公开(公告)号：KR2019980009657U

公开(公告)日：1998-04-30

申请号：KR2019960020766

申请日：1996-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 류재준 ,  김대열

IPC: H01L21/00

Abstract: 실험을목적으로클림룸내부에파티클을발생시키는반도체파트클발생기에관한것이다. 본고안은, 공기공급원에서공급되는공기가버블발생기를포함한제1라인과상기제1라인에서분기된제2라인으로공급되도록구성되고, 상기제1라인을통과한특정크기를가지는파티클을포함한에어솔상태의공기와상기제2라인을통과한공기가제3라인으로혼합방출되도록구성된반도체파트클발생기에있어서, 상기버블발생기전단에공기의양을제어및 확인하는제1수단이구성되고, 제2라인에도공기의양을제어및 확인하는제2수단이구성되며, 상기제3라인에는특정크기를가지는상기혼합방출공기의파티클수를카운트하는레이저파티클카운터가설치됨을특징으로한다. 따라서, 파티클의분석에정확성을기할수 있는효과가있다.

Abstract translation: 实验中用于生成室内部克林姆颗粒的较大部分的半导体发生器的目的。 本主题创新是由从空气供给源供给被供应到在第一行的第二行分支和包括气泡发生器的第一行的空气，含有具有特定大小通过第一行中的颗粒的空气 在半导体部分是大型发电机配置成穿过空气的唯一条件和第二线hangonggi释放与第三行中，用于控制的第一装置的混合，并确定空气向气泡发生器的量，前端和配置，所述第二 和用于控制空气在线的量，并确定所述结构的第二装置，所述第一特征在于，所述第三线被安装在激光粒子计数器进行计数的颗粒在排出空气混合物具有特定尺寸的数量。 因此，存在能够确保在颗粒的分析精确度的效果。

公开(公告)号：KR1019970004952A

公开(公告)日：1997-01-29

申请号：KR1019950019025

申请日：1995-06-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이중선 ,  김대열 ,  박은정

IPC: H04R1/00

Abstract: 본 발명은 클린룸용 스피커 설비에 관한 것이다. 스피커, 다수의 구멍이 뚫려 있으며 상기 스피커를 감싸고 있는 케이스및 상기 케이스 내에 구비되어 있는 입자 여과용 울파 필터용 여재를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스피커 설비에서는 오염 입자가 거의 발생되지 않기 때문에 그 사용 범위가 극히 제한되어 왔던 방송 시스템의 활용을 극대화할 수있을 뿐만 아니라, 작업 능률 향상을 위한 음악 방송 실시 또는 무선 호출 시스템의 사용도 가능하다.

公开(公告)号：KR1020000020065A

公开(公告)日：2000-04-15

申请号：KR1019980038490

申请日：1998-09-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오윤철 ,  신흥수 ,  박문수 ,  김대열

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A dust collector for air sampling of clean room is provided to realize the reliable and reproductive analysis by simultaneously sampling under same conditions. CONSTITUTION: A dust collector for air sampling of clean room comprises containers(30a,30b,30c) filled with solution and having exhaust pipes(40,42,44), gauges(48,50,52) connected to the exhaust pipes, pumps(54) for forcibly exhausting the air within the container, and controllers(56) controlling the operation of the pump. The pumps are mounted in the positions which the exhaust pipes are connected to each other. The controller has a timer for operating the pump for prescribed time to perform sampling.

Abstract translation: 目的：提供洁净室空气取样的集尘器，通过在相同条件下同时采样实现可靠和生殖分析。 构成：洁净室空气取样的集尘器包括填充有溶液的容器（30a，30b，30c），并具有连接到排气管的排气管（40,42,44），量规（48,50,52），泵 （54），用于强制地排出容器内的空气;以及控制器（56），控制泵的操作。 泵安装在排气管彼此连接的位置。 控制器具有定时器，用于在规定时间内操作泵进行采样。

公开(公告)号：KR1019990070671A

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：KR1019980005643

申请日：1998-02-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김호왕 ,  오윤철 ,  한윤수 ,  김대열

