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公开(公告)号：CN101470357B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200810185297.8
申请日：2008-12-25
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种不需要复杂的结构就能够一边使粘着辊与转印辊接触一边对掩模表面和载物台表面或者工件表面同时进行除尘的曝光装置。对于各曝光部(2、4)内的清洁单元(12)，使粘着辊(57、57)突出并旋转自如地枢轴支承在分别与掩模(10)和载物台(8)对置的一侧。这两个粘着辊(57、57)的外周面和平行于该粘着辊地枢轴支承的大径转印辊(58)的外周面彼此接触。进而，Y-Z载物台(40)使粘着辊(57)与掩模(10)接触并对该掩模(10)的表面进行除尘，使粘着辊(57)与载物台(8)的上表面接触并对该载物台(8)的上表面进行除尘。另外，反转装置(9)使吸附基座(30)以旋转轴为中心进行旋转，吸附基座(30)越过水平方向停止在倾斜的位置，在利用清洁单元(13)对工件(W)的表面进行除尘之后，使所述吸附基座(30)朝向水平方向。
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公开(公告)号：CN101303957B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200810091516.6
申请日：2008-04-15
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01J61/073
Abstract: 本发明提供一种放电灯，以实现减小放电灯的阳极的温度上升，减少内管壁的黑化，防止密封管破损，增长使用寿命。放电灯利用内部导棒将对置的一对圆柱状的电极(阴极和阳极)保持在发光部内。在与内部导棒连接的连接部周边的阳极的背面设置深度大于孔径的凹部。此外形成从阳极的侧面通向凹部的贯通孔。侧面侧开口部比凹部侧开口部靠近放电侧。当将阳极的圆柱高度设为L1、将凹部的深度设为L2时，满足(L1/3)＜L2＜(2L1/3)。当将阳极的外径设为D1、将凹部内的内部导棒的最大外径设为D2、将凹部的最大直径设为D3时，满足(0.7×(D1-D2))＜D3＜(1.1×(D1-D2))。
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公开(公告)号：CN100516646C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200610126016.2
申请日：2006-08-30
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 屋木康彦
Abstract: 本发明提供灯及光源装置，其使作业者目视进行的安装作业容易，即使灯头座和灯头碰撞也可将冲击控制在最小限度内，可将灯简单可靠、圆周方向的位置再现性良好地安装在灯头座上。灯(1)可装卸地安装在灯头座(20)上。上述灯头座(20)具有与设置在灯(1)的灯头(4)上的缺口部(7)相卡合的凸起部(22)，还具有与上述灯的灯头保持部(9)相嵌合的保持部(24)。灯(1)包括与发光管两侧连接的密封管(3)、收容该密封管且在一端具有端面的圆筒状灯头(4)、以及与该灯头(4)的端面连接且形成为直径小于上述灯头的上述灯头保持部(9)，在该灯(1)中，上述缺口部(7)设置在从上述灯头的圆筒侧面(5)至端面(6)的位置上。
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公开(公告)号：CN100454146C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200610007356.3
申请日：2004-06-04
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 一种曝光装置，对基板与掩模进行校准，在将上述掩模密合于上述基板的状态下进行曝光，其中基板具有多个定位用的校准标记，掩模具有用来与上述校准标记对准位置的多个掩模标记并设有规定图案，曝光装置具有：以多个掩模标记为基础，求出掩模整个区域的对角线彼此交叉所得到的分配点MB的单元；以上述校准标记为基础，求出基板的整个区域的对角线彼此交叉所得到的分配点WB的单元；对掩模标记的分配点MB与校准标记的分配点WB进行比较的第一比较单元；根据第一比较单元的比较结果，判断上述校准标记的分配点WB相对于上述掩模标记的分配点MB是否在容许范围内的第一判断单元；在上述第一判断单元判断出在容许范围内时，将曝光光线照射于上述基板整体。
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公开(公告)号：CN101126502A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710139072.4
申请日：2007-07-24
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种光源装置，在读取灯数据并管理灯的使用状态和使用履历等的光源装置中，保护读取灯数据的读取装置免受热或电压损害。预先在灯的灯头上显示灯数据。在保持灯头的灯头座上设置灯数据的读取单元。在灯保持于灯头座上且未点亮的状态下，使读取单元移动到读取灯数据的位置。在点亮灯之前，使读取单元移动到退避位置，在该退避位置上设置有遮蔽灯点亮所产生的热等的遮蔽部。灯数据是制造年月日、制造商名、制造场所、制造生产线、灯类型、品种号、批号、识别号等灯的属性，以及额定电流、额定电压、冷却条件、在装置上的安装方向、使用限度时间等设定规格。灯数据的显示形式是可光学读取的条形码、二维码、字符、记号、符号、图形、图案等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101046282A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200610126016.2
