-
公开(公告)号：KR1020100036853A
公开(公告)日：2010-04-08
申请号：KR1020080096256
申请日：2008-09-30
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A high sensitive infrared detector for an NDIR-type gas sensor using a wafer level packaging and a method for manufacturing the same are provided to reduce manufacturing cost and time using the junction of a wafer. CONSTITUTION: An upper substrate(121) includes a first cavity and an infrared filter and is bonded on the upper side of a lower substrate. A getter is formed in the upper substrate. A metal solder layer bonds the upper substrate and the lower substrate. At least one second cavity is formed on the upper side of the lower substrate. A sensor(113) and a support unit(115) are formed on the second cavity. The sensor senses infrared rays. The support unit supports the both side of the sensor.
Abstract translation: 目的：提供一种用于使用晶片级封装的NDIR型气体传感器的高灵敏度红外检测器及其制造方法，以减少使用晶片结的制造成本和时间。 构成：上基板（121）包括第一空腔和红外滤光器，并且结合在下基板的上侧。 在上基板上形成吸气剂。 金属焊料层结合上基板和下基板。 在下基板的上侧形成有至少一个第二空腔。 传感器（113）和支撑单元（115）形成在第二腔体上。 传感器感测红外线。 支撑单元支撑传感器的两侧。
-
公开(公告)号：KR102228266B1
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190016107
申请日：2019-02-12
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
Abstract: 본발명의일 실시형태에따른열화상카메라를이용한온도측정장치는, 열화상카메라에대하여 X축이출력코드차, Y축이온도차로표현되는다수개의실측값으로표시되는출력코드차 대비온도차 곡선을구하는제1 연산모듈과, 출력코드차 대비온도차 곡선을이용하여커브피팅된출력코드차 대비온도차 함수를구하는제2 연산모듈과, 커브피팅된출력코드차 대비온도차 함수를적용하여대상물의온도를측정하는제3 연산모듈을포함할수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020160122872A
公开(公告)日：2016-10-25
申请号：KR1020150052230
申请日：2015-04-14
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: H01L25/07 , H01L31/054 , H01L23/488 , H01L27/14 , H01L31/101
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2924/181 , Y02E10/52 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012
Abstract: 웨이퍼레벨패키징소자가제공된다. 본발명은, 센서가형성되어있는센서기판; 상기센서기판상에제공되고, 상기센서가수용될수 있도록그 이면에캐비티(cavity)가형성되어있으며그 표면에는입사된광을집광시킬수 있는렌즈패턴이형성되어있는캡(Cap) 기판; 및상기센서기판과캡 기판을접착시키는금속솔더층;을포함하는웨이퍼레벨패키징소자에관한것이다.
-
公开(公告)号：KR100864504B1
公开(公告)日：2008-10-20
申请号：KR1020070031850
申请日：2007-03-30
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: G01N27/12 , G01N21/3504 , G01N21/35 , G01N21/00
Abstract: NDIR 가스 센서용 고감도 적외선 감지 소자 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명은, 적어도 그 일면에 형성된 지지층을 갖는 기판; 그리고 상기 지지층상에 형성된 절연층;을 포함하고,
상기 기판 상부에는 요홈이 형성되어 있으며, 상기 요홈 상부에는 감지부와 그 감지부의 양측방으로 감지부를 지지하는 지지부가 형성되어 있으며, 그리고
상기 감지부와 지지부 각각은, 상기 절연층상에 형성된 전극패턴과,
상기 전극패턴 상에 형성된 보호층패턴을 포함하고,
상기 감지부는, 상기 절연층내 지지층상에 형성된 반사층패턴과 상기 보호층 패턴내 절연층상에 형성되어 상기 전극패턴과 연결되도록 구성된 감지층패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 NDIR 방식의 이산화탄소 가스 센서용 적외선 감지 소자 및, 그 제조방법에 관한 것이다.
