公开(公告)号：EP0706042A4

公开(公告)日：1998-11-04

申请号：EP95913317

申请日：1995-03-22

Applicant: NIPPON OXYGEN CO LTD

Inventor： ISHIHARA YOSHIO ,  MASUSAKI HIROSHI ,  WU SHANG-QIAN ,  MATSUMOTO KOH

IPC: G01J3/433 ,  G01N21/39 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01J3/433 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3554 ,  G01N2021/399

Abstract: A method and apparatus for measuring the concentration of a very small amount of impurities in an object gas by an infrared spectroscopic analysis using a semiconductor laser. In order to carry out the analysis with a high sensitivity and a high accuracy, an object gas is introduced into a sample cell (5) and the cell is evacuated by a vacuum pump (16). An infrared beam of a wavelength in a region in which a high absorption peak due to impurities appears is emitted from a semiconductor laser (1) and passed through the sample cell (5) and a reference sample cell (8) in which impurities alone are sealed to measure a differential value absorption spectrum. The impurities are identified by comparing the spectrum of the object gas with that of impurities alone and determining a plurality of absorption peaks concerning the impurities, and the quantity of the impurities is determined on the basis of the absorption intensity at the highest peak. When impurity gas molecules form clusters in the object gas, the light of not less than 0.5 eV is applied to the clusters to dissociate the same, and the analysis of the gas is then carried out. This invention is suitably utilized, especially, for analyzing a very small amount of impurities in a semiconductor material gas.

公开(公告)号：EP0768525A3

公开(公告)日：1997-10-08

申请号：EP96402130.7

申请日：1996-10-07

Applicant: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE

Inventor： Mc Andrew, James J.F. ,  Wang, Hwa-Chi ,  Jurcik, Benjamin J.

IPC: G01N21/39 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01N21/031 ,  C23C16/4412 ,  G01J3/433 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3554 ,  G01N21/39

Abstract: Provided is a novel chamber effluent monitoring system. The system comprises a chamber having an exhaust line connected thereto. The exhaust line includes a sample region, wherein substantially all of a chamber effluent also passes through the sample region. The system further comprises an absorption spectroscopy measurement system for detecting a gas phase molecular species. The measurement system comprises a light source and a main detector in optical communication with the sample region through one or more light transmissive window. The light source directs a light beam into the sample region through one of the one or more light transmissive window. The light beam passes through the sample region and exits the sample region through one of the one or more light transmissive window. The main detector responds to the light beam exiting the sample region. The system allows for in situ measurement of molecular gas impurities in a chamber effluent, and in particular, in the effluent from a semiconductor processing chamber. Particular applicability is found in semiconductor manufacturing process control and hazardous gas leak detection.

公开(公告)号：EP0420135B1

公开(公告)日：1994-04-06

申请号：EP90118365.7

申请日：1990-09-25

Applicant: NIRSYSTEMS INCORPORATED

Inventor： Norris, Carl

IPC: G01J3/06 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J3/2889 ,  G01J3/433 ,  G01J2003/2866 ,  G01J2003/2876 ,  G01N21/4738

公开(公告)号：EP0227766B1

公开(公告)日：1989-10-18

申请号：EP86904153.3

申请日：1986-07-04

Applicant: CAMMANN, Karl

Inventor： CAMMANN, Karl

IPC: G01J3/433

CPC classification number: H01J49/02 ,  G01J3/433 ,  G01N21/3103 ,  G01N21/6402

Abstract: The selectivity, that is to say the ratio between the analyte-proportional signal and the foreign body-proportional signal is an essential factor in spectrometric measurements. When a narrow spectral band of the spectral domain is filtered by means of filter arrangements or the like and when supplying a detector of which the output signal is displayed, a sensitive improvement of the selectivity is obtained. The filter arrangement is periodically offset with respect to the spectral domain to be analyzed so that the spectral band passing through the filter arrangement is periodically offset through the spectral domain to be analyzed and the output signal from the detector is displayed through a lock-in amplifier of which the phase reference signal is proportional to the displacement.

