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公开(公告)号：KR1020100095775A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A camera aligning method for aligning two cameras applied to an optical system for 3D measurement is provided to remove in-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment occurring between two cameras with 6 degrees of freedom. CONSTITUTION: The first camera(51) photographs a hologram about a vertical polarizing element of interference light. The second camera(52) photographs a hologram about a horizontal polarizing element of the interference light. In-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment between the first and second cameras are aligned using a correlation technique for a pair of holograms.
Abstract translation: 目的：提供一种用于对准应用于三维测量光学系统的两台摄像机的摄像机对准方法，以消除在6个自由度的两台摄像机之间发生的平面内错误对准和平面外失准。 构成：第一台相机（51）拍摄一幅关于干涉光垂直偏振元件的全息图。 第二相机（52）拍摄关于干涉光的水平偏振元件的全息图。 使用一对全息图的相关技术来对齐第一和第二相机之间的平面内错误对准和平面外的未对准。
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公开(公告)号：KR1020100085595A
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An optical critical dimension metrology method and an apparatus using a spectral interferometry are provided to increase measuring speed while obtaining SE parameter through one single shot. CONSTITUTION: A first spectrometer(16) and a second spectrometer(17) are arranged. A light source(10) projects the white light. A polariscope(12) polarizes the white light from the light source to a TM polarizer and a direction of 45 degrees from the TM polarizer. A beam splitter(13) makes a polarized linear white light to a measurement object. An OCD interferometer(14) forms a light interference with a measured light reflected from the target and a reference light reflected from a reference mirror.
Abstract translation: 目的：提供光学关键尺寸测量方法和使用光谱干涉测量的装置，以通过一次拍摄获得SE参数来提高测量速度。 构成：布置第一光谱仪（16）和第二光谱仪（17）。 光源（10）投射白光。 偏振器（12）将来自光源的白光偏振到TM偏振器，并且与TM偏振器成45度的方向。 分束器（13）对测量对象产生偏振线性白光。 OCD干涉仪（14）与从目标反射的测量光和从参考反射镜反射的参考光形成光干涉。
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公开(公告)号：WO2017135641A1
公开(公告)日：2017-08-10
申请号：PCT/KR2017/000934
申请日：2017-01-26
Applicant: 전북대학교산학협력단
Inventor： 김대석
Abstract: 일체형 편광간섭계 및 이를 적용한 스냅샷 분광편광계가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 일체형 편광간섭계는, 입사되는 복합파를 분리하는 편광 빔 스플리터, 편광 빔 스플리터의 제1 면에 부착되어 편광 빔 스플리터를 투과한 제1 편광을 편광 빔 스플리터로 반사하는 제1 미러 및 편광 빔 스플리터의 제2 면에 부착되어 편광 빔 스플리터에서 반사된 제2 편광을 편광 빔 스플리터로 반사하는 제2 미러를 포함한다. 이에 의해, 일체형 편광간섭계를 이용하여 외부 진동 등에 의한 외란에 강인한 분광편광 현상 스냅샷 측정이 가능해져, 측정의 반복도와 정확도를 향상시킬 수 있게 된다.
