전자기력 구동 스캐닝 마이크로 미러 장치 제조방법

    公开(公告)号:KR101885422B1

    公开(公告)日:2018-08-06

    申请号:KR1020160054843

    申请日:2016-05-03

    Abstract: 전자기력구동스캐닝마이크로미러장치및 그제조방법이개시된다. 이는중앙부위에개방홀을가지는기판과, 개방홀에배치되어미러판을포함하고전자기력에의해미러판의반사각도의조절이가능하도록설치되는미러유닛과, 미러판의상부에상부공간을제공하도록기판의상면에배치되는상부캡부와, 미러판의하부에하부공간을제공하도록기판의하면에배치되는하부캡부를포함한다. 미러유닛의코일은수직형비아콘택요소를통하여외부접속패드와연결된다.

    마이크로 탐침 구조물 및 이의 제조방법
    13.
    发明公开
    마이크로 탐침 구조물 및 이의 제조방법 审中-实审
    微型探针尖端结构及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020160116238A

    公开(公告)日:2016-10-07

    申请号:KR1020150043275

    申请日:2015-03-27

    Abstract: 마이크로탐침구조물및 이의제조방법이개시된다. 이는두 번의 DRIE 공정및 RIE 공정을이용하여넓은간격을갖는마이크로탐침제작이가능하기때문에마스크패턴의간격및 크기의제한을받지않으며, 마이크로탐침간의간격에상관없이탐침의높이조절이가능함으로써, 적용하고자하는어플리케이션에맞게제작이가능하다.

    마이크로 팁 구조물 및 이의 제조방법
    14.
    发明授权
    마이크로 팁 구조물 및 이의 제조방법 有权
    微型尖端结构及其制造方法

    公开(公告)号:KR101376012B1

    公开(公告)日:2014-03-20

    申请号:KR1020110134485

    申请日:2011-12-14

    Abstract: 마이크로팁을가지는구조물및 이의제조방법이개시된다. 마이크로팁은기판의식각을통해형성되며, 상호간에동일한크기와형상을가진다. 또한, 마이크로팁은유전체기판상에형성되고, 유전체기판을관통하는도전성의비아플러그상에형성된다. 비아플러그상에형성된마이크로팁은그 상부에형성되는도전층에의해인접하는마이크로팁과전기적으로분리된다. 또한, 유전체기판을관통하는비아플러그를통해유전체기판의배면과전기적으로연결된다.

    마이크로 팁 구조물 및 이의 제조방법
    15.
    发明公开
    마이크로 팁 구조물 및 이의 제조방법 有权
    微型结构及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020130067681A

    公开(公告)日:2013-06-25

    申请号:KR1020110134485

    申请日:2011-12-14

    Abstract: PURPOSE: A microtip structure and a manufacturing method thereof are provided to reduce the number of processes by forming a structure on one substrate in a consistent process. CONSTITUTION: A microtip(150) is formed on a substrate. The microtip has a sharp shape. A conductive layer(200) is formed on the microtip. A protective film(210) is formed on the conductive layer. The conductive layer exposes the conductive layer.

    Abstract translation: 目的:提供微尖端结构及其制造方法,以通过在一个基板上以一致的工艺形成结构来减少工艺的数量。 构成:在基板上形成微尖端(150)。 微尖具有尖锐的形状。 导电层(200)形成在微尖端上。 在导电层上形成保护膜(210)。 导电层暴露导电层。

    광섬유 기반 LSPR 및 SERS신호의 동시 측정 센서 시스템
    16.
    发明公开
    광섬유 기반 LSPR 및 SERS신호의 동시 측정 센서 시스템 有权
    基于光纤的LSPR和SERS信号的同时测量传感器系统

    公开(公告)号:KR1020120035749A

    公开(公告)日:2012-04-16

    申请号:KR1020100097460

    申请日:2010-10-06

    Abstract: PURPOSE: A simultaneous measuring sensor system of LSPR(Localized Surface Plasmon Resonance) and SERS(Surface Enhanced Raman Scattering) signals based on optical fibers is provided to simultaneously measure a plurality of target materials with an easy method by using a plurality of optical fibers and forming different kinds of marking substances on each optical fiber. CONSTITUTION: A simultaneous measuring sensor system(100) of LSPR and SERS signals based on optical fibers comprises a sensor(110), a light source(120), an optical wave guide(130), an optical filter(140), and a measuring part(150). The sensor comprises one or more optical fibers(170,180,190) having metal nano particles(172,182,192) in the endmost portion. The light source supplies one colored incident light with respect to the sensor. The optical wave guide transmits lights between the sensor and light source. The optical filter receives output light emitted from the sensor, thereby reflecting some of the output light. The optical filter passes through the rest of the output light so that the output light is separated. The measuring part respectively collects the some part and the rest part of the separated output light.

