静电容量检测型的可动传感器

    公开(公告)号:CN102084258B

    公开(公告)日:2012-08-08

    申请号:CN200980125605.0

    申请日:2009-07-02

    CPC classification number: G01P15/125 G01P15/08 H01L29/84

    Abstract: 本发明提供一种薄型且小型并能够高精度地检测可动部的移动量的可动传感器。第一可动部(2)和第二可动部(4)通过连结连杆部(10a)和支承连杆部(20a)连结,以如果第一可动部(2)接近固定部(50)则第二可动部(4)离开固定部(50)的方式进行动作。在固定部(50)上设有第一固定电极(51)和第二固定电极(52),在第一可动部(2)的表面(2a)上设置与第一固定电极(51)相对向的第一可动电极,在第二可动部(4)的表面(4a)上设置与第二固定电极(52)相对向的第二可动电极。由于第一可动部(2)和第二可动部(4)反向移动,因此通过求出第一固定电极(51)和第一可动电极之间的静电容量的变化、与第二固定电极(52)和第二可动电极之间的静电容量的变化之差,而能够检测第一可动部(2)的移动状态。

    输入装置及其制造方法
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102844730B

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201180018663.0

    申请日:2011-07-06

    CPC classification number: G06F3/044

    Abstract: 本发明提供输入装置及其制造方法。配线层具备:设置在与电极层的端部连接的连接位置的连接端部(23a~23e)、从所述连接端部引出的配线延伸部(24a~24e)。多个所述配线层的配线延伸部(24a~24e)分别以在从输入区域观察为相同侧的X1侧非输入区域(12a)沿X1-X2方向空开间隔的状态沿Y1-Y2方向延伸,并且各配线延伸部(24a~24e)的配线宽度形成为如下方式,即,在沿所述X1-X2并列设置的所述配线层的个数越少的区域,各配线延伸部(24a~24e)的配线宽度越大。

    物理量传感器
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102792170B

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201180012940.7

    申请日:2011-02-24

    Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备:基材,其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34);对置部(20),其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部,并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置;固定电极层(28),其形成在对置部的表面上;突起部(23),其表面为对可动部限位的限位面;固定支承部(22),其设置在对置部的表面上;接合部(26),其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出,在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28),突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。

    物理量传感器
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102449489B

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201080024182.6

    申请日:2010-05-18

    Abstract: 本发明的目的在于提供传感器灵敏度良好且耐粘附性良好的物理量传感器。物理量传感器具有:被固定支承的被定位部(5~7);沿高度方向变位的可动部(2);与被定位部和可动部连结成转动自如的支承部(3、4);用于检测可动部的变位的检测部。支承部(3、4)构成为具有:连结被定位部与可动部(2)间的第一连结臂(3a、4a);从被定位部向第一连结臂的反方向延伸且在支承部(3、4)转动而可动部(2)沿高度方向变位时向可动部(2)的变位方向的反方向变位的腿部(3b、4b)。在腿部(3b、4b)向可动部(2)的变位方向的反方向变位时,在腿部的前端部可抵接的位置设置有限动面,腿部的前端部与限动面抵接而抑制可动部(2)的变位。

    输入装置及其制造方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103324369A

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN201310118881.2

    申请日:2011-07-06

    CPC classification number: G06F3/044

    Abstract: 一种输入装置及其制造方法,配线层具备:设置在与电极层的端部连接的连接位置的连接端部和从连接端部引出的配线延伸部,配线层设有多个,各连接端部设为各配线层中配线宽度最大的区域,在平面内正交的两个方向被设为第一方向和第二方向时,多个配线层的配线延伸部分别以在从输入区域观察为相同侧的非输入区域沿第一方向空开间隔的状态沿第二方向延伸,存在多个配线区域,其中的各配线延伸部的向第二方向的配线长度不同,在第一方向上并列设置的配线延伸部的个数不同,各配线延伸部的配线宽度形成为如下方式,即,在各配线区域以相同的宽度尺寸形成,在第一方向上并列设置的配线延伸部的个数越少的配线区域,其配线宽度形成得越大。

