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公开(公告)号：KR1019940019196A
公开(公告)日：1994-08-19
申请号：KR1019940000420
申请日：1994-01-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H05H1/18
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12.发明公开액정 디스플레이 기판의 제조방법, 그 제조 시스템, 반도체 결정 박막의 제조장치 및 반도체 결정의 평가방법 无效液晶显示基板的制造方法，其制造系统，半导体晶体薄膜的制造装置以及半导体晶体的评价方法
公开(公告)号：KR1019940012565A
公开(公告)日：1994-06-23
申请号：KR1019930024290
申请日：1993-11-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/66
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