    Abstract translation: 目的:提供基于光纤的LSPR(局部表面等离子体共振)和SERS(表面增强拉曼散射)信号的同时测量传感器系统,通过使用多根光纤以简单的方法同时测量多个目标材料, 在每根光纤上形成不同种类的标记物质。 构成:基于光纤的LSPR和SERS信号的同时测量传感器系统(100)包括传感器(110),光源(120),光波导(130),滤光器(140)和 测量部件(150)。 传感器包括在最末端部分中具有金属纳米颗粒(172,182,192)的一个或多个光纤(170,180,190)。 光源相对于传感器提供一个有色入射光。 光波导在传感器和光源之间传输光。 滤光器接收从传感器发射的输出光,从而反射出一些输出光。 滤光器通过剩余的输出光,使输出光分离。 测量部分分别收集分离的输出光的一部分和其余部分。

    미세유체 채널을 이용한 표면플라즈몬공명 센서 장치 및 센서 유닛 제조방법
    18.
    发明授权
    미세유체 채널을 이용한 표면플라즈몬공명 센서 장치 및 센서 유닛 제조방법 有权
    表面等离子体共振传感器装置和使用微流体通道制造传感器单元的方法

    公开(公告)号:KR101847745B1

    公开(公告)日:2018-04-12

    申请号:KR1020160168980

    申请日:2016-12-12

    CPC classification number: G01N21/554 B82Y15/00 G02B6/12007

    Abstract: 다중측정이가능한광섬유센서기반표면플라즈몬공명센서장치가개시된다. 이는몸체내부에형성되고복수개의용액주입구와하나이상의용액배출구를가지는하나이상의미세유체채널과외부로부터하나이상의미세유체채널과연결된하나이상이센서삽입홀을포함하는채널유닛과, 하나이상의센서삽입홀에각각삽입되는하나이상의광섬유기반국소화표면플라즈몬공명센서를포함한다. 센서각각은서로다른공명파장을가지는금속나노입자가결합될수 있고, 또한서로다른항체가금속나노입자에결합될수 있다.

    Abstract translation: 公开了一种能够进行多次测量的基于光纤传感器的表面等离子体共振传感器装置。 这是信道单元,形成在所述本体的至少一个传感器插入孔和包括多个溶液入口和至少一个微流体通道和一个异常传感器插入与来自外部的至少一个微流体通道的孔相关联的具有一个或多个溶液出口 以及一个或多个基于纤维的局部表面等离子体共振传感器,每个传感器都被插入。 每个传感器可以与具有不同共振波长的金属纳米颗粒组合,并且不同的抗体可以与金属纳米颗粒结合。

    마이크로 팁 전극체 및 이의 제조방법
    19.
    发明授权
    마이크로 팁 전극체 및 이의 제조방법 有权
    微尖电极及其形成方法

    公开(公告)号:KR101618923B1

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:KR1020130047997

    申请日:2013-04-30

    Abstract: 마이크로팁을이용한전극체및 이의제조방법이개시된다. 정렬된구조를가지는마이크로팁 상에는도전층및 보호막이형성되고, 마이크로팁의말단부의보호막의일부는제거되고도전층이나타난다. 기판상에는함몰부를가지는수용부가형성되며, 함몰부에는생체세포또는염료가충진된다. 생체세포는하나의단위별로함몰부에충진될수 있으며, 함몰부외곽의수용부표면에는제1 전극이형성된다. 마이크로팁 상에형성된도전층은제2 전극으로작용한다.

    미생물 연료전지 및 그 제조 방법
    20.
    发明公开
    미생물 연료전지 및 그 제조 방법 有权
    微型燃料电池及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020140129853A

    公开(公告)日:2014-11-07

    申请号:KR1020130048692

    申请日:2013-04-30

    CPC classification number: H01M8/16 Y02E60/527 Y02P70/56 H01M8/10

    Abstract: Provided are a multi-layered microbial fuel cell and a manufacturing method thereof and, specifically, the microbial fuel cell comprises: an oxidation chamber space; an oxidation electrode unit having an oxidation electrode installed inside of the oxidation chamber; a reduction chamber space where ion exchange is performed with the oxidation chamber space; and at least one reduction electrode unit having a reduction electrode installed inside of the reduction chamber. The oxidation electrode unit has a first membrane member having a groove to provide the oxidation chamber space, where ion permeation is possible and a second membrane member. and is formed with the first membrane member and the second membrane member.

    Abstract translation: 提供一种多层微生物燃料电池及其制造方法,具体而言,微生物燃料电池包括:氧化室空间; 氧化电极单元,其具有安装在所述氧化室内部的氧化电极; 与氧化室空间进行离子交换的还原室空间; 以及至少一个还原电极单元,其具有安装在所述还原室内部的还原电极。 氧化电极单元具有第一膜构件,其具有沟槽,以提供氧化室空间,其中可以进行离子渗透和第二膜构件。 并且形成有第一膜构件和第二膜构件。

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