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公开(公告)号：CN116940442A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202180093623.6
申请日：2021-12-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B45/00
Abstract: 本发明简化具有刀片更换机构的加工装置的装置结构，并且减少占据面积，且本发明包括：切断用工作台2A、切断用工作台2B，通过切断机构4将密封完毕基板W进行加工；切断用移动机构8，使切断机构4在水平面上在相互正交的第一方向及第二方向移动；以及刀片更换机构24，更换切断机构4的刀片41A、刀片41B，切断用移动机构8具有：沿着第一方向夹持切断用工作台2A、切断用工作台2B而设置的一对第一导轨811；以及支撑体812，沿着一对第一导轨811移动并且对切断机构4以能够沿着第二方向移动的方式予以支撑，刀片更换机构24具有：第一吸附部241a，吸附刀片41A、刀片41B；以及臂移动机构242，使第一吸附部241a在第二方向移动。
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公开(公告)号：CN116507452A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202180076965.7
申请日：2021-10-19
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B27/06
Abstract: 本发明为实现能够利用刀片切断互相邻接的分割构件内的切断线被设定于互不相同的直线上的切断对象物，本发明的切断装置100将通过连结部W3连结多个分割构件W1、W2，并且互相邻接的分割构件W1、分割构件W2内的切断线CL1、切断线CL2被设定于互不相同的直线上的切断对象物W沿着切断线CL1、切断线CL2切断，且所述切断装置100包括：切断工作台2，吸附并保持切断对象物W；切断机构3，利用刀片31将切断对象物W切断；以及分割构件搬送部10，在连结部W3被切断机构3切断而分割构件W1、分割构件W2互相分离的状态下，自切断工作台2搬送互相邻接的分割构件W1、分割构件W2的其中一者。
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公开(公告)号：CN117616542A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202280048261.3
申请日：2022-03-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , B24B41/06 , B23Q3/08 , B23Q11/10 , B23Q11/08 , B23Q11/00 , B24B55/06 , B24B55/02 , B24B27/06 , B23Q7/04
Abstract: 本发明使装置结构简化并且减少占据面积，同时防止加工液的飞散，本发明包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，对保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W进行加工；移载台5，移动多个制品P；第二保持机构6，为了将多个制品P自加工台2A、加工台2B搬送至移载台5而保持多个制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及移载台5的排列方向延伸且用以使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的X方向及与X方向正交的Y方向上分别移动；加工液供给机构12，通过加工用移动机构8而与加工机构4一起移动，自加工进给方向SD的前侧向加工机构4喷射加工液；以及加工液飞散防止机构24，相对于加工机构4而设置于加工进给方向SD的后侧，并且自较加工台2A、加工台2B的上表面更靠下侧的位置覆盖上方，防止加工液的飞散。
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公开(公告)号：CN117178352A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202180093048.X
申请日：2021-12-24
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明是减少加工装置的占据面积的装置，且包括：加工机构4，对密封完毕基板W进行加工；分类机构20，将经加工的密封完毕基板W分类至托盘21a～托盘21c；以及托盘移动机构24，使托盘21a～托盘21c移动，托盘移动机构24具有载置托盘21a～托盘21c的三个以上的托盘载置部241a～241c，且构成为三个以上的托盘载置部241a～241c配置成一列，并且能够沿着所述一列的方向相互独立地移动至基于分类机构20的分类位置X1。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116963871A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202180095325.0
申请日：2021-09-29
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B41/06
Abstract: 本发明自动更换用以保持加工对象物的保持用板，包括：加工机构4，对密封完毕基板W进行加工；板收容部24，收容用以保持密封完毕基板W的保持用板M1；保持基部M2，可装卸地安装有保持用板M1，使用保持用板M1来保持密封完毕基板W；以及板搬送机构25，在板收容部24及保持基部M2之间搬送保持用板M1，板搬送机构25将自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24，并将位于板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2。
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公开(公告)号：CN116669901A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180077160.4
申请日：2021-10-19
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B27/06
Abstract: 本发明为实现能够利用刀片切断互相邻接的分割构件内的切断线被设定于互不相同的直线上的切断对象物，本发明的切断装置100将通过连结部W3连结多个分割构件W1、W2，并且互相邻接的分割构件W1、分割构件W2内的切断线CL1、切断线CL2被设定于互不相同的直线上的切断对象物W沿着切断线CL1、切断线CL2切断，且所述切断装置100包括：切断工作台2，吸附并保持切断对象物W；以及切断机构3，利用刀片31切断由切断工作台2保持的切断对象物W，且切断工作台2被分割为：第一工作台部2A，吸附并保持互相邻接的分割构件W1、分割构件W2中的其中一分割构件W1；以及第二工作台部2B，吸附并保持另一分割构件W2，第一工作台部2A以及第二工作台部2B以能够互相相对移动的方式构成。
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公开(公告)号：CN115052710A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202180013121.8
申请日：2021-01-20
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明不需要使加工工作台移动的移动机构且不需要波纹罩等保护罩，且包括：加工工作台2A、加工工作台2B，对加工对象物W加以保持；加工机构3，一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工；以及移动机构5，使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动，相对于至少固定于XY方向上的加工工作台2A、加工工作台2B而通过移动机构5移动的加工机构3对加工对象物W进行加工。
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公开(公告)号：CN115052710B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202180013121.8
申请日：2021-01-20
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种切断装置，不需要使加工工作台移动的移动机构且不需要波纹罩等保护罩，且包括：加工工作台(2A)、加工工作台(2B)，对加工对象物(W)加以保持；加工机构(3)，一面使用加工液一面利用旋转工具(30)对加工对象物(W)进行加工；以及移动机构(5)，使加工机构(3)至少分别在水平面上的XY方向上直线移动，相对于至少固定于XY方向上的加工工作台(2A)、加工工作台(2B)而通过移动机构(5)移动的加工机构(3)对加工对象物(W)进行加工。
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公开(公告)号：CN117581335A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202280044313.X
申请日：2022-03-08
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301
Abstract: 本发明简化装置结构，减少占据面积，并且使经单片化的加工对象物的收容空间小型化，且包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，将保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W切断而单片化；收容箱5，将通过加工机构4而单片化的密封完毕基板W落下并收容；第二保持机构6，为了将制品P自加工台2A、加工台2B搬送至收容箱5而保持制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及收容箱5的排列方向延伸且用以使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；以及加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上分别移动。
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