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公开(公告)号：KR1020060087714A
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020050008523
申请日：2005-01-31
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 기준 미러와, 상기 광원으로부터의 광을 측정 대상물 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 다 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 다 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 다 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 다 파장 범위 내의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种厚度和形状测量系统。 根据本发明的厚度和形状测量系统包括：发光的光源; 参考反射镜，设置在光学分区之间，用于将光照射到测量对象物，并从所述光源，参考反射镜和光学分割的光被参考反射镜分离的与干涉滤光器用于发射光的波长范围 干扰模块; 具有包括多波长范围的波长色散范围的光谱部分，用于分离从测量对象反射的光和从参考镜反射的光的分光镜; 图像形成单元，用于由分光单元形成光束; 基于除了图像上形成的光的波长范围的多波长范围之外的波长范围中的光来计算关于测量对象的厚度的信息，并且关于计算出的厚度和光的信息 以及控制器，用于基于多波长范围中的光来计算关于测量对象的形状的信息。 因此，可以减少测量厚度和形状所需的时间，同时降低制造成本。
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公开(公告)号：KR1020050119242A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：KR1020040044292
申请日：2004-06-16
Abstract: 본 발명은 바닥면과, 상기 바닥면에 일 영역 도포된 오브젝트를 갖는 표면형상 측정방법에 있어서, 기준면을 결정하는 단계와; 상기 기준면으로부터 상기 기판의 표면까지의 제1 높이 데이터를 측정하는 단계와; 상기 바닥면 상에서 상기 오브젝트가 도포된 영역을 포함하는 관심 영역을 결정하는 단계와; 블롭 해석(Blob Analysis) 기법을 이용하여 상기 관심 영역 내에서 상기 오브젝트의 경계를 결정하는 단계와; 상기 제1 높이 데이터와, 결정된 상기 오브젝트의 경계에 기초하여 상기 기판의 표면 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 기판의 표면형상을 측정하는데 있어 기판의 실제 바닥면에 대한 데이터를 반영하여 기판의 실제 바닥면에 대한 기판의 표면형상, 특히 솔더 등의 오브젝트의 형상을 보다 정확하게 측정할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050100830A
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：KR1020040026014
申请日：2004-04-16
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 측정방법은 적어도 3 이상의 상호 상이한 파장의 광에 대해 위상 천이 간섭법을 이용하여 위상 데이터를 획득하는 단계와; 상기 위상 데이터를 분석하여 상기 박막의 두께 및 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 측정시간, 측정된 데이터의 량, 측정된 데이터를 분석하기 위한 데이터의 처리시간을 현저히 감소시켜, 실제 반도체 등의 제조 공정에 용이하게 적용할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101056926B1
公开(公告)日：2011-08-12
申请号：KR1020090014507
申请日：2009-02-20
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 Off-axis 방식의 이중 파장 디지털 홀로그래피를 이용한 3D 측정장치에 관한 것으로, 제1 촬상부 및 제2 촬상부와; 제1 선형 편광 빔을 방출하는 제1 광원부와; 상기 제1 선형 편광 빔의 편광 방향과 수직인 편광 방향을 가지며 상기 제1 선형 편광 빔과 상이한 파장의 제2 선형 편광 빔을 방출하는 제2 광원부와; 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부로부터 각각 입사되는 상기 제1 선형 편광 빔과 상기 제2 선형 편광 빔을 측정 빔 경로와 기준 빔 경로로 분할하여 출력하는 제1 빔 스플리터와; Off-axis 방식이 적용 가능하도록 상기 기준 빔 경로에 대해 기울어져 배치된 기준 미러와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 상기 기준 미러로부터 반사되도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔을 상기 기준 미러 방향으로 향하게 하는 제2 빔 스플리터와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 측정 대상물로부터 반사되도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔을 상기 측정 대상물 방향으로 향하게 하는 제3 빔 스플리터와; 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 각각 상기 기준 미러로부터 반사되어 형성된 제1 기준빔 및 제2 기준빔과, 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 각각 상기 측정 대상물로부터 반사되어 형성된 