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公开(公告)号：JP2017004601A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2015113870
申请日：2015-06-04
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】ヒューズ素子のように一旦溶断された場合でも、別の電流経路が残り、ESD保護素子としても使用可能な電子デバイスを提供する。 【解決手段】第1の可溶導体1と第2の可溶導体2とを含み、該第1の可溶導体は、複数の可溶導体片1a、1b、1cを備え、各可溶導体片の先端部1pとは反対側の端部が第1の配線3aに接続されていることと、前記第2の可溶導体は、複数の可溶導体片2a、2b、2cを備え、各可溶導体片の先端部2pとは反対側の端部が第2の配線3bに接続されていることと、前記可溶導体片は、前記先端部と前記第1の配線あるいは第2の配線との接続部との間に、溶断部となる狭窄部4を備えていることと、前記第1の可溶導体の可溶導体片の前記先端部と前記第2の可溶導体の可溶導体片の前記先端部は、相互に離間して対向配置された自由端となっている。 【選択図】図1
Abstract translation: 甲即使是一次吹塑作为熔丝元件，剩余的交流路径，以提供可以用作ESD保护元件的电子设备。 包括第一熔导体1和2第二熔敷导体，所述第一可熔导体包括多个可熔导体片1a，1b和1c的，可熔导体 和相对的端部被连接到所述第一布线3a和前端部1P件，所述第二可熔导体包括多个可熔导体片2a，2b和2c，每一个 可熔导体片和相对的端部的前端部2P连接至第二布线3b中，友好溶导体片，前端部与第一布线或第二布线 溶于所述连接部之间，并且，它包括一收缩4，其是融合部，和可熔导体片的远端端部，所述第二可熔导体的第一熔敷导体和 导体片的前端部具有一个自由端设置成面向彼此分开。 点域1
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公开(公告)号：JP2015188946A
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：JP2014066082
申请日：2014-03-27
Applicant: 新日本無線株式会社
Inventor： 臼井 孝英
Abstract: 【課題】MEMS素子の感度を向上させながら、膜の破損を防止するMEMS素子の構造を提供する。 【解決手段】ダイヤフラム膜3の一部を区画するように取り囲む複数のスリット4を形成し、かつこのスリットで囲まれた複数の切片(可動切片)12を過大な圧力を受けたとき変形可能な形状にすることで、風圧などの過大な圧力が加わったときに可動切片12が変形し、風圧を通過させることにより、可動電極の破壊を防止することが可能となる。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种MEMS元件的结构，其可以在提高MEMS元件的灵敏度的同时防止膜破裂。解决方案：围绕隔膜3的一部分的多个狭缝4以分隔 它被形成，并且被狭缝包围的多个部分（可移动部分）12呈现出当受到过大压力时能够变形的形状。 因此，当受到诸如风压的过大压力时，可移动部分12变形，并且可以通过风压来防止活动电极的破坏。
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公开(公告)号：JP2020093347A
公开(公告)日：2020-06-18
申请号：JP2018233353
申请日：2018-12-13
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】追加工程を少なくしながら固定電極と可動電極の固着を防止する突起を形成できるMEMS素子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】犠牲層4aと、この犠牲層に接触するように積層した固定電極5と可動電極3のいずれか、あるいは両方とを加熱処理することで、犠牲層と接する固定電極と可動電極の表面に犠牲層を構成する物質と電極を構成する物質との化合物を成長させて突起とする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018137255A
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：JP2017028591
申请日：2017-02-20
Applicant: 新日本無線株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L23/522 , H01L21/3205
Abstract: 【課題】 簡便に貫通電極を製造することができる製造方法を提供する。 【解決手段】 基板からなる貫通電極を周囲の基板から絶縁する分離領域を形成する際、分離領域形成予定領域に複数の貫通孔を形成して熱酸化することで、貫通孔の内部を酸化物で充填するとともに、貫通電極間に残した基板の一部を絶縁化する。さらに貫通孔の端部に延長部を形成し、確実に貫通電極間に残した基板の一部絶縁化する。 【選択図】 図3
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018118356A
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：JP2017012679
