公开(公告)号：WO2002069054A1

公开(公告)日：2002-09-06

申请号：PCT/US2001/044547

申请日：2001-11-28

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： MOORE, Lisa, A. ,  SMITH, Charlene, M.

IPC: G03F9/00

CPC classification number: G03F7/70216 ,  C03B19/1407 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/38 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/60 ,  G03F7/70958

Abstract: High purity silicon oxyfluoride glass suitable for use as a photomask substrates for photolithography applications in the VUV wavelength region below 190 nm is disclosed with the silicon oxyfluoride glass having a preferred fluorine content

Abstract translation: 公开了具有优选氟含量<0.5重量％的氟氧化硅玻璃，适合用作光刻应用中的低于190nm的VUV波长区域的光掩模基板的高纯度氟氧化硅玻璃。 本发明的氟氧化硅玻璃在157nm波长下是透射的，使其特别适用于157nm波长区域的光掩模衬底。 本发明的光掩模基材是“真空”的氟氧化硅玻璃，其在真空紫外（VUV）波长区域中表现出非常高的透射率，同时保持通常与高纯度熔融石英相关的优异的热和物理性能。 除了含氟并且具有很少或不含OH含量之外，本发明的适合用作157nm的光掩模衬底的氟氧化硅玻璃的特征还在于具有小于1×10 17分子/ cm 3的分子氢和低氯水平。

公开(公告)号：WO02030839A2

公开(公告)日：2002-04-18

申请号：PCT/EP2001/011594

申请日：2001-10-08

IPC: C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018

CPC classification number: C03B37/01892 ,  C03B37/01205 ,  C03B37/0142 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/36

Abstract: According to a known method for producing a tube consisting of doped quartz glass, the starting components are fed to a deposition burner, particles containing SiO2 and GeO2 are formed, and are deposited on a mandrel rotating about its longitudinal axis, forming a porous layer of soot. Based on said method, the aim of the invention is to ensure that the doping agent is distributed over the tube wall in a radially homogeneous manner. In order to achieve this, an outer compression area (3) having a higher density is generated in the outer area of the layer of soot, and surrounds an inner area (2) of the layer of soot, said inner area having a lower density. A tubular semifinished product consisting of porous quartz glass containing GeO2, which can be subjected to dehydration treatment without significantly changing the predefined distribution of doping agent over the tube wall, is characterised in that the area of the outer wall of the tube is provided with an outer compression area (3) having a higher density and surrounding an inner area (2) having a smaller density.

Abstract translation: 在制造掺杂的二氧化硅玻璃的管的一个公知的方法，起始组分被馈送到形成SiO 2和GeO 2的含有粒子的沉积，以及沉积在围绕其纵向轴线以形成多孔烟灰层的旋转心轴上。 为了开始确保其掺杂剂在管道壁的径向均匀分布，根据本发明中提出，外压缩区（3）更高的密度在周边较低密度的烟灰层（2）的内部区域中的烟灰层的外侧区域产生。 制成的多孔的管状半成品，含有GeO 2的石英玻璃，其可进行脱水处理，如果没有掺杂剂预分布基本上在管壁根据本发明的特征在于，在外部压缩区的管外壁的面积发生变化，其特征在于（3）较高密度的 提供了一种具有围绕较低密度的内侧区域（2）。

公开(公告)号：WO2016013545A1

公开(公告)日：2016-01-28

申请号：PCT/JP2015/070717

申请日：2015-07-21

Applicant: 住友電気工業株式会社

Inventor： 春名　徹也 ,  平野　正晃 ,  田村　欣章 ,  川口　雄揮

IPC: C03B37/012 ,  C03B37/014 ,  C03B37/018 ,  C03C13/04

CPC classification number: C03B37/01211 ,  C03B37/012 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01248 ,  C03B37/014 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/018 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01869 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/34 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  Y02P40/57

Abstract: 　本発明は、伝送損失の小さな光ファイバを得るための光ファイバ母材を製造する方法に関する。当該光ファイバ母材に含まれるコア母材は、それぞれがロッドインコラプス法により作製され、かつ、アルカリ金属元素濃度および塩素濃度の双方が独立に制御された３以上のコア部を含み、これら３以上のコア部それぞれの製造工程のうち２以上の製造工程において、アルカリ金属元素の添加が実施される。その結果、コア母材全体におけるアルカリ金属元素濃度の平均値が７原子ｐｐｍ以上７０原子ｐｐｍ以下に制御される。

