Abstract:
본 발명은 구동 헤드 및 그를 구비하는 개인용 원자현미경에 관한 것으로, 휨 감지부가 구비되며 탐침을 이동시키는 캔티레버, 캔티레버를 상,하로 이동시키는 구동 헤드 및 시료를 x 축 및 y 축 방향으로 이동시키는 스캐너를 포함한다. 캔티레버는 휨 감지부를 구비하는 간단한 구조로 이루어지고, 구동 헤드 및 스캐너는 양방향 변위가 가능하고 유연 힌지의 탄성에 의해 큰 변위폭을 갖는다. 본 발명의 개인용 원자현미경은 높은 선형성을 갖기 때문에 히스테리시스나 크립 현상이 거의 발생되지 않는다. 그러므로 보정을 위한 별도의 센서 시스템이 필요하지 않으며, 한번의 초기 보정을 통해 원하는 이미지를 얻을 수 있다. 원자현미경, 캔티레버, 구동 헤드, 유연 힌지, 스캐너
Abstract:
정보저장용 초소형 광/자기 디스크를 제공한다. 본 발명은 일체형 금속 허브 및 디스크 원판을 포함한다. 상기 일체형 금속 허브는 원판 형태의 상판 금속 허브와, 상기 상판 금속 허브의 아래에 일체형으로 결합되고 상기 상판 금속 허브보다 직경이 작은 원판 형태로 구성된 하판 금속 허브와, 상기 상판 금속 허브와 하판 금속 허브의 중앙 부분에 상기 상판 금속 허브와 하판 금속 허브를 관통하는 중심홀을 갖는다. 상기 디스크 원판은 상기 중심홀에 대응되는 중앙 부분에 상기 일체형 금속 허브가 직접 결합되는 관통홀과, 상기 관통홀의 주위에 상측으로 상기 상판 금속 허브가 안착할 수 있는 리세스부를 갖는다. 이에 따라, 본 발명의 초소형 광/자기 디스크는 중심부의 두께가 두껍지 않아 초소형 정보 저장기의 초박형화에도 유리하고, 제조 공정도 단순하여 가격 및 품질 경쟁력을 높일 수 있다.
Abstract:
본 발명은 광 정보 저장장치의 헤드에 적용 가능한 캔티레버형 근접장 탐침 구조 및 그 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명은 윗부분과 아랫부분에 유전체 박막이 마스크 층으로 형성되고 위쪽 마스크 층에 유전체 원형 박막이 형성되어 홀더(Holder) 역할을 하는 실리콘 기판에 산화막을 형성하고, 이때 상기 유전체 원형 박막에 의해 발생하는 산화막의 성장률 차이에 기인하는 새부리(bird's beak) 효과에 의해 탐침의 끝부분이 포물선 구조가 되는 초기 탐침을 형성한 후, 이 초기 탐침에서 상기 유전체 원형 박막을 제거한 다음 실리콘 기판의 바닥면을 제거하여 고투과율을 가지는 근접장 에퍼처가 형성된 탐침을 완성하도록 되어 있으며, 이에 따라서, 차세대 고밀도 광 정보 저장장치의 헤드에 적용하면 광 손실 영역을 최대한 짧게 할 수 있으며, 광 정보의 기록 및 재생에 필요한 탐침의 광 투과율을 기존의 광섬유 탐침의 투과율보다 수천 배 이상 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
Abstract:
본 발명은 화학(chemistry)에서의 분자전자(molecular electronics) 분야, 생물학(biology)에서의 분자역학(molecular dynamics) 분야에서 연구되고 있는 나노(nano) 스케일의 포어(pore) 형성 방법에 관한 것으로, 원자현미경(AFM)을 이용한 아노딕 나노 산화(anodic nano-oxidation) 방법으로 마스크 박막에 선택적으로 산화 패턴을 형성한 후 산화 패턴을 선택적으로 식각하여 나노 스케일의 포어를 형성한다. 본 발명을 이용하면 간단한 공정으로 용이하게 나노 포어 어레이를 형성할 수 있다.
Abstract:
Provided is a microwave tunable device including a ferroelectric/dielectric (Ba1-x,Srx)TiO3 (BST) thin film that can reduce dielectric loss of a ferroelectric/dielectric BST thin film. The microwave tunable device of the present research includes: a substrate; and a ferroelectric/dielectric (Ba1-x,Srx)TiO3 (BST) thin film of a (111) direction which is formed on the substrate. The technology of this research embodies a microwave tunable device by using a ferroelectric/dielectric BST thin film grown in the (111) direction to overcome the limitation of conventional technologies and improve the problem of dielectric loss.