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公开(公告)号：CN102460865A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080028814.6
申请日：2010-05-26
Applicant: 株式会社理光
IPC: H01S5/183
CPC classification number: H01S5/0042 , B82Y20/00 , H01S5/0282 , H01S5/0425 , H01S5/18313 , H01S5/18333 , H01S5/18338 , H01S5/1835 , H01S5/18355 , H01S5/3202 , H01S5/3434 , H01S5/3436 , H01S5/423 , H01S2301/166 , H01S2301/176 , H04N1/024
Abstract: 制造表面发射激光器元件的方法，该表面发射激光器元件包括具有发射区域的发光台地结构，该台地结构包括具有高反射率部分和低反射率部分的发射区域，所述方法包括：在衬底上形成包括下部反射镜、腔结构和上部反射镜的层叠体；在层叠体的上表面上形成与第一区域相同尺寸的第二区域；通过蚀刻第一区域和第二区域分别形成发光台地结构和监视台地结构；在发光台地结构和监视台地结构中形成包括由氧化物围绕的电流通过区域的限制结构；以及测量监视台地结构的电流通过区域的尺寸。
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公开(公告)号：CN117063358A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202280019589.2
申请日：2022-02-08
Applicant: 株式会社理光
IPC: H01S5/042
Abstract: 本发明涉及一种面发光激光器阵列，其包括:基板(101)；设置在基板(101)上的子阵列，子阵列包括互相并联地电连接以通过基板(101)发射光的面发射激光器器件，面发射激光器器件中的每一个具有发光点并包括第一导电型的第一半导体层(102)；第二导电型的第二半导体层(107)，以及设置在第一半导体层(102)和第二半导体层(107)之间的谐振器(104)。互相相邻的子阵列包括电极来将子阵列之一所包含的表面发射激光器器件中的第一半导体层(102)与第二半导体层(107)电连接。
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公开(公告)号：CN102474073B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201180002926.9
申请日：2011-05-18
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: G03G15/04 , B41J2/442 , B41J2/471 , G02B26/10 , H01S5/18 , H01S5/18313 , H01S5/18355 , H01S5/18377 , H01S5/18391 , H01S5/18394 , H01S5/3202 , H01S5/423
Abstract: 一种表面发射激光器器件，包括设置在发射区域内并被构造成导致在发生区域内在周边部分的反射率不同于在中心部分的反射率的透明介电层。在表面发射激光器器件中，在发射区域中，接触层的厚度在具有相对高反射率的区域和具有相对低反射率的区域之间不同。接触层设置在上部多层膜反射镜的高折射率层上，并且在具有相对低反射率的区域内，高折射率层和接触层的总光学厚度偏离从发射区域发射的激光的四分之一振荡波长的奇数倍。
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公开(公告)号：CN101604819B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN200910145943.2
申请日：2009-06-11
Applicant: 株式会社理光
Abstract: 本发明公开了一种表面发射激光器元件、表面发射激光器阵列、光学扫描装置和成像设备。在表面发射激光器元件中，在倾斜的衬底上，包括有源层的谐振器结构体和夹住谐振器结构体的下半导体DBR和上半导体DBR堆叠。在上半导体DBR的氧化物限制结构中的电流通过区域的形状关于穿过电流通过区域的中心并平行于X轴的轴对称，并且关于穿过电流通过区域中心并平行于Y轴的轴对称，并且围绕电流通过区域的氧化层的厚度在+Y轴方向比在+X和-X方向大。光输出部分在X轴方向的开口宽度小于光输出部分在Y轴方向的另一开口宽度。
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公开(公告)号：CN101582562B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200910139045.6
申请日：2009-05-15
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: H01S5/1835 , B41J2/471 , B82Y20/00 , G02B26/12 , H01S5/18313 , H01S5/18355 , H01S5/18358 , H01S5/18394 , H01S5/3202 , H01S5/3406 , H01S5/423 , H01S2301/176 , H01S2301/185 , H01S2304/02 , H01S2304/04