Abstract translation: 本发明涉及一种制造光纤预制棒的方法，用于获得具有较小传输损耗的光纤。 包括在光纤预制棒中的芯预制品具有至少三个芯部，每个芯部分均采用塌陷工艺制造，其中碱金属元素浓度和氯化物浓度均独立控制。 在至少三个芯部中的每一个的制造工艺的至少两个制造工艺中，添加碱金属元素。 结果，将整个芯预成型体中的碱金属元素浓度的平均值控制为7原子ppm至70原子ppm。

公开(公告)号：WO2016007693A1

公开(公告)日：2016-01-14

申请号：PCT/US2015/039650

申请日：2015-07-09

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： BILLINGS, Amanda, Lee ,  BOOKBINDER, Dana, Craig ,  DESORCIE, Robert, Brett ,  DE PAOR, Liam Ruan ,  TANDON, Pushkar ,  YANG, Li

IPC: C03B37/012 ,  G02B6/02

CPC classification number: C03B37/01446 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01248 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/20 ,  C03B2203/23 ,  G02B6/02 ,  G02B6/021 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/0365 ,  Y02P40/57

Abstract: A method for forming an optical fiber preform and fibers drawn from the preform. The method includes forming a soot cladding monolith, inserting a consolidated core cane into the internal cavity, and processing the resulting core-cladding assembly to form a preform. Processing may include exposing the core-cladding assembly to a drying agent and/or dopant precursor, and sintering the core-cladding assembly in the presence of a reducing agent to densify the soot cladding monolith onto the core cane to form a preform. The preform features low hydroxyl content and low sensitivity to hydrogen. Fibers drawn from the preform exhibit low attenuation losses from absorption by the broad band centered near 1380 nm.

Abstract translation: 一种用于形成光纤预制棒的方法和从所述预成型件拉出的纤维。 该方法包括形成烟灰包覆整料，将固结的芯棒插入内部空腔中，以及处理所得到的芯 - 包层组件以形成预制件。 处理可以包括将芯包层组件暴露于干燥剂和/或掺杂剂前体，以及在还原剂存在下烧结芯 - 包层组件以将烟炱包覆整料致密化到芯棒上以形成预制件。 该预制件具有低羟基含量和对氢的低敏感性。 从预制件中抽出的纤维，由1380nm附近的宽带吸收而产生的衰减损耗低。

公开(公告)号：WO2013077263A1

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：PCT/JP2012/079769

申请日：2012-11-16

Applicant: 住友電気工業株式会社

Inventor： 田村　欣章 ,  春名　徹也 ,  平野　正晃

IPC: C03B37/018 ,  C03B20/00

CPC classification number: G02B6/03622 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/018 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01815 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/34 ,  C03B2203/36 ,  C03C13/04 ,  C03C13/045 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/46 ,  G02B6/02019 ,  G02B6/02242 ,  G02B6/02266 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03611 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03694 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/2964

Abstract: 　線引して光ファイバとした状態においても該光ファイバのコアに充分な濃度のアルカリ金属を含有させることができる製造容易な光ファイバ母材を提供する。光ファイバ母材１０は、シリカガラスを主成分とするものであって、コア部２０およびクラッド部３０を備える。コア部２０は、中心軸を含む第一コア部２１と、第一コア部２１の外周に設けられた第二コア部２２とを含む。クラッド部３０は、第二コア部２２の外周に設けられた第一クラッド部３１と、第一クラッド部３１の外周に設けられた第二クラッド部３２とを含む。コア部２０は、平均濃度５原子ppm以上のアルカリ金属を含有する。第一クラッド部３１の外周部におけるＯＨ基の濃度は２００mol ppm以上である。

Abstract translation: 提供了一种容易制造的光纤预制棒，其使得通过光纤预制棒的拉伸获得的光纤的芯能够含有足够浓度的碱金属。 光纤预制件（10）以石英玻璃为主要成分，设有芯部（20）和包层部（30）。 芯部（20）包括包括中心轴的第一芯部（21）和设置在第一芯部（21）的外周上的第二芯部（22）。 包层部分（30）包括设置在第二芯部（22）的外周上的第一包层部分（31）和设置在第一包层部分的外圆周上的第二包层部分（32） 31）。 核心部分（20）含有平均浓度为5原子ppm以上的碱金属。 第一包层部（31）的外周部的OH基浓度为200μmol以上。

