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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102556936A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110443674.5
申请日：2011-12-27
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R23/00 , B81B2201/0257 , B81B2203/0118 , B81B2203/0315 , B81C1/00047 , B81C1/00936 , B81C2201/0109 , G01L9/0042 , H04R19/005 , H04R31/006
Abstract: 实施例示出了用于制造腔结构、半导体结构、用于半导体结构的腔结构的方法和使用该方法制造的半导体传声器。在一些实施例中，用于制造腔结构的方法包括：提供第一层；在第一层上沉积碳层；使用第二层至少部分地覆盖碳层以限定腔；借助于干法蚀刻去除第一和第二层之间的碳层，从而形成腔结构。
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公开(公告)号：CN107539942A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201710514304.3
申请日：2017-06-29
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及微机械结构和用于制造微机械结构的方法。根据各种实施例的微机械结构可包括：衬底；和功能结构，布置在衬底处；其中所述功能结构包括功能区域，所述功能区域可响应于作用于功能区域的力而相对于衬底偏转；以及其中功能区域的至少一部分具有处于从大约5 GPa到大约70 GPa的范围中的弹性模量。
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公开(公告)号：CN102556936B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201110443674.5
申请日：2011-12-27
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R23/00 , B81B2201/0257 , B81B2203/0118 , B81B2203/0315 , B81C1/00047 , B81C1/00936 , B81C2201/0109 , G01L9/0042 , H04R19/005 , H04R31/006
Abstract: 实施例示出了用于制造腔结构、半导体结构、用于半导体结构的腔结构的方法和使用该方法制造的半导体传声器。在一些实施例中，用于制造腔结构的方法包括：提供第一层；在第一层上沉积碳层；使用第二层至少部分地覆盖碳层以限定腔；借助于干法蚀刻去除第一和第二层之间的碳层，从而形成腔结构。
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公开(公告)号：CN105277492A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510321616.3
申请日：2015-06-12
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N21/31
CPC classification number: G02B6/102 , G01N21/552 , G01N21/59 , G01N21/7746 , G01N2021/7783 , G02B6/12007 , G02B6/29338
Abstract: 本发明涉及使用环形谐振器传感器的液体感测系统和方法。公开了一种具有多通道相互作用区的传感器系统。系统包括输入区、多通道区和输出区。输入区被配置成接收所发射的光。多通道区耦合到输入区并且被配置成根据接近多通道区的样品吸收所发射的光的部分。输出区耦合到多通道区并且被配置成提供来自多通道区的经相互作用的光。
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公开(公告)号：CN105277489A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510436353.0
申请日：2015-07-23
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N21/17
Abstract: 使用耦合结构的感测系统和方法。公开了一种具有耦合结构的传感器系统。该系统包括输入耦合结构、互作用区域以及输出耦合结构。该输入耦合结构被配置成以所选耦合效率接收发射光并可针对所选波长提供对发射光的滤波。互作用区域被耦合到输入耦合结构并被配置成使来自输入耦合结构的光与样品相互作用。输出耦合结构被耦合到互作用区域并被配置成从互作用区域向检测器提供相互作用的光。
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