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公开(公告)号:CN103359681A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201310099164.X
申请日:2013-03-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 传感器、用于制造传感器的方法和用于安装传感器的方法。本发明涉及一种传感器(100),其具有传感器面(102)和倾斜面(104)。在传感器面(102)上布置传感器元件(106),所述传感器元件(106)被构造为接收有向测量参数的方向分量。在倾斜面(104)上布置至少一个用于接触传感器元件(106)的接触面(108)。倾斜面(104)与传感器(100)的载体材料(400)的晶格结构具有一角度,其中倾斜面(104)被定向在与传感器面(102)不同的方向上。
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公开(公告)号:CN108303387B
公开(公告)日:2022-03-15
申请号:CN201810023301.4
申请日:2018-01-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于在考虑到光谱评估至少一个单个测量的情况下分析测量区域的方法,其包括如下步骤:•以电磁射束辐射测量区域的物体,•光谱测定地测量来自测量区域的射束,其中为了分析测量区域执行至少两个单个测量,•针对第一单个测量利用第一射束分布以电磁射束辐射物体并且通过光谱测定地测量来提供第一光谱测定的探测器信号,•针对第二单个测量利用与第一射束分布不同的第二射束分布以电磁射束辐射物体并且通过光谱测定地测量来提供第二光谱测定的探测器信号,•通过比较第一光谱测定的探测器信号和第二光谱测定的探测器信号获知比较值,比较值是针对存在直接反射的指示器,并且•为了光谱评估,根据比较值选出探测器信号,用以分析测量区域。
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公开(公告)号:CN103681836B
公开(公告)日:2018-11-16
申请号:CN201310427220.8
申请日:2013-09-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H01L29/778 , H01L29/06 , H01L21/335
CPC classification number: H01L29/7788 , H01L29/1608 , H01L29/2003 , H01L29/42372 , H01L29/66462 , H01L29/7789 , H01L29/7855 , H01L2924/1033
Abstract: 本发明实现了一种垂直的微电子元件以及相应的制造方法。该垂直的微电子元件包括半导体基(1;1’’’)以及大量在半导体基(1;1’’’)的正面(O)上形成的鳍状物(1a、1b)的结构,所述半导体基具有正面(O)和背面(R),所述鳍状物具有相应的侧壁(S)和相应的上侧(T)并且通过凹穴(G)相互分开。每个鳍状物(1a、1b)包括至少一个GaN/AlGaN‑异层区域(2a、2b)以及至少一个门接口区域(G1‑G4),所述GaN/AlGaN‑异层区域形成在侧壁(S)上并且具有嵌入的通道区域(K),该通道区域基本上平行于侧壁(S)延伸,所述门接口区域在GaN/AlGaN‑异层区域(2a、2b)上方与所属的凹穴(G)中的通道区域(K)电绝缘地布置在侧壁(S)上。共同的源接口区域(SL)布置在鳍状物(1a、1b)上方并且与鳍状物(1a、1b)上侧(T)附近的通道区域(K)的各个第一端部连接。共同的排出接口区域(DL)布置在背面(R)的上方并且与半导体基(1、1’’’)的正面(O)附近的通道区域(K)的各个第二端部连接。
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公开(公告)号:CN108344506A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201810067997.0
申请日:2018-01-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01J3/26 , G01J1/06 , G01J3/0229 , G01J3/0256 , G01J3/0262 , G01J3/0289 , G02B5/003 , G02B2207/123 , G01J3/00
Abstract: 本发明涉及限制光的入射角的器件,制造该器件的方法和显微光谱仪。本发明涉及一种用于限制光的入射角的器件(100),其中所述器件(100)在所述器件(100)的衬底(106)的第一侧面上具有横向于光的入射方向(108)来取向的第一光圈结构(102),而且在所述衬底(106)的与所述第一侧面对置的第二侧面上具有横向于所述入射方向(108)来取向的第二光圈结构(104),其中所述光圈结构(102、104)各具有光圈孔(114)的图案(110、112)。
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公开(公告)号:CN105050941B
公开(公告)日:2018-01-16
申请号:CN201480014120.5
申请日:2014-03-12
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00619 , B81C1/00412 , B81C2201/0177 , B81C2201/0188
