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公开(公告)号：CN112514089A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201980048292.7
申请日：2019-07-18
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L41/257 , H01B5/14 , H01B13/00 , H01L41/193
Abstract: 透明导电性压电膜(2)的制造方法具有：第1工序，在该工序中，准备朝向厚度方向一侧依次具有透明导电层(3)和压电层(5)的透明导电性压电膜(2)；以及第2工序，在该工序中，使压电层(5)极化。在第2工序中，利用卷对卷方式输送透明导电性压电膜(2)，使第1极化辊(15)从压电层(5)的厚度方向一侧与该压电层(5)接触。
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公开(公告)号：CN109313285B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201780037625.7
申请日：2017-06-16
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明的防反射薄膜(100)在透明薄膜基材(1)的一个主表面具备包含折射率不同的多个薄膜(51、52、53、54)的防反射层(5)。防反射薄膜的透湿度为15～1000g/m2·24h。防反射层(5)的表面的压痕模量为20～100GPa，算术平均粗糙度Ra为3nm以下。防反射层的表面的算术平均粗糙度Ra优选为1.5nm以下。构成防反射层的薄膜通过例如溅射法而成膜。
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公开(公告)号：CN112301319A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202010743383.7
申请日：2020-07-29
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明提供层叠玻璃的制造装置和制造方法，输送成膜装置(10)具有：送出辊(21)，其构成为送出具有挠性的玻璃基材(1)；溅射装置(12)，其构成为在玻璃基材(1)设置透明导电层(2)来制作透明导电性玻璃(3)；冷却装置(13)，其构成为对透明导电性玻璃(3)进行冷却；卷取辊(41)，其构成为卷取透明导电性玻璃(3)。溅射装置(12)具有加热机(30)。冷却装置具有第1冷却辊(34)和第2冷却辊(35)，在对被加热机(30)加热后的透明导电性玻璃(3)进行冷却时，第1冷却辊(34)以第1冷却温度(T1)与透明导电性玻璃(3)接触，第2冷却辊(35)以比第1冷却温度(T1)低的第2冷却温度(T2)与透明导电性玻璃(3)接触。
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公开(公告)号：CN110033879A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910322990.3
申请日：2015-05-15
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 提供具有透明导电层的电阻率低且厚度薄这样的特性、并且耐裂纹性优异的透明导电性薄膜及其制造方法。本实施方式的透明导电性薄膜(1)具有高分子薄膜基材(2)和形成在高分子薄膜基材(2)的主表面(2a)上的透明导电层(3)。透明导电性薄膜(1)可以为长条状，且被卷绕成卷状。透明导电层(3)为包含铟锡复合氧化物的结晶质透明导电层，残余应力为600MPa以下，电阻率为1.1×10-4Ω·cm～3.0×10-4Ω·cm，厚度为15nm～40nm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105473756B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201580001616.3
申请日：2015-05-15
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: C23C14/58 , B32B7/02 , B32B9/00 , C23C14/08 , C23C14/086 , C23C14/35 , C23C14/5806 , H01B1/02 , H01B3/426 , H01B3/427 , H01L31/022466
Abstract: 提供能够飞跃性提高晶体转化处理后的透明导电层相对于晶体转化处理前的透明导电层的电特性、实现进一步的低电阻化的透明导电性薄膜。透明导电性薄膜(1)具备薄膜基材(2)和形成于该基材的一个主表面(2a)的结晶质透明导电层(3)。晶体转化处理前的非晶质透明导电层的载流子密度na×1019为(10～60)×1019/cm3、霍尔迁移率μa为10～25cm2/V·s，晶体转化处理后的结晶质透明导电层(3)的载流子密度nc×1019为(80～150)×1019/cm3、霍尔迁移率μc为20～40cm2/V·s，由{(nc‑na)2+(μc‑μa)2}1/2定义的移动距离L为50～150。
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公开(公告)号：CN106460153B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201580022929.7
申请日：2015-04-28
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明提供一种实现透明导电层的低电阻特性的透明导电性膜。本发明是具备高分子膜基材、和形成于所述高分子膜基材的至少一个面侧的透明导电层的透明导电膜，在所述高分子膜基材与所述透明导电层之间，具备利用真空成膜法形成的无机底涂层，所述透明导电层中的碳原子的存在原子量为3×1020原子/cm3以下。
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公开(公告)号：CN109313285A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780037625.7
申请日：2017-06-16
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明的防反射薄膜(100)在透明薄膜基材(1)的一个主表面具备包含折射率不同的多个薄膜(51、52、53、54)的防反射层(5)。防反射薄膜的透湿度为15～1000g/m2·24h。防反射层(5)的表面的压痕模量为20～100GPa，算术平均粗糙度Ra为3nm以下。防反射层的表面的算术平均粗糙度Ra优选为1.5nm以下。构成防反射层的薄膜通过例如溅射法而成膜。
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公开(公告)号：CN108684200A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201780008634.3
申请日：2017-01-27
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: B32B9/00 , C23C14/08 , H01L31/048 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/04 , Y02E10/50
Abstract: 提供具有优异的透湿性及阻气性、并且具有优异的耐化学药品性、透明性、弯曲性及耐热性的层叠薄膜。本发明的层叠薄膜依次具有：基材；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。1个实施方式中，第1氧化物层的厚度为10nm～100nm，第2氧化物层的厚度为10nm～100nm。1个实施方式中，层叠薄膜的透湿度为3.0×10-2g/m2/24hr以下、可见光的总透光率为84％以上。
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公开(公告)号：CN108602316A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780008740.1
申请日：2017-01-27
Applicant: 日东电工株式会社
CPC classification number: B32B9/00 , C23C14/08 , H01L31/049 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/04 , Y02E10/50
Abstract: 提供具有优异的透湿性及阻气性、优异的耐化学药品性、透明性及弯曲性，并且具有非常优异的耐热性的层叠薄膜。本发明的层叠薄膜依次具有：第1硬涂层；基材；第2硬涂层；包含ZnO、Al及SiO2的第1氧化物层；以及由SiO2构成的第2氧化物层。1个实施方式中，层叠薄膜在95℃下加热1000小时后的收缩率为0.5％以下、在95℃下加热1000小时后的透湿度为3.0×10-2g/m2/24hr以下。
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