公开(公告)号：KR1020010086857A

公开(公告)日：2001-09-15

申请号：KR1020000010780

申请日：2000-03-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김혁기 ,  이옥선 ,  한윤수

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A wafer storage box is to prevent contamination of a wafer due to particles by reducing friction of a box material and a cassette material generated at a contact surface of the box and the cassette. CONSTITUTION: A wafer storage box(200) comprises a body(210) of plastic material and a low oscillating stub. The low oscillating stub consists of a central stub(230) and an outer stub(240) and is inserted into a hole(H) formed at a bottom surface(220) of the body and closely engaged with the bottom surface. The hole is formed to pass through the bottom surface of the body. A round projection is provided at a central stub to support a recess formed at a bottom surface of a cassette. The low oscillating stub is made of a friction resistant material and is engaged with the hole in an adhesive manner or in a non-adhesive manner. The stub is an insertion type stub or a welding adhesion type stub. The term of low oscillating means that when the cassette containing the wafer is mounted to the box or when the box is moved to a place at which a semiconductor process is accomplished, particles are rarely generated.

Abstract translation: 目的：晶圆储存盒是为了防止由于颗粒而导致的晶片污染，因为盒材料和在盒子和盒的接触表面产生的盒材料的摩擦减小。 构成：晶片存储盒（200）包括塑料材料的本体（210）和低振荡短截线。 低摆动短截线由中心短截线（230）和外短截线（240）组成，并插入形成在本体的底面（220）的孔（H），并与底面紧密接合。 孔形成为穿过身体的底表面。 圆形突起设置在中心短柱处以支撑形成在盒的底表面处的凹部。 低振荡短截线由耐摩擦材料制成，并以粘合方式或以非粘合方式与孔接合。 短截线为插入型短截线或焊接附着型短截线。 低振荡的术语意味着当将包含晶片的盒子安装到盒子上时或者当盒子移动到完成半导体工艺的地方时，很少会产生颗粒。

公开(公告)号：KR1019990001220A

公开(公告)日：1999-01-15

申请号：KR1019970024470

申请日：1997-06-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 황태진 ,  박문수 ,  이건형 ,  한윤수

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 클린 룸의 공기 필터 교체 장치에 관한 것으로서, 클린 룸 내의 공기를 공기 순환 장치에 의하여 순환되어 청정 공기로 여과시키는 공기 필터와, 상기 공기 필터 중 교체될 불량 필터 쪽의 필터 프레임 아래에 상기 불량 필터를 교체시킬 수 있도록 임시로 설치되는 가설 프레임과, 상기 가설 프레임과 필터 프레임 사이에 삽입되어 외부 공기의 유입을 차단시키도록 공기 주입에 따라 팽창하는 공기 튜브와, 상기 교체될 필터 및 가설 프레임 사이에 삽입 설치된 배출관과, 상기 배출관을 통하여 내부의 오입 입자들을 외부로 배출시킬 수 있도록 진공을 발생하는 진공 펌프를 구비하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 불량 필터를 교체할 때 별도의 진공 펌프를 이용하여 오염된 입자들을 국소적으로 제거함으로써 클린 룸 내부의 공기 순환을 정지시키지 않고도 필터를 교체할 수 있으므로 설비 가동률을 향상시킨다.

公开(公告)号：KR1019980013645A

公开(公告)日：1998-05-15

申请号：KR1019960032212

申请日：1996-08-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이건형 ,  한윤수

IPC: H01L21/30

Abstract: 매니폴드(Manifo1d)를 이용하여 여러 부분의 공기를 샘플링하여 파티클의 수량을 카운트 할 때 유입되는 공기의 양이 일정치 이하로 떨어져서 부정확한 데이터가 카운트되는 것을 개선시킨 반도체 클린룸의 에어로졸 매니폴드(Aoreso1 Manifo1d) 장치에 관한 것이다.
본 발명은 복수 개의 샘플 튜브가 매니폴드의 각각의 분배구에 연결되고,상기 매니폴드를 통하여 샘플링되는 공기가 제 1 스테핑 바를 통하여 파티클 카운트로 유입되도록 구성된 반도체 클린룸의 에어로졸 매니폴드 장치에 있어서, 상기 매니폴드의 상기 제 1 스테핑 바가 연결되지 않은 특정 분배구에 제 2 스테핑 바가 결합되고, 상기 제 2 스테핑 바는 유량계에 연결되며, 상기 유량계에서 상기 제 2 스테핑 바를 통하여 유입되는 공기의 유량이 일정치 이하로 체크되면 파티클 카운트가 상기 일정치 이하로 유량이 지속되는 동안 카운트를 중지하도록 구성된다.
따라서, 공기의 유입량에 대하여 자동적으로 카운트 동작이 조절되므로 카운트된 데이터에 대한 신뢰성이 극대화될 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020000015652A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019980035688

申请日：1998-08-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김혁기 ,  한윤수 ,  류재준 ,  안요한

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: The wafer box prevents the generation of a particle due to the wearing with a wafer cassette. CONSTITUTION: A wafer box(10) receives a wafer cassette(11) where a wafer is placed in. The wafer box has a support pin(15) formed in the top inner side to receive and to support the wafer cassette. The wafer box prevents the wearing with the wafer by forming the support pin with a wear-resistant material. The wear-resistant material is formed by mixing an original material with a sub material. The original material is selected among composite materials such as polybutyl terephthalate and polyetheretherketone, and the sub material is selected among carbon-fiber and carbon-powder.