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체장치 제조용 응축핵 카운터에 관한 것이다.
본 발명은, 분석가스 및 응축용 케미컬이 공급되며, 상기 응축용 케미컬을 특정온도로 가열하는 포화기와 상기 포화기와 연결되고, 상기 포화기에서 가열된 응축용 케미컬을 응축시켜 상기 분석가스에 포함된 파티클의 크기를 성장시키는 냉각탑과 상기 냉각탑과 연결되고, 상기 분석가스에 포함된 특정크기 이상의 파티클의 개수를 측정하는 파티클 측정장치와 상기 파티클 측정장치와 연결되고, 상기 분석가스 및 응축된 응축용 케미컬을 외부로 펌핑하는 펌프가 구비되는 반도체장치 제조용 응축핵 카운터에 있어서, 상기 펌프 일측에 필터링수단이 더 구비되거나, 상기 펌프의 펌핑에 의해서 방출된 상기 분석가스 및 응축된 응축용 케미컬이 다시 상기 포화기로 순환할 수 있도록 순환라인이 형성되고, 상기 순환라인 상에 필터링수단이 설치되는 � ��에 특징이 있다.
따라서, 부탄올 등의 응축용 케미컬의 누출에 따른 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019990069178A

公开(公告)日：1999-09-06

申请号：KR1019980003256

申请日：1998-02-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박경호 ,  김대열 ,  임기환 ,  류재준

IPC: H01L21/02

Abstract: 타공판의 하부의 바퀴달린 각 다리의 중간에 진동을 완충하는 완충부를 구성하여 이동 중에 발생되는 진동이나 충격을 상부의 운반물에 전달하지 않고 소음을 방지하도록 개선시킨 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 관한 것으로서, 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 상기 다리 단부에 바퀴가 결합된 운반 장치의 다리는 상부 다리와 하부 다리로 이루어지고, 상부다리와 하부 다리의 사이에 상부 다리와 하부 다리를 결합하면서 완충력을 갖는 완충 수단이 설치되어서 이동 중 하부 다리에서 발생되는 진동이 완충 수단 상부로 전달되는 것을 차단하고, 그로써 소정 목적지로의 이동을 위하여 실리는 웨이퍼와 같은 운반물이 진동에 의하여 손상되는 것이 방지되고, 소음이 억제되어 공정환경이 안정됨으로써 수율 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100185055B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019960003626

申请日：1996-02-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김대열 ,  전재강

IPC: H01L21/00

Abstract: 청정실 내의 공기 흐름을 측정할 수 있는 기류 편각 장치는 센서들과 그 감지된 값을 변환하고 표시하는 장치만으로도 쉽게 편각을 감지할 수 있으며, 관찰자가 누구든지 상관없이 동일한 데이터를 얻을 수 있으며 기류의 이상적인 방향을 제시함으로써 데이터의 신뢰성을 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980069639A

公开(公告)日：1998-10-26

申请号：KR1019970006799

申请日：1997-02-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김대열 ,  김선영

IPC: H01L21/02

Abstract: 반도체장치 제조를 위한 크린룸의 천장에 설치되어 생산라인 내부를 조명하도록 하는 반도체 크린룸의 조명장치에 관한 것이다.
본 발명은 공기의 흐름이 하향 수직층류를 형성하는 크린룸의 필터 하측 소정 위치에 수직한 봉 형상으로 일정 간격을 두고 다수개 설치되는 지지대와, 상기 각각의 지지대의 하측 단부에 설치되어 상기 크린룸을 조명하는 램프를 포함하여 구성된 반도체 크린룸의 조명장치에 있어서, 상기 지지대의 하측 단부 주연 부위에 상기 램프에 의해 공급되는 광원을 하측 소정 범위로 유도 반사시키도록 하는 반사체가 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 램프의 상측으로 공급되는 광원을 유도 반사하는 반사체를 설치함으로써 생산라인 내부에 조사되는 광량을 증대시키고, 필터에 공급되는 광원을 차단함으로써 유동하는 공기층의 난류 현상을 줄이게 되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970051826A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950065738

申请日：1995-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이중선 ,  김대열 ,  안요한 ,  전재강

