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公开(公告)号：CN108340528B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201810066096.X
申请日：2018-01-23
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种吐出装置、吐出方法、成形装置和成形品的制造方法。本发明缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间。作为吐出装置的点胶机(15)具备：针筒(20)，其为蓄积作为流动性树脂的液状树脂(32)的蓄积部；至少包含活塞(27)的机构，其为挤出液状树脂(32)的挤出机构；吐出部(17)，与针筒(20)连接，且吐出液状树脂(32)；管(36)，安装在吐出部(17)上，且可弹性变形；夹持器(18)，可夹持管(36)而移动；以及控制部(31)，控制夹持器(18)的移动量。
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公开(公告)号：CN110789042A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910644826.4
申请日：2019-07-17
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种树脂成形装置、成形模及树脂成形品的制造方法，着眼于树脂成形时基板的变形量，抑制由树脂成形引起的成形对象物的变形，所述树脂成形装置包括：第一模(2)，保持成形对象物(W1)的第一面(Wa)，具有与第一面(Wa)之间形成空间的凹部(2M)；第二模(3)，与第一模(2)相向地设置，具有容纳树脂材料(J)的模腔(3C)；气体供给部(6)，向凹部(2M)内供给气体；变形测量部(8)，测量与成形对象物(W1)的变形相关的信息；以及控制部(9)，基于变形测量部(8)的测量结果，控制由气体供给部(6)供给的气体量。
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公开(公告)号：CN110315663A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910230026.8
申请日：2019-03-26
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明是一种不会使喷嘴更换的作业性变差且使液状树脂的粘度降低的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法，树脂成形装置(1)将液状树脂(30)供给至喷出对象物(14)来进行树脂成形，且包括：喷嘴(29)，将液状树脂(30)喷出至喷出对象物(14)；加热部(31)，与喷嘴(29)接触而对喷嘴(29)进行加热；以及切换机构(34)，对喷嘴(29)及加热部(31)彼此接触的接触状态与喷嘴(29)及加热部(31)彼此分离的分离状态进行切换。
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公开(公告)号：CN108789988A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810048558.5
申请日：2018-01-18
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供树脂成型装置及树脂成型品的制造方法。目的在于抑制由树脂成型对象的定位引起的成型不良的产生。树脂成型装置包括：成型模，具有彼此相对配置的作为第一模的上模及作为第二模的下模；供给机构，用于向型面供给作为树脂成型对象的成型前基板；定位机构，用于将成型前基板定位到导向部件；合模机构，用于对成型模进行合模；发光元件，用于发出照射光；第一受光元件，被设置于供给机构且能够接收照射光；和判断部，用于对成型前基板的定位进行判断，在上模上设置有使来自发光元件的照射光通过的第一出射用通孔，判断部基于第一受光元件对通过第一出射用通孔的照射光的检测，判断成型前基板是否正常定位到导向部件。
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公开(公告)号：CN107553799A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201710351162.3
申请日：2017-05-18
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及验证被供给到成型模具的基板是否被正常定位的树脂成型装置及树脂成型品的制造方法。该装置包括：成型模具(24)，具有相互对置配置的第一模具(23)和第二模具(12)；基板供给机构(10)，将基板供给到第一模具(23)的模具表面；定位机构，对至少包括基板的定位对象物(5)进行定位；合模机构，对成型模具(24)进行合模；摄像机(11)，在成型模具(24)被开模的状态下，能配置在第一模具(23)与第二模具(12)之间；及处理器，根据由摄像机(11)拍摄的图像数据进行处理，第一模具(23)具有通过摄像机(11)的拍摄能识别的基准标记(29、30)，摄像机(11)拍摄定位后的对象物(5)与基准标记(29、30)，处理器根据由摄像机(11)拍摄的对象物(5)与基准标记(29、30)的图像数据，判断对象物(5)是否被正常定位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107234769A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201710130581.4
申请日：2017-03-07
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: B29C43/34 , B29C43/56 , B29C2043/3405 , B29C2043/561 , H01L21/56
Abstract: 本发明提供一种树脂成型装置、树脂成型方法及流动性材料的喷射装置。目的在于容易降低从多个喷射口喷射出的流动性树脂的喷射量偏差。树脂成型装置具备：成型模，在彼此相对配置的上模和下模中的至少一个模上设置有型腔；树脂喷射机构，为了向型腔供给流动性树脂而喷射流动性树脂；和合模机构，对成型模进行合模。树脂喷射机构包括：流道部件，具有在流动性树脂的流入口与喷射口之间分支的分支流道；旋转体，被配置在各个分支流道内且伴随流动性树脂的通过而能够旋转；和联动机构，用于使配置在分支流道内的各个旋转体联动旋转。由此，容易降低从多个喷射口喷射出的流动性树脂的喷射量偏差。
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公开(公告)号：CN104943194A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510106345.X
申请日：2015-03-11
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供树脂成形装置及树脂成形方法。在树脂成形装置中，通过将压缩空气供给至喷嘴而喷出液状树脂。在安装在分配器1前端的喷嘴6，设置树脂供给口14、树脂喷出口15及空气供给口16。树脂供给口14通过沿着水平方向延伸的树脂通路22a、及与树脂通路22a正交地沿着铅垂方向延伸的树脂通路22b而连接于树脂喷出口15。利用大于树脂推压力P0的压力P1，将压缩空气自压缩机7供给至空气供给口16，防止液状树脂2进入至空气供给口16。利用大于P1的压力P2，将压缩空气喷射至积存于树脂通路22b的液状树脂2，由此，自树脂喷出口15挤出残留于树脂通路22b的液状树脂2，从而将特定量的液状树脂2供给至模腔21。
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公开(公告)号：CN119381332A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202410834750.2
申请日：2024-06-26
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种保持构件、其应用及制造方法、半导体制造装置及方法，可在不损害保持构件的吸附力的情况下，在吸附解除后容易地取下保持对象物。一种保持构件(10)，形成有吸附并保持保持对象物(W)的吸附孔(10a)，所述保持构件(10)中，在利用吸附孔(10a)对保持对象物(W)进行保持的保持区域(10R)的表面形成有多个凹部(10c)，在保持区域(10R)中多个凹部(10c)以外的表面为粗糙化面(10d)。
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公开(公告)号：CN110271169B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201910136378.7
申请日：2019-02-25
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。根据本发明，即便在仅对成形对象物的单面进行树脂密封的情况下，也抑制成形对象物的变形量。树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模，对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置，且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部，树脂成形装置包括：气体供给部，对凹部内供给气体；气压测量部，进行与凹部内的气压相关的测量；以及控制部，基于气压测量部的测量结果来控制气体供给部的气体供给量，以降低成形对象物的第一面侧与第二面侧的压力差。
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公开(公告)号：CN112838014A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011185026.X
申请日：2020-10-29
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/56 , H01L23/31 , H01L23/495
Abstract: 本发明的课题是提供一种树脂成形后的引线框的制造方法，其中引线框的上表面不残留树脂。解决方法为本发明的树脂成形后的引线框的制造方法，其特征在于，包括树脂成形步骤，对具有沟部11e的引线框11进行树脂成形，所述树脂成形步骤包括：液态树脂注入步骤，从引线框11的侧面向沟部11e注入液态树脂20b；以及树脂固化步骤，使注入的液态树脂20b固化。
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