申请日：2006-08-30
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 屋木康彦
Abstract: 本发明提供灯及光源装置，其使作业者目视进行的安装作业容易，即使灯头座和灯头碰撞也可将冲击控制在最小限度内，可将灯简单可靠、圆周方向的位置再现性良好地安装在灯头座上。灯(1)可装卸地安装在灯头座(20)上。上述灯头座(20)具有与设置在灯(1)的灯头(4)上的缺口部(7)相卡合的凸起部(22)，还具有与上述灯的灯头保持部(9)相嵌合的保持部(24)。灯(1)包括与发光管两侧连接的密封管(3)、收容该密封管且在一端具有端面的圆筒状灯头(4)、以及与该灯头(4)的端面连接且形成为直径小于上述灯头的上述灯头保持部(9)，在该灯(1)中，上述缺口部(7)设置在从上述灯头的圆筒侧面(5)至端面(6)的位置上。
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公开(公告)号：CN101515115A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910004324.1
申请日：2009-02-06
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20 , G02F1/1333 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种曝光装置的基板支撑机构，能够使透过了玻璃基板的光线不进行再反射而照向远离基板的方向，能够防止对图案进行多次曝光，从而形成高析像度的图案。配置于基台上并支撑玻璃基板的支撑柱(22)在其固定于基台(21)上的底部形成有凸缘(22a1)，并且包括：圆柱状的柱状部(22a)，其在上端形成有直径较细的细径部(22a2)；以及支撑部(22b)，其可沿上下方向调整地安装在该柱状部上，并支撑玻璃基板。支撑部由透明玻璃制的支撑体(22b1)和以覆盖该支撑体外周的方式设置的不透明的套筒(22b2)构成。支撑体的上端面形成有多个截面为V字状的槽(G)，由此形成多个棱锥台。此外，在支撑体的上端面和倾斜面上包覆有防反射膜。
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公开(公告)号：CN100485257C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200710139072.4
申请日：2007-07-24
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种光源装置，在读取灯数据并管理灯的使用状态和使用履历等的光源装置中，保护读取灯数据的读取装置免受热或电压损害。预先在灯的灯头上显示灯数据。在保持灯头的灯头座上设置灯数据的读取单元。在灯保持于灯头座上且未点亮的状态下，使读取单元移动到读取灯数据的位置。在点亮灯之前，使读取单元移动到退避位置，在该退避位置上设置有遮蔽灯点亮所产生的热等的遮蔽部。灯数据是制造年月日、制造商名、制造场所、制造生产线、灯类型、品种号、批号、识别号等灯的属性，以及额定电流、额定电压、冷却条件、在装置上的安装方向、使用限度时间等设定规格。灯数据的显示形式是可光学读取的条形码、二维码、字符、记号、符号、图形、图案等。
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公开(公告)号：CN101048027A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200610148626.2
申请日：2006-11-20
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明的课题是提供一种光源装置，该光源装置自动地判断安装在光源装置中的放电灯是否为适当的放电灯，如果是适当的放电灯，则管理放电灯的使用状态以及使用历史。作为解决手段，该光源装置具有：放电灯，其具有灯头(1)以及在该灯头(1)上显示与放电灯有关的灯/数据的灯/数据显示部(2)，该灯头(1)由用圆板状的抵接面(12)封闭了一端面的大直径的圆筒状的基部(11)以及贯通圆板状的抵接面的中央而同轴状地植入设置的小直径的突出部(13)构成；以及灯头座(3)，其保持该放电灯的灯头而进行通电，在灯头座(3)上设置了读取灯/数据显示部(2)的数据的读取装置。
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公开(公告)号：CN1818794A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200610007356.3
申请日：2004-06-04
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 一种曝光装置，对基板与掩模进行校准，在将上述掩模密合于上述基板的状态下进行曝光，其中基板具有多个定位用的校准标记，掩模具有用来与上述校准标记对准位置的多个掩模标记并设有规定图案，曝光装置具有：以多个掩模标记为基础，求出掩模整个区域的对角线彼此交叉所得到的分配点MB的单元；以上述校准标记为基础，求出基板的整个区域的对角线彼此交叉所得到的分配点WB的单元；对掩模标记的分配点MB与校准标记的分配点WB进行比较的第一比较单元；根据第一比较单元的比较结果，判断上述校准标记的分配点WB相对于上述掩模标记的分配点MB是否在容许范围内的第一判断单元；在上述第一判断单元判断出在容许范围内时，将曝光光线照射于上述基板整体。
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