公开(公告)号：WO2011110617A1

公开(公告)日：2011-09-15

申请号：PCT/EP2011/053590

申请日：2011-03-10

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  SATTMANN, Ralph ,  VYDRA, Jan ,  HUENERMANN, Michael

Inventor： SATTMANN, Ralph ,  VYDRA, Jan ,  HUENERMANN, Michael

IPC: C03B37/012 ,  C03B37/027 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036

CPC classification number: C03B37/02754 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01242 ,  C03B37/018 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03B2205/30 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/0365 ,  Y10T428/2935

Abstract: Bekannt sind Verfahren zur Herstellung einer optischen Faser durch Elongieren einer Quarzglas-Vorform oder eines koaxialen Ensembles von Quarzglas-Bauteilen, anhand denen eine Faser erhalten wird, eine Kernzone, eine die Kernzone umhüllende innere Mantelzone, eine die innere Mantelzone umgebende Ringzone aufweist. Um hiervon ausgehend ein Verfahren, ein rohrförmiges Halbzeug sowie ein Ensemble koaxialer Bauteile für die kostengünstige Herstellung einer optischen Faser zur Verfügung zu stellen, die sich durch eine hohe Qualität der Grenzfläche zwischen Kern und Mantel und eine geringe Biegeempfindlichkeit auszeichnet, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Quarzglas der Ringzone in Form eines Ringzonenrohres aus Quarzglas mit einem mittleren Fluorgehalt von mindestens 6000 Gew.-ppm bereitgestellt wird, das eine von einer Rohr-Innenoberfläche und einer Rohr-Außenoberfläche begrenzte Wandung aufweist, wobei über die Ringzonenrohr-Wandung ein radiales Fluor-Konzentrationsprofil eingestellt wird, das eine innere Fluor-Verarmungsschicht mit einer Schichtdicke von mindestens 1 µm und maximal 10 µm aufweist, in der der Fluorgehalt zur Rohr-Innenoberfläche hin abfällt und in einem oberflächennahen Bereich mit einer Dicke von 1 µm maximal 3000 Gew.-ppm beträgt.

Abstract translation: 方法是已知的通过延长石英玻璃预型体或在其上获得的纤维的石英玻璃部件，基于的同轴合奏，核心区，核心区包围具有围绕环形区的内包层区域内包层区制备的光纤。 为了此基础上提供一种方法，一种管状半成品，以及同轴组件的用于光纤的廉价制造的合奏是可用的，其特点是纤芯和包层和低弯曲灵敏度之间的界面的高品质，它是根据本发明提出的 环形区域的石英玻璃中具有按重量计至少为6000 ppm的平均氟含量，具有由管内表面和管的外表面的壁，其特征在于，在所述环区域管壁的径向氟浓度分布的限制熔融石英的该管的环形区域的形式设置 被设置具有至少1微米的层厚度和大于10微米，其中所述氟含量到管内表面按重量计至多3000ppm的向下倾斜，并以具有厚度为1微米的表面附近区域内氟耗尽层 ，

公开(公告)号：WO2008140676A2

公开(公告)日：2008-11-20

申请号：PCT/US2008/005487

申请日：2008-04-28

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  BOOKBINDER, Dana C ,  FIACCO, Richard M ,  HRDINA, Kenneth

Inventor： BOOKBINDER, Dana C ,  FIACCO, Richard M ,  HRDINA, Kenneth

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/31 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/54

Abstract: A fused silica glass and a fused silica article having a combined concentration of at least one of OH and OD of up to about 50 ppm. The fused silica glass is formed by drying a fused silica soot blank or preform in an inert atmosphere containing a drying agent, followed by removal of residual drying agent from the dried soot blank by heating the dried soot blank in an atmosphere comprising an inert gas and of oxygen.

