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公开(公告)号：KR1020150129962A
公开(公告)日：2015-11-23
申请号：KR1020140056743
申请日：2014-05-12
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
CPC classification number: H01L24/94 , H01L2924/16235
Abstract: 웨이퍼레벨패키징소자의제조방법이제공된다. 본발명의제조방법은, 상부 SOI 기판의실리콘구조층하부소정의위치에캐비티를형성하는공정; 상기캐비티가형성된구조층하부소정의위치에적외선필터층을형성하는공정; 상기적외선필터층이형성된구조층하부소정의위치에금속솔더층을형성하고, 이어, 다이싱레인을형성하는공정; 상기와같이제조된상부 SOI 기판을하부센서기판에접착시키는공정; 상기상부 SOI 기판을이루는실리콘캐리어층을제거함으로써절연체층을노출시키는공정; 및상기상부기판과하부센서기판을다이싱하는공정;을포함한다.
Abstract translation: 提供了一种制造晶片级封装装置的方法。 根据本发明，制造晶片级封装装置的方法包括：在顶部SOI衬底的硅结构层的下侧的预设位置上形成腔的步骤; 在其上形成有空腔的结构层的下侧的预定位置处形成红外滤光器层的步骤; 在形成有红外线滤光器的结构层的下侧的预定位置形成金属焊料层，然后形成切割线的工序; 将顶部SOI衬底接合到底部传感器衬底的步骤; 通过去除包括顶部SOI衬底的硅载体层来暴露绝缘体层的步骤; 以及切割顶部基板和底部传感器基板的步骤。
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公开(公告)号：KR101068042B1
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：KR1020080099494
申请日：2008-10-10
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
Abstract: 초소형화된 인체 감지용 적외선 센서 및 그의 제조방법이 개시된다.
본 발명에 따른 초소형 인체 감지용 적외선 센서는,
시모스(CMOS) 공정을 통해 신호처리부가 집적된 하부기판; 상기 하부기판 상에 형성되고 상기 신호처리부와 전기적으로 연결된 적어도 하나의 적외선 감지소자; 일면에 캐비티(cavity)가 형성되고 상기 적외선 감지소자가 상기 캐비티 내에 포함되도록 상기 하부기판 상에 웨이퍼 레벨에서 접합된 상부기판; 상기 상부기판의 적어도 일면에 형성된 적외선 필터; 상기 캐비티 내에 형성되어 상기 접합시 방출되는 가스를 흡수하는 게터; 상기 상부기판 및 하부기판을 접합하기 위한 금속솔더층; 및 상기 하부기판 상에 형성되어 상기 신호처리부를 외부 전극과 전기적으로 연결하기 위한 전극패드; 를 포함하고,
이때, 상기 접합된 상부기판 및 하부기판의 내부는 진공상태인 것을 특징으로 한다.
적외선 센서, 캐비티, 웨이퍼 레벨, 진공 패키지-
公开(公告)号：KR101034647B1
公开(公告)日：2011-05-16
申请号：KR1020080096256
申请日：2008-09-30
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: H01L29/84
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 레벨 패키징을 이용한 NDIR 방식의 가스 센서용 적외선 감지소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은, 지지층이 형성된 상부기판, 지지층의 일면 상에 형성된 절연층, 절연층 상에 형성된 전극층, 전극층 상에 형성된 보호층, 내면에 제1캐비티가 형성되고 내면 또는 외면에 적외선 필터가 형성되어 하부기판의 상부에 접합된 상부기판, 상부기판의 내면상에 형성된 게터, 하부기판 및 상부기판을 접합시키기 위한 금속솔더층을 포함하며,
여기서, 하부기판은 상면에 적어도 하나의 제2캐비티가 형성되고 각 제2캐비티의 상부 공간상에 적외선을 감지하는 감지부와, 감지부의 양측으로 그 감지부를 지지하는 지지부가 형성되며, 이때, 감지부는 절연층 내 지지층 상에 형성된 반사층과, 보호층 내 절연층 상에 형성되어 전극층과 연결되도록 구성된 감지층을 포함하고,
하부기판 및 상부기판은 내부가 진공상태로 접합된 것을 특징으로 한다.