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械元件的加工方法和相应的微机械元件。该加工方法包括步骤:制备一衬底(1),具有在结构部位(3a‑3e)露出的启动层(1c),其中所述结构部位(3a‑3e)具有顶面(O)和侧向的侧面(F),其中在顶面(O)上设有催化层(2),它适合于,促进形成结构的单晶启动层(1c)的外露顶面(O)的硅生长,并且在侧面(F)上没有催化层(2);并且在单晶启动层(1c)的顶面(O)上利用催化层(2)在反应气体氛围中执行选择性生长工艺,用于构成微机械的功能层(3’)。
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公开(公告)号:CN103723675B
公开(公告)日:2017-12-29
申请号:CN201310484562.3
申请日:2013-10-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00531 , B81B2201/0242 , B81C1/00595 , B81C1/00619 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , G01C19/5769
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法,所述制造方法具有下述步骤:在硅层(10)的现有的(110)‑表面定向的情况下,通过在所述硅层(10)的正面(12)上至少实施与晶体定向相关的蚀刻步骤从至少一个单晶的硅层(10)至少部分地结构化出至少一个结构(42、46),其中在硅层(10)的现有的(110)‑表面定向的情况下,在所述硅层(10)的正面(12)上额外地实施至少一个与晶体定向无关的蚀刻步骤以用于至少部分地结构化出至少一个结构(42、46)。此外,本发明还涉及一种微机械部件。
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公开(公告)号:CN104145476B
公开(公告)日:2017-12-22
申请号:CN201380012466.7
申请日:2013-01-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种传感器装置(1),其具有:红外传感器(2),所述红外传感器被设计用于检测红外辐射并且输出红外图像数据(4a);以及至少一个加速度传感器(3),所述加速度传感器被设计用于检测所述传感器装置(1)的瞬时加速度并且输出加速度数据(4b),其中如果所述传感器装置(1)的瞬时加速度超过可预先给定的阈值,那么所述红外图像数据(4a)从所述红外传感器(2)的输出被阻止。
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公开(公告)号:CN103723675A
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201310484562.3
申请日:2013-10-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00531 , B81B2201/0242 , B81C1/00595 , B81C1/00619 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , G01C19/5769
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法,所述制造方法具有下述步骤:在硅层(10)的现有的(110)-表面定向的情况下,通过在所述硅层(10)的正面(12)上至少实施与晶体定向相关的蚀刻步骤从至少一个单晶的硅层(10)至少部分地结构化出至少一个结构(42、46),其中在硅层(10)的现有的(110)-表面定向的情况下,在所述硅层(10)的正面(12)上额外地实施至少一个与晶体定向无关的蚀刻步骤以用于至少部分地结构化出至少一个结构(42、46)。此外,本发明还涉及一种微机械部件。
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公开(公告)号:CN111094918A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201880061180.0
申请日:2018-06-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种显微光谱仪模块(100),其由以下组成:光学谐振器(102),用于对光进行滤波;探测装置(104),用于探测被光学谐振器(102)透射的光;和聚焦元件(106)。光学谐振器(102)关于所要滤出的波长范围方面可调。探测装置(104)具有至少一个第一探测元件(108)和至少一个第二探测元件(110)。聚焦元件(106)成型用来使透射光的在第一入射角范围之内射入的光束偏转到第一探测元件(108)上并且使透射光的在第二入射角范围之内射入的光束偏转到第二探测元件(110)上。
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公开(公告)号:CN110031963A
公开(公告)日:2019-07-19
申请号:CN201910022738.0
申请日:2019-01-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明涉及用于运行可调的光学谐振器的方法和设备以及光学谐振器。本发明涉及一种用于运行可调的光学谐振器(100)的方法(300),其中光学谐振器具有:第一镜面元件(102);在镜面距离方面能相对于第一镜面元件移动地布置的第二镜面元件(104);被分配给第一镜面元件的第一电极(106);和被分配给第二镜面元件的第二电极(112)。第二电极与第一电极对置地来布置,其中通过向第一电极施加交变电位,第二镜面元件能偏移。在该方法中,首先将用于改变镜面距离的驱动交变电位与用于探测镜面距离的探测交变电位叠加,以便获得交变电位。量取附在第二电极上的电极电位。最后,在使用交变电位和电极电位的情况下产生表示镜面距离的距离信号。
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