NDIR, 가스센서, 적외선, MEMS-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020080088940A
公开(公告)日：2008-10-06
申请号：KR1020070031850
申请日：2007-03-30
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: G01N27/12 , G01N21/3504 , G01N21/35 , G01N21/00
Abstract: A high sensitive infrared detector for an NDIR gas sensor and a manufacturing method thereof are provided to reduce process time by bulk etching an upper part of a substrate. A high sensitive infrared detector for an NDIR gas sensor comprises a substrate(210) having a supporting layer(230) formed on at least one side, an insulating layer(250) formed on the supporting layer, and a groove formed on the upper part of the substrate. The groove has a detection part on its upper side and a supporting part for supporting the detection part, wherein the detection part and the supporting part include an electrode pattern(253) formed on the insulation layer and a protective layer pattern(270) formed on the electrode pattern. The detection part has a reflection layer pattern(235) formed on the supporting layer inside the insulation layer, and a detection layer pattern(255) formed on the insulation layer in the protective layer pattern to be connected to the electrode pattern.
Abstract translation: 提供了一种用于NDIR气体传感器的高灵敏度红外检测器及其制造方法，以通过大量蚀刻衬底的上部来减少处理时间。 用于NDIR气体传感器的高灵敏度红外检测器包括：衬底（210），其具有在至少一个侧面上形成的支撑层（230），形成在支撑层上的绝缘层（250） 的基底。 所述槽在其上侧具有检测部分和用于支撑所述检测部件的支撑部件，其中所述检测部件和所述支撑部件包括形成在所述绝缘层上的电极图案（253）和形成在所述绝缘层上的保护层图案（270） 电极图案。 检测部分具有形成在绝缘层内部的支撑层上的反射层图案（235）和形成在与电极图案连接的保护层图案的绝缘层上的检测层图案（255）。
-
公开(公告)号：KR101588642B1
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：KR1020140056743
申请日：2014-05-12
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
CPC classification number: H01L24/94 , H01L2924/16235
Abstract: 웨이퍼레벨패키징소자의제조방법이제공된다. 본발명의제조방법은, 상부 SOI 기판의실리콘구조층하부소정의위치에캐비티를형성하는공정; 상기캐비티가형성된구조층하부소정의위치에적외선필터층을형성하는공정; 상기적외선필터층이형성된구조층하부소정의위치에금속솔더층을형성하고, 이어, 다이싱레인을형성하는공정; 상기와같이제조된상부 SOI 기판을하부센서기판에접착시키는공정; 상기상부 SOI 기판을이루는실리콘캐리어층을제거함으로써절연체층을노출시키는공정; 및상기상부기판과하부센서기판을다이싱하는공정;을포함한다.
-
公开(公告)号：KR1020150132611A
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：KR1020140058096
申请日：2014-05-15
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
CPC classification number: H01L23/053 , H01L23/12 , H01L23/485 , H01L24/27 , H01L2924/1461
Abstract: 화각을제어할수 있는웨이퍼레벨패키징소자가제공된다. 본발명의패키징소자는, 센서가형성되어있는하부센서기판; 상기하부센서기판상에제공되고, 상기센서가수용될수 있도록그 일면에캐비티(cavity)가형성되어있는상부캡(Cap) 기판; 상기하부센서기판과상기상부캡 기판을접착하는금속솔더층; 및상기상부캡 기판의상면단부에형성된 IR 차단막;을포함한다.
Abstract translation: 提供了一种用于控制视场的晶片级封装装置。 本发明的包装装置包括具有传感器的下传感器基板; 上盖基板，其设置在下传感器基板上，并且在其一侧具有容纳传感器的空腔; 金属焊料层，其将下传感器基板结合到上盖基板; 以及形成在上盖基板的上端部的IR阻挡层。
-
公开(公告)号：KR101556926B1
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：KR1020140053248
申请日：2014-05-02
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: G01J5/02
CPC classification number: G01J5/02 , H01L31/101
Abstract: 적외선센서모듈이제공된다. 적외선센서모듈은, 적외선이조사되면바이어스전원을인가한후 저항값감소에따라액티브셀을흐르는전류의증가량을일정시간적분하여출력신호를생성하여출력하는적외선센서모듈에있어서, 바이어스전원에의해서만저항값이감소하는블랙셀과, 바이어스전원에의한저항값감소에따라블랙셀을흐르는전류의증가량을적분한값인블랙셀의오프셋을생성하는적분기와, 생성된블랙셀의오프셋의변화량을이용하여, 출력신호로부터액티브셀의오프셋을제거함으로써, 적외선에의한적외선신호만을생성하는적외선신호생성부를포함하며, 블랙셀은, 액티브셀과동일한열전도도및 열시정수를가지며, 적외선이통과하지않도록구성된적외선센서모듈을포함하며, 블랙셀은, 액티브셀과동일한열전도도및 열시정수를가지며, 적외선이통과하지않도록구성함으로써, 적외선센서모듈을소형화할수 있으며, 소모전력을감소시키고내구성을증가시킬수 있다.