제1 측정빔 및 제2 측정빔을 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 방향으로 분할하여 출력하기 위한 제4 빔 스플리터와; 상기 제1 촬상부와 상기 제4 빔 스플리터 사이에 배치되며, 상기 제1 측정빔 및 상기 제1 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 제1 간섭빔이 통과되고 상기 제2 측정빔 및 상기 제2 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 제2 간섭빔의 통과가 차단 가능한 편광 상태로 정렬된 제1 선형 편광판과; 상기 제2 촬상부와 상기 제4 빔 스플리터 사이에 배치되며, 상기 제1 간섭빔의 통과가 차단되고 상기 제2 간섭빔이 통과 가능한 편광 상태로 정렬된 제2 선형 편광판과; 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부를 통해 촬상된 두 개의 홀로그램을 이용하여 상기 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用所述双波长数字全息的离轴方法，所述第一成像单元和所述第二图像拾取单元到一个三维测量设备; 第一光源部件，用于发射第一线偏振光束; 具有垂直于第一线性偏振光束的发射与一个不同的波长，并且所述第一线性偏振光束的第二线性偏振光束的偏振方向的偏振方向的第二光源; 和用于分离所述第一光源单元和输出所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，它们分别从所述第二光源至所述测量光束路径和参考光束路径入射到第一分束器; 参考反射镜相对于参考光束路径倾斜，从而可以应用离轴方法; 其中，所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，所述第一线性偏振光束，并从第一分束器发射的第二线性偏振光束被从第一分束器射出的参照反射镜反射 第二分束器，用于将光束引向参考反射镜; 第一线性偏振光束的成本和所述第二第一第一线偏振光束，并且使得线偏振光束是从所述第一分束器出射的被测物体反射的光从所述第一分束器发射的第二线性偏振光束 第三分束器，用于将光束引向测量对象; 第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，分别形成从参考反射镜被反射的第一参考光束和第二参考光束和所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，并且每个测量的 部分1和第二测量光束在测量光束从所形成的第一感测对象，并在图像拾取部分的第二方向上输出该除法的第四分束器反射的光; 第一被设置在成像单元之间，并且所述第二分束器，第一测量光束和一个第一干涉光束被传递和第二测量光束和由所述第一参考光束之间的干涉形成的第二参考光束 第一线性偏振器，布置成偏振状态，其中由第一偏振器和第二偏振器之间的干涉形成的第二干涉光束的通过被阻挡; 第二成像部分和所述第四被设置在分束器之间，所述干涉光束的第一道次被阻挡，并且第二干涉光束被对准以通过偏振状态可能的第二线性偏振片和; 以及控制单元，用于使用通过第一和第二成像单元捕获的两个全息图来测量测量对象的表面形状。
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公开(公告)号：KR1020100095302A
公开(公告)日：2010-08-30
申请号：KR1020090014507
申请日：2009-02-20
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A 3D measure system using a dual wave digital holography of an off-axis mode, which minimizes the structure of hardware is provided to increase a calculating speed in software by applying a single Fourier transform mode in each hologram. CONSTITUTION: A 3D measure system using a dual wave digital holography of an off-axis mode comprises a first photographing part(41), a second photographing part(42), a first optical source part(10), a second optical source part(20), a first beam splitter(31), a reference mirror(60), a second beam splitter(32), a third beam splitter(33), a fourth beam splitter(34), a first linear polarizer(51), a second linear polarizer(52) and a controller. The first optical source part emits the first linear polarized beam. The second optical source part emits the second linear polarized beam of the different wavelength and the first linear polarized beam. The second beam splitter faces the first linear polarized beam and the second linear polarized beam the reference mirror. The third beam splitter faces the first linear polarized beam and the second linear polarized beam the measurement object. The first linear polarizer is arranged between the first photographing part and fourth beam splitter.