Abstract translation: 提供了一种集成偏振干涉仪和一种使用其的快照光谱旋光仪。 根据本发明的一个实施例的集成偏振干涉仪，附接至偏振分束器，用于分离入射合成波为第一用于反射通过偏振分束器的偏振分束器传送的第一偏振光的偏振分束器的所述第一表面 1反射镜和附接到偏振分束器的第二表面的第二反射镜，以将由偏振分束器反射的第二偏振光反射到偏振分束器。 这使得可以使用集成的偏振干涉仪来测量抵抗由于外部振动等引起的干扰的光谱偏振现象快照，从而提高测量的重复性和准确性。
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公开(公告)号：KR1020140123335A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：KR1020130040570
申请日：2013-04-12
Applicant: 전북대학교산학협력단
CPC classification number: G03B21/53 , G03B21/142 , H04N9/3129 , H04N9/3141
Abstract: 빔 프로젝터 투사영상위치 자동조절장치가 개시된다. 개시된 빔 프로젝터 투사영상위치 자동조절장치는 본체; 상기 본체의 상부에 이격되게 설치되며, 빔 프로젝터를 고정하여 장착하는 프로젝터 장착부; 상기 본체와 상기 프로젝터 장착부 사이에 설치되어, 상기 프로젝터 장착부를 상기 본체에 대해 좌우회동 및 상하회동시키는 좌우/상하 틸팅모듈; 상기 프로젝터 장착부 일측에 설치되거나, 상기 프로젝터 장착부에 고정된 상기 빔 프로젝터의 일측에 설치되는 씨씨디 카메라; 및, 상기 좌우/상하 틸팅모듈 및 상기 씨씨디 카메라와 전기적으로 연결되며, 상기 씨씨디 카메라로부터 획득된 영상에서 스크린을 검색한 후, 상기 빔 프로젝터로부터 투사되는 투사영상이 상기 검색된 스크린에 중심에 위치하도록 상기 좌우/상하틸팅모듈을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 公开了一种用于自动调整光束投影仪的投影图像位置的装置。 该装置包括：身体; 投影仪安装单元，其安装成与所述主体的上部间隔开以固定和安装投影仪; 水平/垂直倾斜模块，安装在主体和投影仪安装单元之间，以基于主体水平和垂直地旋转投影仪安装单元; CCD摄像机，其安装在投影仪安装单元的一侧，或者安装在固定在投影仪安装单元上的光束投影仪的一侧; 以及控制单元，其电连接到水平/垂直倾斜模块和CCD相机，以搜索由CCD照相机获取的图像中的屏幕，然后控制水平/垂直倾斜模块，以便投影投影图像 从投影仪到位于搜索屏幕的中心。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101798957B1
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：KR1020160117279
申请日：2016-09-12
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 보드 오브 리전츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템
Abstract: 본발명에따른고속분광편광측정장치는, 광대역백색광을평행광으로변환시키고, 상기평행광의크기를조절하여측정물을향하여평행광을조사하는평행광모듈; 상기측정물을투과한평행광의광경로를빔 스플리터로직행경로와변조경로로나누고, 변조경로로나뉘어진평행광을편광자를통하여편광상태를변조시키고, 직행경로로의평행광과변조경로의평행광을수광하고듀얼스펙트럼감지모듈로조사하는편광변조모듈; 상기편광변조모듈로부터입사된평행광을빔 스플리터로분리하고, 분리된평행광을각각 s선형편광상태와 p선형편광상태로편광하고, 듀얼분광기로연결하여각각편광된평행광의간섭스펙트럼을스냅샷으로측정하는듀얼스펙트럼감지모듈; 상기듀얼스펙트럼감지모듈이측정한스냅샷의측정값을기초로하여분광정보를갖는스토크스벡터를계산하는컴퓨터장치; 를포함할수 있으며, 스냅샷방식으로측정함으로써기존발명과대비하여수십배 이상의고속측정이가능하여다이나믹한측정이필요한반도체나디스플레이생산공정인라인모니터링분야에큰 효과를가져올수 있다. 또한, 본발명의고속분광편광측정장치의구성을변형함으로써, 고속분광타원계측기및 고속분광반사계측기의구성도도출해낼수 있다.
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公开(公告)号：KR1020120114778A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：KR1020110032529
申请日：2011-04-08
Applicant: 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A 3D measuring device using coherent characteristics and a measuring method thereof are provided to obtain 3D images by using short-wavelength lasers or white lights depending on a size of an object and to acquire high quality images in short time regardless of the size of the object. CONSTITUTION: A 3D measuring device using coherent characteristics comprises a light source(100), a monochromatic filter(200), a beam splitter(300), a reference beam reflecting mirror(400), a measurement light reflecting mirror(500), and a photographing element(600). The monochromatic filter transmits lights of a constant wavelength from lights generated by the light source. The beam splitter divides the lights penetrated through the monochromatic filter into reference lights and measurement lights. The reference light reflecting mirror reflects the reference lights to the beam splitter. The measurement light reflecting mirror reflects the measurement lights to the beam splitter. The height of the measurement light reflecting mirror is adjusted. The photographing element obtains images by detecting the interference of the measurement lights and reference lights reflected to the beam splitter.