NDIR, 웨이퍼 레벨 패키징(WLP), 이산화탄소, 적외선, 감지센서, 볼로메터, 캐비티, 기판-
公开(公告)号：KR1020100116332A
公开(公告)日：2010-11-01
申请号：KR1020090034981
申请日：2009-04-22
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: H05B37/02
CPC classification number: Y02B20/40 , Y02B20/44 , Y02B20/445 , H05B37/0227 , F21V23/0471
Abstract: PURPOSE: A sensor lamp is provided to automatically turn on/off by detecting a human body through a micro-bolometer. CONSTITUTION: A sensor lamp comprises a micro-bolometer module(20), a control module(CM), and an illuminance sensor(10). The micro-bolometer module detects the resistance change due to thermal energy which is radiated from a human body and continuously output a detection signal. The control module controls the on/off of the sensor lamp according to the detection signal which is outputted from the micro-bolometer module. The illuminance sensor outputs an operation signal to the micro-bolometer module according to ambient illuminance.
Abstract translation: 目的：提供一个传感器灯，通过微型辐射热量计检测人体自动开启/关闭。 构成：传感器灯包括微测辐射热计模块（20），控制模块（CM）和照度传感器（10）。 微测辐射热计模块检测由于人体辐射的热能引起的电阻变化，并连续输出检测信号。 控制模块根据从微量热计量模块输出的检测信号，控制传感器灯的开/关。 照度传感器根据环境照度向微量热仪模块输出一个操作信号。
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公开(公告)号：KR101569350B1
公开(公告)日：2015-11-30
申请号：KR1020140035461
申请日：2014-03-26
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
CPC classification number: H01L2924/16235
Abstract: 웨이퍼레벨패키징소자가제공된다. 본발명의패키징소자는, 센서가형성되어있는하부센서기판; 상기하부센서기판상에제공되고, 상기센서가수용될수 있도록그 일면에캐비티(cavity)가형성되어있는상부캡(Cap) 기판; 상기하부센서기판과상기상부캡 기판을접착하는금속솔더층;을포함하고, 상기하부센서기판상에는, 상기센서와상기금속솔더층과의사이에상하부기판의접합시발생하는용융금속솔더층의리플로우를차단할수 있는제1 리플로우차단막이형성되어있는것을특징으로한다.
Abstract translation: 提供晶圆级封装装置。 本发明的包装元件包括：其上形成传感器的下传感器基板; 下传感器被设置在所述基板上，在其上的传感器是空腔（空腔）形式类型属性设置为被容纳在表面上帽（CAP）衬底; 下传感器板和用于基板接合上盖金属焊料层包含形成于所述传感器和所述焊料层律流之间的结合上和下基板的焊料层时产生的熔融金属的金属的下传感器基板 并且在第一基板上形成第一回流屏蔽膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150048613A
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：KR1020140035462
申请日：2014-03-26
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
Abstract: 웨이퍼레벨패키징소자가제공된다. 본발명의패키징소자는, 센서가형성되어있는하부센서기판; 상기하부센서기판상에제공되고, 상기센서가수용될수 있도록그 일면에캐비티가형성되어있는상부캡 기판; 및상기하부센서기판과상부캡 기판을접착하는금속솔더층;을포함하고, 상기상부캡 기판은 SOI 웨이퍼이고, 상기캐비티는상기 SOI 웨이퍼를이루는하부 Si층과절연체층을순차적으로제거함으로써형성되는것을특징으로한다.
Abstract translation: 提供了一种晶片级封装装置。 晶片级封装装置包括具有传感器的下传感器基板，设置在下传感器基板上并具有形成在其表面上的空腔以容纳传感器的上盖基板; 以及结合到下传感器基板和上盖基板的金属焊料层。 上盖基板是SOI晶片。 通过依次去除SOI晶片的下Si层和绝缘层来形成空腔。
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公开(公告)号：KR1020130051800A
公开(公告)日：2013-05-21
申请号：KR1020110117153
申请日：2011-11-10
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
CPC classification number: B81B7/0038 , B81B7/007 , B81B2201/0207 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2207/096 , B81C1/00269 , B81C1/00285 , B81C2203/0118 , G01P15/0802 , H01L31/02016 , H01L2224/291 , H01L2924/014
Abstract: PURPOSE: An MEMS sensor packaging and a method thereof are provided to form a pad solder in inside for electrically connecting an ROIC circuit and an MEMS sensor, thereby reducing the size of a package and stably supplying electrical signals. CONSTITUTION: An MEMS sensor packaging comprises a firs wafer(100), a second wafer(200), bonding solders(140a,140b), and pad solders(150a,150b). An ROIC circuit is formed on the first wafer. The second wafer, which is arranged corresponding to the firs wafer, includes a convex unit(240) in one surface, and an MEMS(210) sensor is arranged in the convex unit. The bonding solders are formed around the MEMS sensor for sealing the MEMS sensor by bonding the first and second wafers. The pad solders is formed so that the ROIC circuit of the first wafer and the MEMS sensor of the second wafer are electrically connected.