Abstract: 本发明公开了一种表面发射激光器元件和阵列、光学扫描装置以及成像设备在表面发射激光器元件中，在衬底上，该衬底的主表面的法线方向是倾斜的，包括有源层的谐振器结构体和夹住谐振器结构体的下半导体DBR和上半导体DBR堆叠。在上半导体DBR的氧化物限制结构中的电流通过区域的形状关于通过电流通过区域的中心并平行于X轴的轴对称，并关于通过电流通过区域的中心并平行于Y轴的轴对称，电流通过区域的长度在Y轴方向大于在X轴方向。围绕电流通过区域的氧化层厚度在-Y方向大于在+X和-X方向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102324695A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110273300.3
申请日：2009-05-13
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: H01S5/18355 , G03G15/04072 , G03G15/0435 , G03G2215/0404 , H01S5/18311 , H01S5/3202 , H01S5/423
Abstract: 本发明公开了表面发射激光器、阵列、光学扫描装置和成像设备，其中所述表面发射激光器包括衬底和堆叠在衬底上的多层半导体层。衬底的主平面的法线相对于其中一个晶体取向 朝向其中一个晶体取向 倾斜。所述半导体层包括：谐振器结构，其包括有源层；和半导体多层镜，其堆叠在谐振器结构上。半导体多层镜包括限制结构，其中电流通过区域由包括至少氧化物的氧化区域围绕，该氧化物通过氧化包含铝的选择性氧化层的一部分产生。由氧化所致的应变场存在于至少氧化区域附近的一部分中。在应变场中，在第一轴方向的应变量不同于在第二轴方向的应变量。
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公开(公告)号：CN102224646A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN200980146798.8
申请日：2009-11-24
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: G03G15/04 , B82Y20/00 , G02B26/10 , H01S5/18 , H01S5/18311 , H01S5/18347 , H01S5/1835 , H01S5/18355 , H01S5/18358 , H01S5/18391 , H01S5/3202 , H01S5/3403 , H01S5/3436 , H01S5/423
Abstract: 本发明公开了一中表面发射激光器器件，其用以在垂直于衬底的方向上发射激光，包括围绕发射激光的发射表面上的发射区域的p侧电极；以及形成在发射区域的中心部分的外侧且在发射区域之内的外侧区域上以降低其反射率低于中心部分的透明介电膜。所述发射区域内的外侧区域在两个相互垂直的方向上具有形状各向异性。
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公开(公告)号：CN118613979A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202280089842.1
申请日：2022-12-14
Applicant: 株式会社理光
Abstract: 表面发射激光器包括:多个活性层；谐振器，包括在所述多个活性层之间的隧道结；多个反射器，在所述多个反射器之间夹着所述谐振器；以及电极对，与电源装置连接，电流通过所述电极对注入到所述多个活性层。所述表面发射激光器在所述电源装置经由所述电极对向所述多个活性层注入电流的电流注入期间，不振荡激光束；并且在电流注入期间之后的电流减小期间振荡激光束。在电流减小期间注入到所述多个活性层中的电流低于在所述电流注入期间注入到所述多个活性层中的电流。
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公开(公告)号：CN117795793A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280051974.5
申请日：2022-06-10
Applicant: 株式会社理光
Abstract: 一种表面发射激光器，包括:活性层；多个反射器，夹着所述活性层彼此相对；以及电极对，与电源装置连接，配置为将电流注入到所述活性层。所述表面发射激光器具有:电流注入期间，在该期间电流由电源装置注入，以不振荡激光束；以及所述电流注入期间之后的电流减小期间，在该期间注入到所述活性层中的电流的电流值低于在所述电流注入期间注入的电流的电流值，以振荡激光束。
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公开(公告)号：CN105934887A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201580005894.6
申请日：2015-01-26
Applicant: 株式会社理光
CPC classification number: H03L7/26 , G04F5/14 , H01L23/345 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01S5/005 , H01S5/02248 , H01S5/02453 , H01S5/183 , H05K1/028 , H05K1/0296 , H05K1/11 , H05K1/189 , H05K3/0052 , H05K2201/052 , H05K2201/055 , H05K2201/056 , H05K2201/09063 , H05K2201/10075 , H05K2201/10174 , H05K2201/2018 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 一种原子振荡器，包括气体隔室和多个部件。多个部件包括用于气体隔室的温度控制装置；发射激励光以激励封装在气体隔室中的原子的激励光源；用于激励光源的温度控制装置；以及检测穿过气体隔室的激励光的光接收元件。多个部件被安装在具有引线的绝缘膜上。
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