公开(公告)号：NO20045400A

公开(公告)日：2005-03-01

申请号：NO20045400

申请日：2004-12-10

Applicant: BAKER HUGHES INC

Inventor： DIFOGGIO ROCCO ,  WALKOW ARNOLD M ,  BERGREN PAUL A

IPC: G01V1/00 ,  E21B49/08 ,  G01J3/06 ,  G01J3/26 ,  G01J3/433 ,  G01J3/44 ,  G01N21/03 ,  G01N21/35 ,  G01N21/64 ,  G01N21/85 ,  G01V8/02

CPC classification number: G01J3/26 ,  E21B49/08 ,  E21B2049/085 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/06 ,  G01J3/433 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/0317 ,  G01N21/3577 ,  G01N21/359 ,  G01N21/64 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2021/6482 ,  G01N2021/855

公开(公告)号：JP2017049253A

公开(公告)日：2017-03-09

申请号：JP2016171404

申请日：2016-09-02

Applicant: サーモ フィッシャー サイエンティフィック (ブレーメン) ゲーエムベーハー

Inventor： ウルフ フレーリヒ ,  エリク ワペルホースト

IPC: G01N21/3504 ,  G01N21/39

CPC classification number: G01J3/027 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/26 ,  G01J3/42 ,  G01J3/433 ,  G01N21/39 ,  H01S5/0612 ,  H01S5/0622 ,  H01S5/06804 ,  H01S5/06808 ,  H01S5/0683 ,  G01J2003/4334 ,  G01N2021/399 ,  G01N21/00 ,  H01S5/005 ,  H01S5/0092 ,  H01S5/0617 ,  H01S5/12 ,  H01S5/4087

Abstract: 【課題】レーザ吸収分光計のレーザデバイスのレーザの動作値を最適化する。 【解決手段】レーザデバイスにより放出される光の波長は、第1又は第2のレーザパラメータによって調節される。レーザ吸収分光計は、レーザデバイスからのレーザ光強度を測定する光強度検出器を備える。第1のレーザパラメータの複数の値のそれぞれについて、光強度検出器により、第2のレーザパラメータ値の範囲全体で得られる光強度が測定され、光強度測定値における極値及び極値のピーク位置が特定される。第1のレーザパラメータ値の範囲が、第1のレーザパラメータの変化に伴う特定されたピーク位置の変化に連続傾向がある第1のレーザパラメータの値内で、特定される。第1のレーザパラメータ動作値が、特定された範囲内に設定される。 【選択図】図1

公开(公告)号：JPWO2015008435A1

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：JP2015527159

申请日：2014-06-20

Applicant: パナソニックIpマネジメント株式会社

Inventor： 達男 伊藤 ,  弘一 楠亀 ,  亜旗 米田

IPC: G01N21/3554

CPC classification number: G01J3/427 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0278 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/10 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/32 ,  G01J3/42 ,  G01J3/433 ,  G01J2001/4242 ,  G01J2003/064 ,  G01J2003/102 ,  G01J2003/104 ,  G01J2003/106 ,  G01N21/359

Abstract: 物体(16)による所定の吸収率を持つ波長λ1の光と、物体(16)による吸収率が波長λ1よりも小さい波長λ2の光とを、二次元方向に走査してターゲットに照射する光照射部(11a,11b,12,51,52)と、波長λ1の光及び波長λ2の光がターゲットで反射した散乱光をそれぞれ受光する受光部(17)と、受光部(17)が受光した波長λ1及び波長λ2による2つの散乱光の差に基づいて、ターゲットにおける物体(16)の検出に利用される情報を生成する計測部(18)と、光照射部(11a,11b,12,51,52)による走査及び計測部(18)で生成された情報に基づいて、ターゲットにおける物体の存在有無を二次元領域の情報で出力する出力部(53)とを備える。

Abstract translation: 和波长的光λ1具有由所述对象（16）的预定的吸收率和波长比波长λ1的吸收率小于λ2的光通过所述对象（16），光照射通过扫描二维照射靶 部件（11A，11B，12,51,52）和光接收部分（17）的波长，（17）已经接收到的光与波长λ1的波长λ2的光，以分别接收散射光的光接收单元从所述目标反射的 基于由λ1和波长λ2的两个散射光之间的差，测量单元，用于生成信息，以在所述目标（16）和（18），所述光照射部可用于检测对象物的（11A，11B，12和51， 52）基于由所述扫描和测量单元（18）所产生的信息，包括输出的对象的目标中的存在或不存在与二维区域的信息和（53）的输出单元。

公开(公告)号：JP2017503187A

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：JP2016564417

申请日：2015-01-14

Applicant: オーワイ スパークリケ エービー ,  オーワイ スパークリケ エービー

Inventor： ニーラネン，カイ ,  ニエミ，ミーカエル ,  シルヤ−ラハティ，ミッコ

IPC: G01N21/39

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01J3/433 ,  G01J3/4338 ,  G01N21/274 ,  G01N2021/399