Abstract translation: 提供红外线传感器模块。 当红外光照射时施加偏置功率的红外线传感器模块，然后根据电阻值的减小将活跃单元中流动的电流的增加量积分一预定时间，以产生输出信号，并输出该信号 传感器包括：黑电池，其电阻值仅通过偏置功率减小; 积分器，其产生黑电池的偏移，所述偏移值具有根据基于所述偏置功率的电阻值的减小来积分在黑电池中流动的电流的增加量而获得的值; 以及红外信号发生单元，其通过使用所产生的黑色单元的偏移的变化量从输出信号中去除活动单元的偏移量，仅基于红外光生成红外信号，其中，黑色单元具有相同的热 电导率和热时间常数，并且包括被配置为不允许红外光通过的红外传感器模块，并且黑电池具有与活性电池相同的热导率和热时间常数，并且 被配置为不允许红外光通过，从而使红外传感器模块小型化，降低功耗，并提高耐久性。
-
公开(公告)号：KR1020130016545A
公开(公告)日：2013-02-18
申请号：KR1020110078551
申请日：2011-08-08
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
CPC classification number: Y02B20/48 , F21V23/0471 , G08B13/19 , Y02B20/44
Abstract: PURPOSE: A smart system using an infrared sensor and a method thereof are provided to sense thermal energy inside a sensing domain using the infrared sensor and to process the same into thermal images, thereby automatically controlling lightings, air conditioning devices, external intrusion detection, and fire detection by analyzing the thermal images. CONSTITUTION: A smart system using an infrared sensor comprises an infrared sensor module(110), an optical module(120), a signal processing module(130), a control module(140), a driving module(150), and a communication module(160). The infrared sensor module senses changes in thermal energy radiated to inside a sensing domain. The optical module is arranged so that the sensing domain of the infrared sensor module is determined. The signal processing module processes the changes in the thermal energy sensed by the infrared sensor into thermal images and outputs a result by determining the processed images. The control module outputs control signals corresponding to the output image result. The driving module drives each driving unit by the control signals output by the control module. The communication module transmits data signals performed by the driving module to a preset receiving device. [Reference numerals] (110) Infrared sensor module; (120) Optical module; (130) Signal processing module; (131) Thermal image processing unit; (132) Image detecting unit; (140) Control module; (150) Driving module; (151) Lighting drive unit; (152) Cooling and heating drive unit; (153) Fire monitoring drive unit; (154) External intrusion monitoring drive unit; (160) Communication module
Abstract translation: 目的：提供一种使用红外传感器的智能系统及其方法，用于使用红外传感器感测感测区域内的热能，并将其处理成热图像，从而自动控制照明，空调设备，外部入侵检测和 通过分析热图像进行火灾探测。 构成：使用红外传感器的智能系统包括红外传感器模块（110），光学模块（120），信号处理模块（130），控制模块（140），驱动模块（150）和通信 模块（160）。 红外传感器模块感测辐射到感测区域内部的热能的变化。 光学模块被布置成使得红外线传感器模块的感测区域被确定。 信号处理模块将由红外传感器感测的热能的变化处理成热图像，并通过确定处理的图像来输出结果。 控制模块输出与输出图像结果对应的控制信号。 驱动模块通过控制模块输出的控制信号驱动每个驱动单元。 通信模块将由驱动模块执行的数据信号发送到预设接收装置。 （附图标记）（110）红外线传感器模块; （120）光模块; （130）信号处理模块; （131）热图像处理单元; （132）图像检测单元; （140）控制模块; （150）驱动模块; （151）照明驱动单元; （152）冷却和加热驱动单元; （153）消防监控驱动单元; （154）外部入侵监控驱动单元; （160）通讯模块
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.021 seconds)