Abstract translation: 目的：提供使用相干特征的3D测量装置及其测量方法，以通过使用短波长激光器或白光取决于物体的尺寸来获得3D图像，并且在短时间内获得高质量图像，而不管其尺寸如何 物体。 构成：使用相干特征的3D测量装置包括光源（100），单色滤光器（200），分束器（300），参考光束反射镜（400），测量光反射镜（500）和 拍摄元件（600）。 单色滤光片从光源产生的光线透过恒定波长的光。 分束器将穿过单色滤光片的光线分成参考光和测量灯。 参考光反射镜将参考光反射到分束器。 测量光反射镜将测量光反射到分束器。 测量光反射镜的高度被调节。 拍摄元件通过检测测量光和反射到分束器的参考光的干涉来获得图像。
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公开(公告)号：KR102166527B1
公开(公告)日：2020-10-15
申请号：KR1020180172974
申请日：2018-12-28
Applicant: 연세대학교 산학협력단 , 전북대학교산학협력단
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公开(公告)号：KR1020170092803A
公开(公告)日：2017-08-14
申请号：KR1020160013928
申请日：2016-02-04
Applicant: 전북대학교산학협력단
Inventor： 김대석
Abstract: 일체형편광간섭계및 이를적용한스냅샷분광편광계가제공된다. 본발명의실시예에따른일체형편광간섭계는, 입사되는복합파를분리하는편광빔 스플리터, 편광빔 스플리터의제1 면에부착되어편광빔 스플리터를투과한제1 편광을편광빔 스플리터로반사하는제1 미러및 편광빔 스플리터의제2 면에부착되어편광빔 스플리터에서반사된제2 편광을편광빔 스플리터로반사하는제2 미러를포함한다. 이에의해, 일체형편광간섭계를이용하여외부진동등에의한외란에강인한분광편광현상스냅샷측정이가능해져, 측정의반복도와정확도를향상시킬수 있게된다.
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公开(公告)号：KR1020170031642A
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：KR1020160117279
申请日：2016-09-12
Applicant: 전북대학교산학협력단 , 보드 오브 리전츠, 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템
CPC classification number: G01J3/2889 , G01J2003/283 , G02B5/3033 , G02B27/283
Abstract: 본발명에따른고속분광편광측정장치는, 광대역백색광을평행광으로변환시키고, 상기평행광의크기를조절하여측정물을향하여평행광을조사하는평행광모듈; 상기측정물을투과한평행광의광경로를빔 스플리터로직행경로와변조경로로나누고, 변조경로로나뉘어진평행광을편광자를통하여편광상태를변조시키고, 직행경로로의평행광과변조경로의평행광을수광하고듀얼스펙트럼감지모듈로조사하는편광변조모듈; 상기편광변조모듈로부터입사된평행광을빔 스플리터로분리하고, 분리된평행광을각각 s선형편광상태와 p선형편광상태로편광하고, 듀얼분광기로연결하여각각편광된평행광의간섭스펙트럼을스냅샷으로측정하는듀얼스펙트럼감지모듈; 상기듀얼스펙트럼감지모듈이측정한스냅샷의측정값을기초로하여분광정보를갖는스토크스벡터를계산하는컴퓨터장치; 를포함할수 있으며, 스냅샷방식으로측정함으로써기존발명과대비하여수십배 이상의고속측정이가능하여다이나믹한측정이필요한반도체나디스플레이생산공정인라인모니터링분야에큰 효과를가져올수 있다. 또한, 본발명의고속분광편광측정장치의구성을변형함으로써, 고속분광타원계측기및 고속분광반사계측기의구성도도출해낼수 있다.
Abstract translation: 快速分光偏振计测装置，并转换成光平行于光学模块的并行宽带白光用于通过调整根据本发明的平行光的尺寸朝向照射测量对象的平行光; 该测量给出一个作为通过水传递到直线路径和调制路径到光束分离器平行光的光路，通过并行光偏振器由调制路径分为偏振状态和，平行调节为平行光，并且调制路径直线路径， 偏振调制模块，用于接收光并照射双频谱感测模块; 分离的平行光入射的偏振调制模块作为分束器，每个s直线偏振光透过的分开的平行光状态和对具有线性偏振状态，和偏振，通过连接一个双分光计镜头捕捉的各偏振平行光的干涉光谱 双频谱感测模块，用于测量电池的功率; 一种计算装置，用于基于由双频谱感测模块测量的快照的测量值来计算具有频谱信息的斯托克斯矢量; 它可以包括，并且通过测量的快照的方法可能导致在需要半导体或显示器制造过程中在线监控，一个快速测量是可能通过比现有发明的测量量值的动态几个数量级的较大的效果。 此外，通过修饰本发明的高速分光偏振测量装置的结构，它获得的高速椭圆偏振光谱仪和高速光谱反射计haenaelsu的结构图。
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