Abstract: ガラスユニットの判定空間(113)内の対象気体成分の存在を非侵襲的に判定するデバイス(100)が、前記測定空間に向かってレーザビームを放射するレーザ源を含むレーザビームの放射ユニット(101)と、前記空間を通って進む前記放射レーザビームの透過を検出する検出器を含む検出ユニット(102)とを含む。該デバイスは、判定空間内で判定されるものと少なくとも同じ気体成分の少なくとも1つの基準ピークの位置を、較正モードで測定するように構成されている。放射レーザビームは、少なくとも対象気体成分を有する較正空間を通って進むように構成されており、検出ユニットは、本質的に、前記較正空間を通って透過する前記ビームを検出するかまたは撮像するように構成されている。また、デバイスは、移動するように構成されて、レーザビームの放射ユニット(101)と検出ユニット(102)との間に前記判定空間(113)を受け入れ、前記判定空間内の対象気体成分の存在の判定を目的とする。

Abstract translation: 玻璃单元确定空间（113）是否存在非侵入性地确定所述设备（100）的对象的气体成分中，激光束包括用于向所述测量空间发射激光束的激光源的辐射单元（101 ）和包括包含检测器，用于检测辐射的激光束通过所述乘坐空间的传输的检测部（102）。 的装置中，至少一个参考峰的至少为气态组分应在决策空间，其被配置为测量所述校准模式来确定的位置。 发射的激光束被配置为通过具有所述校准空间中的至少所述目标气体成分检测单元实质上是或成像检测通过所述校准空间发射的光束 它被配置。 此外，该装置被配置成移动，激光束（101）的辐射单元和检测单元（102），所述靶气体成分在确定空间的存在之间的接收判定空间（113） 用于确定的目的。

公开(公告)号：JP2016504581A

公开(公告)日：2016-02-12

申请号：JP2015547534

申请日：2013-12-12

Applicant: アヴィサ ファーマ インコーポレイテッドAvisa Pharma Inc. ,  アヴィサ ファーマ インコーポレイテッドAvisa Pharma Inc.

Inventor： パーケット，エリザベス，エー．

IPC: G01N33/497 ,  A61K45/00 ,  A61P11/00 ,  A61P31/04

CPC classification number: C12Q1/04 ,  G01J3/433 ,  G01N21/314 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/39 ,  G01N33/497 ,  G01N2021/399 ,  G01N2201/0221

Abstract: 本発明は、対象の肺における細菌負荷の部位を決定する方法に関する。

Abstract translation: 本发明涉及一种确定在受试者的肺细菌接种量的部位的方法。

公开(公告)号：JP2015049243A

公开(公告)日：2015-03-16

申请号：JP2014172135

申请日：2014-08-27

Applicant: ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ ,  General Electric Co

Inventor： NAGAPRIYA KAVOORI SETHUMADHAVAN ,  SANDIP MAITY ,  NILOY CHOUDHURY

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N21/1702 ,  G01J3/433 ,  G01N21/3577 ,  G01N21/39 ,  G01N21/85 ,  G01N29/222 ,  G01N29/2425 ,  G01N29/30 ,  G01N33/2841 ,  G01N33/2847 ,  G01N2021/1704 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/067 ,  G01N2291/02809

Abstract: 【課題】光音響分光法を用いて流体内の成分の存在を検出するシステムおよび方法を提供する。【解決手段】サンプル流体を有する第1のチャンバ218と、第1のチャンバに結合された第2のチャンバ216とを備え、第2のチャンバは、基準流体を有する。本システムは、変調光源202を備え、変調光線をサンプル流体と基準流体とに照射し、第1のチャンバ内で第1の音響信号238を生成し、第2のチャンバ内で第2の音響信号240を生成する。さらに、第1のチャンバと第2のチャンバとの間に配置された圧力センサ236を備え、第1の音響信号と第2の音響信号との差を検出する。本システムは、圧力センサに通信可能に結合され、差を表す信号を受信し、サンプル流体内の成分およびその成分の濃度の少なくとも一方を判断するよう構成されるプロセッサ式モジュール228を備える。【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于通过使用光声波光谱检测流体中组分的存在的系统和方法。解决方案：系统包括具有样品流体的第一室218和耦合到第二室216的第二室216。 第一室，其中第二室具有参考流体。 该系统包括用于将调制的光束发射到样品流体和参考流体的调制光源202，以在第一室中产生第一声信号238，并在第二室中产生第二声信号240。 该系统还包括设置在第一室和第二室之间的用于检测第一声信号和第二声信号之间的差的压力传感器236。 该系统包括基于处理器的模块228，其通信地耦合到压力传感器并且被配置为接收代表该差异的信号，并且确定样品流体中的组分和组分的浓度中的至少一个。