431A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201710773046.0

    申请日:2017-08-31

    CPC classification number: G01J3/36 G01J3/0272 G01J3/0291 G01J3/04 G01J3/18

    Abstract: 本发明公开一种使用MEMS超小尺寸光谱仪,其包括外壳、入射光栏、准直透镜、楔角片组、色散光栅、MEMS和PD探测器,入射光栏、准直透镜、楔角片组和色散光栅沿光路依次设置,MEMS设于色散光栅的衍射方向,所述楔角片组由具有不同角度的楔角片构成,PD探测器设于入射光栏内侧;入射光由入射光栏射入,准直透镜用于入射光的准直,准直后的入射光经楔角片组拓宽测试光谱范围后输出至色散光栅,色散光栅将入射光衍射至MEMS,经MEMS反射的反射光依次经过色散光栅、楔角片组和准直透镜最终聚焦到PD探测器上。本发明的光谱仪结构简单、尺寸小、低成本、波长范围宽的超小光谱仪。

    分光测量装置
    163.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104833634B

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201510303622.6

    申请日:2013-10-02

    Inventor: 石丸伊知郎

    Abstract: 本发明的分光测量装置具备:分割光学系统,其将从位于被测量物的测量区域内的多个测量点分别发出的测量光束分割为第一测量光束和第二测量光束;成像光学系统,其使第一测量光束与第二测量光束发生干涉;光程差赋予单元,其对第一测量光束和第二测量光束之间赋予连续的光程差分布;检测部,其包括用于检测与上述连续的光程差分布对应的干涉光的强度分布的多个像素;处理部,其基于由检测部检测出的干涉光的光强度分布来求出被测量物的测量点的干涉图,通过对该干涉图进行傅立叶变换来获取光谱;共轭面成像光学系统,其配置在被测量物与分割光学系统之间,具有与该分割光学系统共用的共轭面;以及周期性赋予单元,其配置于共轭面,对从多个测量点发出的测量光束进行空间上的周期调制。

    一种独立模块化结构可调的光谱仪外壳

    公开(公告)号:CN108020319A

    公开(公告)日:2018-05-11

    申请号:CN201610928838.6

    申请日:2016-10-31

    CPC classification number: G01J3/0291

    Abstract: 本发明公开了一种独立模块化结构可调的光谱仪外壳,包括:1‑箱体、2‑光栅组,3‑聚焦镜组,4‑狭缝组,5‑探测器组,6‑准直镜组。箱体的底板和侧板为一体式结构,顶盖可进行拆卸,方便对内部模块进行调节。固定在底板上的光栅组2、聚焦镜组3和准直镜组6可以在水平方向和俯仰方向调节角度,降低了加工零件时的精度要求,有效减少了生产成本。光谱仪采用独立模块化安装,分别将将光栅组,聚焦镜组,狭缝组,探测器组和准直镜组5个独立的模块进行组装,再将5个模块分别安装到光谱仪箱体侧板和底板上,通过调整底板上三个模块水平方向和俯仰角,可以轻松实现5个独立模块的统一化,降低了光谱仪的装调难度。

    光谱共焦距离传感器
    165.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107894208A

    公开(公告)日:2018-04-10

    申请号:CN201710903643.0

    申请日:2017-09-29

    Abstract: 本发明涉及一种光谱共焦距离传感器,其具有壳体,在该壳体中布置有多色光源、具有纵向色差的成像光学器件、光谱仪和平坦的分束器表面。这些构件位于测量光的在光源与成像光学器件之间的光路中并且还位于测量光的在成像光学器件与光谱仪之间的光路中。壳体还包含被布置在光源与分束器表面之间的光路中的第一隔膜和被布置在分束器表面与光谱仪之间的光路中的第二隔膜。第一隔膜和第二隔膜相对于分束器表面镜像对称地布置。根据本发明,测量光作为自由光束在壳体内传播。分束器表面、第一隔膜和第二隔膜被一起紧固在具有各向同性热膨胀系数的载架上。这样,温度变化不会显著影响测量精度。

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