Abstract translation: 目的：提供一种使用离轴模式的双波数字全息术的3D测量系统，其最小化硬件的结构，以通过在每个全息图中应用单个傅里叶变换模式来增加软件中的计算速度。 构成：使用离轴模式的双波数字全息术的3D测量系统包括第一拍摄部分（41），第二拍摄部分（42），第一光源部分（10），第二光源部分 第一分束器（31），参考反射镜（60），第二分束器（32），第三分束器（33），第四分束器（34），第一线性偏振器 第二线性偏振器（52）和控制器。 第一光源部分发射第一线性偏振光束。 第二光源部分发射不同波长的第二线偏振光束和第一线偏振光束。 第二分束器面对第一线性偏振光束和第二线性偏振光束参考反射镜。 第三分束器面对第一线偏振光束，第二线偏振光束面对测量对象。 第一线性偏振器布置在第一拍摄部分和第四分束器之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100955272B1
公开(公告)日：2010-04-30
申请号：KR1020090006789
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 측정대상물의 표면의 2D 이미지를 촬상하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 제1 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제1 광원과; 상기 제1 단색광과 상이한 색상의 제2 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제2 광원과; 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원으로부터 조사되어 상기 측정대상물의 표면으로부터 반사된 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광을 촬상하는 흑백 카메라와; 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광이 상기 측정대상물의 표면에 각각 조사되는 상태에서 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광에 각각 대응하는 제1 흑백 이미지 데이터 및 제2 흑백 이미지 데이터가 획득되도록 상기 제1 광원, 상기 제2 광원 및 상기 흑백 카메라를 제어하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터 및 상기 제2 흑백 이미지 데이터에 기초하여 제3 흑백 이미지 데이터를 산출하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터, 상기 제2 흑백 이미지 데이터 및 상기 제3 흑백 이미지 데이터를 상호 대응하는 픽셀에 대한 R,G,B 데이터로 처리하여 상기 측정대상물의 표면에 대한 합성 컬러 이미지를 생성하는 제어부를 포함하며, 상기 제1 단색광은 녹색광 및 청색광 중 어느 하나이고, 상기 제2 단색광은 적색광인 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 저비용의 흑백 카메라를 이용하여 컬러 2D 이미지를 획득 가능하게 되고, 컬러 카메라보다 처리 속도가 빠른 흑백 카메라를 이용함으로써 처리 속도 또한 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020090120383A
公开(公告)日：2009-11-24
申请号：KR1020080098020
申请日：2008-10-07
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: A surface profile measuring apparatus is provided to obtain a 2D(2-Dimensional) color image by using an inexpensive monochrome camera. CONSTITUTION: A surface profile measuring apparatus is composed of first, second, and third light sources(31,32,33), a monochrome camera(10), and a control unit(40). The first light source irradiates a first monochromatic light to the surface of an object(100). The second light source irradiates the first monochromatic light and a second monochromatic light having another color to the surface of the object. The third light source irradiates a third monochromatic light which is different from the first and second monochromatic lights to the surface of the object. The monochrome camera photographs the first, second, and third monochromatic lights reflected from the surface of the object. The control unit controls the first, second, and third light sources and the monochrome camera to obtain the first, second, and third black-and-white image data corresponded to the first, second, and third monochromatic lights. The control unit generates a color composite image about the surface of the object by processing the black-and-white image data as RGB(Red Green Blue) data about the corresponded pixel.
Abstract translation: 目的：提供一种表面轮廓测量装置，通过使用廉价的单色相机来获得2D（2维）彩色图像。 构成：表面轮廓测量装置由第一，第二和第三光源（31,32,33），单色相机（10）和控制单元（40）组成。 第一光源将第一单色光照射到物体（100）的表面。 第二光源将第一单色光和具有另一颜色的第二单色光照射到物体的表面。 第三光源将与第一和第二单色光不同的第三单色光照射到物体的表面。 单色相机拍摄从物体表面反射的第一，第二和第三单色光。 控制单元控制第一，第二和第三光源和单色相机，以获得对应于第一，第二和第三单色光的第一，第二和第三黑白图像数据。 控制单元通过处理黑白图像数据作为关于对应像素的RGB（红绿蓝）数据来生成关于对象表面的彩色合成图像。
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公开(公告)号：KR100681885B1
公开(公告)日：2007-02-12
申请号：KR1020040012372
申请日：2004-02-24
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 투영격자와 상기 투영격자를 통해 측정물에 광을 투영하는 광원을 갖는 영사장치와, 상기 측정물에 투영된 광에 의해 형성된 격자이미지를 결상하기 위한 결상장치를 갖는 모아레 시스템을 이용한 표면형상 측정방법에 있어서, 상기 결상장치로부터 상이한 이격거리를 갖는 복수의 표본 기준면에 대한 기준위상 데이터를 산출하는 단계와; 상기 결상장치와 상기 측정물에 대한 실제 기준면 간의 이격거리를 검출하는 단계와; 상기 모아레 시스템을 이용하여 상기 측정물의 표면에 대한 측정위상 데이터를 산출하는 단계와; 상기 기준위상 데이터들 중 검출된 상기 실제 기준면의 이격거리에 대응하는 기준위상 데이터와 상기 측정위상 데이터에 기초하여 상기 측정물의 표면형상에 대한 데이터를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 복수의 기준면에 대한 기준위상을 사용하여 보다 정밀한 표면형상 측정을 가능하게 하고, 모아레 시스템의 가격을 낮출 수 있다.
