公开(公告)号：CN116547108A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202180076966.1

申请日：2021-10-19

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 堀聡子 ,  高田直毅 ,  岩田康弘 ,  黄善夏 ,  北川雄大 ,  片冈昌一

IPC: B24B27/06

Abstract: 本发明为实现能够利用刀片切断互相邻接的分割构件内的切断线被设定于互不相同的直线上的切断对象物，本发明的切断装置100将通过连结部W3连结多个分割构件W1、W2，并且互相邻接的分割构件W1、分割构件W2内的切断线CL1、切断线CL2被设定于互不相同的直线上的切断对象物W沿着切断线CL1、切断线CL2切断，且所述切断装置100包括：切断工作台2，吸附并保持切断对象物W；以及切断机构3，利用刀片31切断由切断工作台2保持的切断对象物W，且切断工作台2包括：第一工作台吸附部21，吸附互相邻接的分割构件W1、分割构件W2中的其中一分割构件W1；以及第二工作台吸附部22，独立于所述第一工作台吸附部21，吸附另一分割构件W2。

公开(公告)号：CN116868314A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202180093604.3

申请日：2021-12-23

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 深井元树 ,  堀聡子 ,  坂上雄哉 ,  山本裕子 ,  吉冈翔 ,  片冈昌一

IPC: H01L21/301

Abstract: 本发明是减少加工装置的占据面积的装置，包括：基板收容部111，收容密封完毕基板W；切断用工作台2A、切断用工作台2B，通过切断机构4加工密封完毕基板W；接收台115，自基板收容部111接收密封完毕基板W；台移动机构117，具有用以使接收台115移动至搬送位置的移动轨道117a；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至切断用工作台2A、切断用工作台2B而保持；以及搬送用移动机构7，具有用以使第一保持机构3在位于搬送位置的接收台115与切断用工作台2A、切断用工作台2B之间移动的传递轴71，传递轴71与移动轨道117a在平面视时相互正交。

公开(公告)号：CN116745042A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202180090166.5

申请日：2021-12-23

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 深井元树 ,  堀聡子 ,  坂上雄哉 ,  山本裕子 ,  吉冈翔 ,  片冈昌一

IPC: B08B3/02

Abstract: 本发明使装置结构简化并且减少占据面积，本发明包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，对保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W进行加工；移载台5，移动多个制品P；第二保持机构6，为了将多个制品P自加工台2A、加工台2B搬送至移载台5而保持多个制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及移载台5的排列方向延伸且用于使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；以及加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的X方向及与X方向正交的Y方向分别移动。

公开(公告)号：CN109216248A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810693909.8

申请日：2018-06-29

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 今井一郎 ,  堀聡子

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种用于对通过切断而单片化且排列有多个的单片化工件进行搬送的工件搬送装置、工件搬送法、电子零件的制造装置及制法。工件搬送装置包括：第1吸附装置，利用第1吸附面来统一吸附包含多个单片化工件的单片化工件群；以及第2吸附装置，具有面积比第1吸附面小的第2吸附面，并且利用第2吸附面来吸附第1吸附装置所吸附的单片化工件群的一部分。第1吸附装置具有多系统吸附回路，所述多系统吸附回路用于在第1吸附面的互不相同的区域进行吸附。