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公开(公告)号:CN117796162A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202280053479.8
申请日:2022-07-29
Applicant: 株式会社力森诺科
Abstract: 本发明公开一种制造配线基板的方法,该方法依次包括:在设置于支撑体上的包含金属的种子层上形成抗蚀剂层的步骤;通过抗蚀剂层的曝光及显影,使抗蚀剂层形成包括供种子层露出的开口的图案的步骤;及在露出于开口内的所述种子层上通过电镀来形成镀铜层的步骤。种子层的与支撑体相反侧的表面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以上且0.30μm以下。
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