Abstract translation: 熔融石英玻璃和熔融二氧化硅制品，其具有高达约50ppm的OH和OD中的至少一种的组合浓度。 熔融二氧化硅玻璃通过在含有干燥剂的惰性气氛中干燥熔融二氧化硅烟灰坯料或预型体而形成，然后通过在包含惰性气体的气氛中加热干燥的烟灰坯料从干燥的烟灰坯中除去残留的干燥剂， 的氧气。

公开(公告)号：WO2006074083A1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：PCT/US2005/047452

申请日：2005-12-29

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  ALLAN, Douglas, C. ,  BOOKBINDER, Dana, C. ,  NEUKIRCH, Ulrich ,  SMITH, Charlene, M.

Inventor： ALLAN, Douglas, C. ,  BOOKBINDER, Dana, C. ,  NEUKIRCH, Ulrich ,  SMITH, Charlene, M.

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/54

Abstract: Disclosed are synthetic silica glass having a low polarization-induced birefringence, process for making the glass and lithography system comprising optical element made of the glass. The silica glass has a polarization-induced birefringence measured at 633 nm of less than about 0.1 nm/cm when subjected to excimer laser pulses at about 193 nm having a fluence of about 40 µJ•cm-2•pulse-1 and a pulse length of about 25 ns for 5 x 109 pulses.

Abstract translation: 公开了具有低偏振诱发双折射的合成石英玻璃，用于制造玻璃的方法和包含由玻璃制成的光学元件的光刻系统。 当经受约193nm的准分子激光脉冲时，石英玻璃在633nm处测量的偏振诱发双折射小于约0.1nm / cm，脉冲约为40μJcm -2脉冲-1，脉冲长度约为 5 x 109脉冲为25 ns。

公开(公告)号：WO2005051854A1

公开(公告)日：2005-06-09

申请号：PCT/KR2004/002522

申请日：2004-10-01

Applicant: OPTOMAGIC CO.LTD ,  KANG, Hee-Jeon ,  RYU, Ki-Sun ,  OH, Chi-Hwan ,  LEE, Kyung-Goo ,  JUNG, Chang-Hyun

Inventor： KANG, Hee-Jeon ,  RYU, Ki-Sun ,  OH, Chi-Hwan ,  LEE, Kyung-Goo ,  JUNG, Chang-Hyun

IPC: C03B37/018

CPC classification number: C03B37/029 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/0146 ,  C03B37/01466 ,  C03B37/027 ,  C03B37/02718 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/31 ,  C03B2205/63 ,  C03B2205/90 ,  C03B2205/92 ,  C03B2207/50 ,  G02B6/02

Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing a single mode optical fiber, and a method for fabricating a single mode optical fiber that has a waterproof and plastic property and a low hydroxy group at a wavelength of 1383 nm.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造单模光纤的方法，以及制造具有防水塑性和单个光纤的单模光纤在波长1383nm处的方法。

公开(公告)号：WO2005044747A1

公开(公告)日：2005-05-19

申请号：PCT/US2004/035816

申请日：2004-10-27

Applicant: CORNING INCORPORATED ,  HAWTOF, Daniel, W. ,  BALAKRISHNAN, Jitendra ,  BOOKBINDER, Dana, C. ,  CHACON, Lisa, C. ,  DUNWOODY, Steven, A. ,  EARLY, Kintu, O. ,  MAZUMDER, Prantik ,  ROVELSTAD, Amy, L. ,  TANDON, Pushkar

Inventor： HAWTOF, Daniel, W. ,  BALAKRISHNAN, Jitendra ,  BOOKBINDER, Dana, C. ,  CHACON, Lisa, C. ,  DUNWOODY, Steven, A. ,  EARLY, Kintu, O. ,  MAZUMDER, Prantik ,  ROVELSTAD, Amy, L. ,  TANDON, Pushkar

IPC: C03B37/014

CPC classification number: C03B37/0142 ,  C03B37/01486 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2203/29 ,  C03B2207/38 ,  C03B2207/52 ,  C03B2207/66 ,  C03B2207/70

Abstract: The invention includes methods and apparatus for depositing soot onto a glass surface to minimize water in the deposited soot and the diffusion of the water into the glass surface. The invention includes depositing a first layer of soot a on the glass surface at a first forward traverse rate and depositing a second layer of soot at a second forward traverse rate.

Abstract translation: 本发明包括用于将烟灰沉积在玻璃表面上以最小化沉积的烟灰中的水和将水扩散到玻璃表面中的方法和装置。 本发明包括以第一向前横移速率沉积玻璃表面上的第一层烟灰a并以第二前进横向速率沉积第二层烟灰。