公开(公告)号：KR1020050047134A

公开(公告)日：2005-05-19

申请号：KR1020057005918

申请日：2001-05-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 센자키시게루 ,  사사키도시키 ,  아오토다다시 ,  나가야마노부유키 ,  미츠하시고우지

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32458

Abstract: A processing device capable of being maintained easily and reducing a burden on a worker and a method of maintaining the processing device; the processing device, comprising an upper electrode unit (106) forming the ceiling part of a processing chamber (102) of an etching device (100) having a lower assembly (128) on the processing chamber (102) side including upper electrodes (130) and an upper assembly (126) on a power supply side including an electro-body (144); the method of maintaining the processing device, comprising the steps of releasing a lock mechanism (156), solely raising the upper assembly (126) by a lift mechanism (164) for removal, and performing the maintenance of the upper assembly (126) and/or the lower assembly (128), and then locking the lock mechanism (156), raising the upper and lower assemblies (126, 128) integrally with each other by the lift mechanism (164) for removal, and performing the maintenance of the internal parts in the processing chamber (102).

Abstract translation: 能够容易地维护并减轻对工人的负担的处理装置和维护处理装置的方法; 所述处理装置包括上部电极单元（106），其形成在处理室（102）侧上具有下部组件（128）的包括上部电极（130）的蚀刻装置（100）的处理室（102）的顶部 ）和包括电子体（144）的电源侧的上部组件（126）; 维护处理装置的方法包括以下步骤：释放锁定机构（156），通过用于移除的提升机构（164）单独提升上部组件（126），并执行上部组件（126）的维护和 /或下部组件（128），然后锁定锁定机构（156），通过提升机构（164）将上部和下部组件（126,128）彼此一体地提升以便移除，并执行维护 处理室（102）中的内部部件。

公开(公告)号：KR1020030013419A

公开(公告)日：2003-02-14

申请号：KR1020027015433

申请日：2001-05-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 센자키시게루 ,  사사키도시키 ,  아오토다다시 ,  나가야마노부유키 ,  미츠하시고우지

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32458

Abstract: 유지 보수를 용이하게 실행하여 작업자의 부담을 경감 가능한 처리 장치 및 그 유지 보수 방법을 제공한다. 에칭 장치(100)의 처리실(102)의 천정부를 구성하는 상부 전극 유닛(106)은 상부 전극(130)을 포함하는 처리실(102)측의 하부 조립체(128)와, 일렉트로-바디(144)를 포함하는 전력 공급측의 상부 조립체(128)로 구성된다. 로크 기구(156)를 해제하고, 승강 기구(164)에 의해 상부 조립체(126)를 단독으로 상승시켜 분리한 후, 상부 조립체(126) 및/또는 하부 조립체(128)의 유지 보수를 한다. 로크 기구(156)를 로크하여, 승강 기구(164)에 의해 상부 및 하부 조립체(126, 128)를 일체적으로 상승시켜 분리한 후, 처리실(102)내의 유지 보수를 실행한다.

Abstract translation: 提供一种能够容易地进行维护并且能够减轻作业者的负担的处理装置以及维护该装置的方法。 构成蚀刻装置100的处理室102的顶部的上部电极单元106由包括上部电极130的处理室102侧的下部组件128和包括电源侧的上部组件128构成 释放锁定机构156，并且在上部组件126被升降机构164独立地升起并移除之后，执行上部组件126和/或下部组件128的维护。 锁定机构156被锁定，并且在上部组件126和下部组件128通过提升机构164整体地升起和移除之后，执行处理室102的内部的维护。