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 능동 구동형 에어 크린 롬 및 그 제어 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 에어 크린 룸의 바닥을 간편하게 변경하여 샤워 효율을 극대화할 수 있는 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법을 제공하는데 그 목적을 두고 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸은 에어 크린 룸의 바닥에 설치된 복수 개의 샤워 디스크에 작업자가 탑승하였는가의 여부를 감지하는 감지부와, 상기 감지부에 의해 감지된 신호에 따라 구동되는 구동부와, 상기 구동부에 의해 연동되는 샤워 디스크의 작동과 동시에 공기를 분사하는 분사부와, 상기 분사부의 작동에 의해 이탈된 파티클을 배출하는 복수 개의 배출공으로 구성됨을 특징으로 한다.
한편 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸의 제어 방법은 전동기의 회전수 및 그 작동 방법(수동/자동)을 제어부에 입력하는 제1입력 스텝과, 상기 제1입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 작동시키는 작동 스텝과, 상기 작동 스텝에 의해 구동되는 전동기의 작동 상태에 관한 자료를 검출하여 제어부에 입력시키는 제2입력 스텝과, 상기 제2입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 정지시키는 정지 스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020020073936A

公开(公告)日：2002-09-28

申请号：KR1020010013898

申请日：2001-03-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박문수 ,  김대열

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: An air shower is provided to install easily a shower head by separating a shower head from a door. CONSTITUTION: An air shower is installed on a ceiling(10) of a semiconductor process line. A hanger(20) is combined with the ceiling(10) by using a bolt. A main body(30) of the air shower is installed at a lower end portion of the hanger(20). The main body(30) of the air shower has a shower head for injecting strong air. An FFU(Fan-Filter Unit) is used as a driving source of the shower head. A door(40) is installed on an entrance side of a lower portion of the main body(30). The door(40) is separated from the main body(30) of the air shower by using a sliding method. The remaining sides except for the entrance side on which the door(40) is installed are isolated from the outside by using a flexible curtain.

Abstract translation: 目的：提供一个空气淋浴，通过将淋浴头与门分离，轻松安装淋浴头。 规定：在半导体工艺生产线的天花板（10）上安装一个空气淋浴。 衣架（20）通过使用螺栓与天花板（10）组合。 空气淋浴器的主体（30）安装在衣架（20）的下端部。 空气淋浴器的主体（30）具有喷射强力空气的喷头。 FFU（风扇过滤器）用作淋浴喷头的驱动源。 门（40）安装在主体（30）的下部的入口侧。 门（40）通过滑动方法与空气淋浴器的主体（30）分离。 除了安装门（40）的入口侧之外的其余侧面通过使用柔性帘幕与外部隔离。

公开(公告)号：KR1020010076635A

公开(公告)日：2001-08-16

申请号：KR1020000003894

申请日：2000-01-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김대열 ,  박문수

IPC: G01N1/00

Abstract: PURPOSE: A multiple sampling system of a chemical supply pipe is provided to analyze chemicals as DI water in plural chemical supply pipes, and to reduce the installation cost of an analyzer for chemical monitoring. CONSTITUTION: A multiple sampling system is composed of plural chemical supply pipes(10); diaphragm valves(21,22,23) installed on the chemical supply pipes for chemical sampling; solenoid valves(24,25,26) connected to the diaphragm valves to selectively supply the sample chemicals through the diaphragm valves; an analyzer analyzing the sample chemicals; a transmitting unit transferring the data from the analyzer; and a control unit outputting a control signal, a purge signal purging the chemicals in finishing the analysis, and an open signal for opening the solenoid valves to supply the sampling chemicals to the analyzer. The installation cost of the analyzing apparatus is reduced with analyzing the sampling chemicals in the supply pipes with one analyzer.

Abstract translation: 目的：提供化学品供应管道的多采样系统，以分析化学品作为多种化学品供应管道中的去离子水，并降低化学品监测分析仪的安装成本。 构成：多重采样系统由多个化学品供应管道（10）组成; 安装在化学品供给管上用于化学取样的隔膜阀（21,22,23） 连接到隔膜阀的电磁阀（24,25,26），以通过隔膜阀选择性地供应样品化学品; 分析样品化学品的分析仪; 传送单元，从分析器传送数据; 以及控制单元，其输出控制信号，净化分析中的化学物质的净化信号，以及用于打开电磁阀的打开信号，以将采样化学品供应到分析器。 使用一台分析仪分析供应管道中的采样化学品，从而降低了分析仪器的安装成本。