申请日：2017-01-27
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】MEMS素子の破壊を防止するMEMS素子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】バックチャンバー11を備えたシリコン基板1と、シリコン基板上に第1のスペーサー12を挟んで固定電極8と可動電極6とを配置することでエアーギャップが形成されたMEMS素子において、シリコン基板と前記可動電極の間に第2のスペーサー13を備えバックチャンバーの側面端部14と第2のスペーサーとの間に段部を備えている。この段部は、シリコン基板の一部に形成された熱酸化膜2を除去することによりスムーズな形状となり、第2のスペーサーに突起が形成されることがなくなり、可動電極の破壊を防止する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2017212530A
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：JP2016103309
申请日：2016-05-24
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】MEMS素子の感度の向上に好適なMEMS素子を提供する。 【解決手段】支持基板1上に、外圧を受けて変位する可動電極膜3を配置し、可動電極膜は表面に少なくとも二つの電極5a,5bのいずれかに接続した複数の電極突起7を備え、可動電極膜の変位とともに各電極突起間の距離が変化し、距離の変化に応じて変化する二つの電極間の容量値から可動電極膜が受けた外圧の大きさを検知する。電極突起を同心円状に配置してもよい。また、電極と電極突起との間、および電極突起間を接続する配線を、相互に重ならないように配置してもよい。電極突起の表面を絶縁層2で被覆してもよい。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2017147545A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：JP2016026930
申请日：2016-02-16
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】MEMS素子の破壊を防止するとともに、感度の低下や変動を抑制することができるMEMS素子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】シリコン基板1と可動電極となるダイアフラム膜3の間に第2のスペーサー12が形成する。このスペーサーの端部の断面を逆テーパー形状に形成することにより、可動電極の破損あるいは可動電極が変形、変位することがなく、MEMS素子の感度の低下や変動を防止する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2017098838A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：JP2015230836
申请日：2015-11-26
Applicant: 新日本無線株式会社
Abstract: 【課題】小型化、製造の容易化、モノリシック加工等による低コスト化を図ることが可能となり、温度使用範囲も広くすることができるようにする。 【解決手段】シリコン第1基板(第1ウェーハ)16に可動電極18を形成し、シリコン第2基板(第2ウェーハ)17に固定電極19を形成し、この可動電極18と固定電極19との間に変換部の空間100を確保しかつこの両電極を平行に配置しながら、第1基板17と第2基板を接合することで、装置を製作する。また、信号処理回路22を変換部(18,19)と縦方向で並ぶ位置に配置し、この信号処理回路と変換部は配線層部21にて接続し、第2基板17には、バックチャンバー30、アコースティックポート31及び空気通路32をまとめて形成する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2015185748A
公开(公告)日：2015-10-22
申请号：JP2014061924
申请日：2014-03-25
Applicant: 新日本無線株式会社
Inventor： 臼井 孝英
IPC: H01L21/82
Abstract: 【課題】従来の切断方法とは異なる方法でヒューズ素子を切断することができるヒューズ素子およびヒューズ素子の切断方法を提供する。 【解決手段】所定の間隔のエアギャップ5を介して形成されたヒューズ線を構成する可動電極9,10と固定電極6と、それぞれに接続する電圧印加電極11と、先端が絶縁性で先端近傍が導電性の突起を備えた構造とする。電圧印加電極に所定の電圧を印加することで、クーロン力により可動電極と固定電極が接触し、空中放電によりヒューズ線が切断される。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够用与传统切割方法不同的方法切割的熔丝元件并提供其切割方法。熔丝元件具有如下结构：可动电极9,10和 构成通过预定间隔的气隙5形成的熔丝的固定电极6; 分别连接到电压施加电极11。 并且其顶端绝缘并且其尖端附近是导电的突起。 通过对电压施加电极施加预定的电压，可动电极和固定电极通过库仑力接触，并且熔断丝被大气放电切断。
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