    物理量传感器
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102449489A

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201080024182.6

    申请日:2010-05-18

    Abstract: 本发明的目的在于提供传感器灵敏度良好且耐粘附性良好的物理量传感器。物理量传感器具有:被固定支承的被定位部(5~7);沿高度方向变位的可动部(2);与被定位部和可动部连结成转动自如的支承部(3、4);用于检测可动部的变位的检测部。支承部(3、4)构成为具有:连结被定位部与可动部(2)间的第一连结臂(3a、4a);从被定位部向第一连结臂的反方向延伸且在支承部(3、4)转动而可动部(2)沿高度方向变位时向可动部(2)的变位方向的反方向变位的腿部(3b、4b)。在腿部(3b、4b)向可动部(2)的变位方向的反方向变位时,在腿部的前端部可抵接的位置设置有限动面,腿部的前端部与限动面抵接而抑制可动部(2)的变位。

    输入装置
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107636579A

    公开(公告)日:2018-01-26

    申请号:CN201680030769.5

    申请日:2016-05-16

    Abstract: 本发明提供一种输入装置,其能够不损害透光性以及导电性而使配线与基材一起弯曲,该输入装置具备:基材,其具有透光性以及挠性;多个第一电极部以及多个第二电极部,其具有透光性,且设置于基材上的检测区域;以及多个引出配线,其与多个第一电极部以及多个第二电极部分别导通,且从基材上的检测区域延伸至周边区域,在基材的周边区域设置有弯曲部,引出配线具有设置在弯曲部上的挠性层叠体,挠性层叠体具有设置在基材上的第一非晶ITO层、设置在第一非晶ITO层上的导电层、以及设置在导电层上的第二非晶ITO层。

    物理量传感器
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104280182A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201410305822.0

    申请日:2014-06-30

    CPC classification number: G01L9/0054 B81B3/0086 B81B2201/0264

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种探测精度优异的、利用压阻效应来探测物理量的物理量传感器。为此,本发明的物理量传感器(1)利用压阻效应来探测物理量,所述物理量传感器(1)的特征在于,具有:第1导电型的阱层(4),其形成在第1绝缘层(10)上;多个第2导电型的压阻层(2),其形成在第1导电型的阱层(4)的表面侧;和第2导电型的分离层(5),其在多个第2导电型的压阻层(2)之间,从第1导电型的阱层(4)的表面贯通至第1绝缘层(10)的表面。

    物理量传感器
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102770770B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201180011060.8

    申请日:2011-02-24

    CPC classification number: B81B3/0051 B81B2201/0235

    Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够提高重物部相对于对置部的耐碰撞性及防粘性的物理量传感器。该物理量传感器具备弹簧部(21)、与所述弹簧部(21)连结且被支承成沿高度方向可变位的重物部(20)、与所述重物部在高度方向上对置的对置部(22),在所述对置部(22)与所述重物部(20)之间配置高度不同的多个突起部(23、24),所述多个突起部(23、24)使得在所述重物部(20)朝向高度方向变位时,所述重物部(20)与所述对置部(21)之间能够阶段性地抵接,并且所述重物部与所述对置部之间还能够阶段性地分离。

    静电容量检测型的可动传感器

    公开(公告)号:CN102084258A

    公开(公告)日:2011-06-01

    申请号:CN200980125605.0

    申请日:2009-07-02

    CPC classification number: G01P15/125 G01P15/08 H01L29/84

    Abstract: 本发明提供一种薄型且小型并能够高精度地检测可动部的移动量的可动传感器。第一可动部(2)和第二可动部(4)通过连结连杆部(10a)和支承连杆部(20a)连结,以如果第一可动部(2)接近固定部(50)则第二可动部(4)离开固定部(50)的方式进行动作。在固定部(50)上设有第一固定电极(51)和第二固定电极(52),在第一可动部(2)的表面(2a)上设置与第一固定电极(51)相对向的第一可动电极,在第二可动部(4)的表面(4a)上设置与第二固定电极(52)相对向的第二可动电极。由于第一可动部(2)和第二可动部(4)反向移动,因此通过求出第一固定电极(51)和第一可动电极之间的静电容量的变化、与第二固定电极(52)和第二可动电极之间的静电容量的变化之差,而能够检测第一可动部(2)的移动状态。

Patent Agency Ranking