Abstract translation: 目的：提供MEMS传感器封装及其方法，以在内部形成焊盘焊料，用于电连接ROIC电路和MEMS传感器，从而减小封装的尺寸并稳定地提供电信号。 构成：MEMS传感器封装包括第一晶片（100），第二晶片（200），焊接焊料（140a，140b）和焊盘焊料（150a，150b）。 ROIC电路形成在第一晶片上。 对应于第一晶片布置的第二晶片在一个表面中包括凸单元（240），并且在凸单元中布置MEMS（210）传感器。 粘合焊料围绕MEMS传感器形成，用于通过结合第一和第二晶片来密封MEMS传感器。 焊盘焊料形成为使得第一晶片的ROIC电路和第二晶片的MEMS传感器电连接。
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公开(公告)号：KR100864504B1
公开(公告)日：2008-10-20
申请号：KR1020070031850
申请日：2007-03-30
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: G01N27/12 , G01N21/3504 , G01N21/35 , G01N21/00
Abstract: NDIR 가스 센서용 고감도 적외선 감지 소자 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명은, 적어도 그 일면에 형성된 지지층을 갖는 기판; 그리고 상기 지지층상에 형성된 절연층;을 포함하고,
상기 기판 상부에는 요홈이 형성되어 있으며, 상기 요홈 상부에는 감지부와 그 감지부의 양측방으로 감지부를 지지하는 지지부가 형성되어 있으며, 그리고
상기 감지부와 지지부 각각은, 상기 절연층상에 형성된 전극패턴과,
상기 전극패턴 상에 형성된 보호층패턴을 포함하고,
상기 감지부는, 상기 절연층내 지지층상에 형성된 반사층패턴과 상기 보호층 패턴내 절연층상에 형성되어 상기 전극패턴과 연결되도록 구성된 감지층패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 NDIR 방식의 이산화탄소 가스 센서용 적외선 감지 소자 및, 그 제조방법에 관한 것이다.
NDIR, 가스센서, 적외선, MEMS-
公开(公告)号：KR1020080089809A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：KR1020070032434
申请日：2007-04-02
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: G01J1/44
Abstract: A signal processing circuit for detecting an uncooled infrared image is provided to detect a high definition infrared image by adjusting integrating time proper to limit noise bandwidth. A signal processing circuit for detecting an uncooled infrared image comprises an infrared detecting part(110), a reference resistor part(120), and an integrator(130). The infrared detecting part, whose one end is grounded, has a first resistance value when infrared is not absorbed and a second resistance value smaller than the first resistance value when infrared is absorbed. The reference resistor part, whose one end is connected to the other end of the infrared detecting part and the other end is connected to a first reference voltage, has a second resistance value larger than the first resistance value. The integrator outputs an integrated value in an infrared signal by integrating a difference between the voltage of the other end of the infrared detecting part and a second reference voltage.
Abstract translation: 提供了一种用于检测未经制造的红外图像的信号处理电路，通过调整适当的积分时间来限制噪声带宽来检测高清晰度红外图像。 用于检测未冷却的红外图像的信号处理电路包括红外检测部分（110），参考电阻部分（120）和积分器（130）。 红外线检测部的一端接地时，红外线不被吸收时具有第一电阻值，当红外线被吸收时，具有小于第一电阻值的第二电阻值。 参考电阻部分的一端连接到红外线检测部分的另一端，另一端连接到第一参考电压，具有大于第一电阻值的第二电阻值。 积分器通过积分红外线检测部分的另一端的电压与第二参考电压之间的差来输出红外信号中的积分值。
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