Abstract translation: 使用具有用于成像由具有用于通过投影光栅和投影光栅光投射到测量对象的光源的投射装置形成的网格图像的成像装置的莫尔系统的本发明的表面，所述光投射到测量对象 一种测量形状的方法，该方法包括：计算与成像设备距离不同的多个样本参考平面的参考相位数据; 检测图像形成设备和实际参考平面之间相对于被测物体的分离距离; 使用莫尔系统计算物体表面的测量相位数据; 基于所测量的相位数据计算与从参考相位数据检测到的实际参考平面的距离相对应的参考相位数据和关于测量对象的表面形状的数据。 由此，能够使用多个基准面的基准相位进行更正确的表面形状测定，能够降低莫尔条纹系统的价格。
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公开(公告)号：KR1020060083514A
公开(公告)日：2006-07-21
申请号：KR1020050004237
申请日：2005-01-17
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 두께 및 형상 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 두께 및 형상 측정 시스템은 광을 방출하는 광원과; 입사되는 광의 경로에 대한 수직 방향에 대해 소정 각도 기울어져 배치되는 기준 미러와; 상기 광원으로부터의 상기 광을 상기 측정부 및 상기 기준 미러로 분리 조사하는 광 분할부와, 상기 기준 미러와 상기 광 분할부 사이에 배치되어 소정의 간섭 파장 범위의 광을 투과하는 간섭 필터를 갖는 광 간섭모듈과; 상기 간섭 파장 범위를 포함하는 파장 분산 범위를 가지며, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광과 상기 기준 미러로부터 반사되는 광을 분광하는 분광부와; 상기 분광부에 의해 분광된 광이 결상되는 결상부와; 상기 결상부에 결상된 광의 파장 범위 중 상기 간섭 파장 범위를 제외한 파장 범위의 광에 기초하여 상기 측정 대상물의 두께에 대한 정보를 산출하고, 상기 산출된 두께에 대한 정보와 상기 결상부에 결상된 광 중 상기 간섭 파장 범위 내의 광에 기초하여 공간-캐리어 위상 측정법(Spatial-carrier phase measurement methods)에 따라 상기 측정 대상물의 형상에 대한 정보를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 두께 및 형상을 측정하는데 소요되는 시간을 감소시키면서도 제조 비용을 절감할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020090120394A
公开(公告)日：2009-11-24
申请号：KR1020090006789
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: A surface profile measuring device is provided to produce synthesis color image using black and white image data obtained form a monochrome camera. CONSTITUTION: A surface profile measuring device comprises a first light source(31), a second light source(32), a monochrome camera(10) and a controller(40) are included. The first light source emits a first monochrome light on the surface of an object(100) to be measured. The second light source emits a second monochrome light which is different from the first monochrome light on the surface of the object to be measured. The monochrome camera photographs the first and the second monochrome lights reflected from the surface of the object. The controller controls the first and the second light sources and the monochrome camera to obtain first black and white image data and second black and white image data.
Abstract translation: 目的：提供表面轮廓测量装置，以使用从单色相机获得的黑白图像数据产生合成彩色图像。 构成：包括第一光源（31），第二光源（32），单色照相机（10）和控制器（40）的表面轮廓测量装置。 第一光源在要测量的物体（100）的表面上发射第一单色光。 第二光源发射与被测量物体表面上的第一单色光不同的第二单色光。 单色相机拍摄从物体表面反射的第一个和第二个单色光。 控制器控制第一和第二光源和单色相机以获得第一黑白图像数据和第二黑白图像数据。
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