Abstract translation: 目的：晶圆盒可防止因晶片盒磨损而产生颗粒。 构成：晶片盒（10）接收放置晶片的晶片盒（11）。晶片盒具有形成在顶部内侧的支撑销（15），用于接收和支撑晶片盒。 晶片盒通过用耐磨材料形成支撑销来防止与晶片的磨损。 耐磨材料通过将原材料与副材料混合而形成。 原材料选自聚对苯二甲酸丁二醇酯和聚醚醚酮等复合材料，子材料选自碳纤维和碳粉。

公开(公告)号：KR1019990070671A

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：KR1019980005643

申请日：1998-02-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김호왕 ,  오윤철 ,  한윤수 ,  김대열

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체장치 제조용 응축핵 카운터에 관한 것이다.
본 발명은, 분석가스 및 응축용 케미컬이 공급되며, 상기 응축용 케미컬을 특정온도로 가열하는 포화기와 상기 포화기와 연결되고, 상기 포화기에서 가열된 응축용 케미컬을 응축시켜 상기 분석가스에 포함된 파티클의 크기를 성장시키는 냉각탑과 상기 냉각탑과 연결되고, 상기 분석가스에 포함된 특정크기 이상의 파티클의 개수를 측정하는 파티클 측정장치와 상기 파티클 측정장치와 연결되고, 상기 분석가스 및 응축된 응축용 케미컬을 외부로 펌핑하는 펌프가 구비되는 반도체장치 제조용 응축핵 카운터에 있어서, 상기 펌프 일측에 필터링수단이 더 구비되거나, 상기 펌프의 펌핑에 의해서 방출된 상기 분석가스 및 응축된 응축용 케미컬이 다시 상기 포화기로 순환할 수 있도록 순환라인이 형성되고, 상기 순환라인 상에 필터링수단이 설치되는 � ��에 특징이 있다.
따라서, 부탄올 등의 응축용 케미컬의 누출에 따른 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980031829A

公开(公告)日：1998-07-25

申请号：KR1019960051391

申请日：1996-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이건형 ,  한윤수

IPC: A41D19/00

Abstract: 작업자가 반도체 청정실 내부로 입실하기 전에 비닐 장갑을 착용하기 전에 착용하는 방진 장갑에 관한 것이다.
본 발명은 폴리에스터 재질로 작업자의 손에 착용 가능하게 형성된 외피와, 상기 외피의 손목 부위에서 손가락 부위까지 연장되는 복수개의 카본사를 구비하여 이루어진 방진 장갑에 있어서, 상기 외피는 폴리에스터와 소정 양의 면 성분을 함유하여 제작된 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 면 성분을 함유하여 제작함에 따라 착용감 및 흡수성이 향상되고, 손가락 마디 부위를 절개한 형상에 의해 외면과 내면의 구분이 없게 되어 뒤집어 사용할 수 있으며, 작업자의 손가락 부위가 용이하게 움직일 수 있어 정밀 작업시 정확도가 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020020044371A

公开(公告)日：2002-06-15

申请号：KR1020000073426

申请日：2000-12-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김혁기 ,  한윤수 ,  황정성

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A method for purifying a front opening unified pod(FOUP) used for fabricating a semiconductor is provided to easily eliminate fine particles or moisture existing in the loading unit, by supplying inert gas to the loading unit and by purifying the loading unit while using the inert gas. CONSTITUTION: The FOUP(10) is loaded with a plurality of substrates(W). A side of the FOUP is open. Inert gas is supplied to the FOUP to purify the inside of the FOUP. The open side of the FOUP is sealed by using a door(140). The supply of the inert gas is stopped while the open side of the FOUP is sealed, and the inert gas is exhausted.

Abstract translation: 目的：提供一种用于净化用于制造半导体的前开口统一荚（FOUP）的方法，以便容易地消除存在于装载单元中的细小颗粒或水分，通过向装载单元供应惰性气体，并在使用时净化装载单元 惰性气体。 构成：FOUP（10）装载有多个基板（W）。 FOUP的一边是开放的。 惰性气体供给FOUP以净化FOUP的内部。 FOUP的开口侧通过使用门（140）被密封。 在FOUP的开放侧被密封的同时停止供给惰性气体，并且惰性气体被排出。

公开(公告)号：KR1020000019934A

公开(公告)日：2000-04-15

申请号：KR1019980038292

申请日：1998-09-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 류재준 ,  한윤수 ,  안요한 ,  임기환

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: PURPOSE: A monitoring system is made so that a scale of system hardware is increased only in quantity but a cable for installing a number of sensors is not increased when applying a number of sensors in the system by minimizing wire. CONSTITUTION: A monitoring system is applied using the fact that sensing signals of all kinds of sensors(S01-S0n,S11-S1n) can be supplied to a main controller(3) through a data buffer(4a,4b) only by connecting the sensors watching a process state of a facility with wire. The system can use the space of the facility effectively by removing wire connecting the sensors with the data buffer, by adding a function receiving a wireless data to the data buffer and transmitting the sensing signals of the sensors wirelessly by connecting a wireless data transmission unit(5,6) to the sensors which transmits the sensing signals of the sensors wirelessly after converting into wireless signals.

Abstract translation: 目的：进行监控系统，使系统硬件的规模只能在数量上增加，但是通过最小化电线来在系统中应用多个传感器时，不会增加安装多个传感器的电缆。 构成：使用以下事实来应用监控系统，只要通过连接数据缓冲器（4a，4b），可以通过数据缓冲器（4a，4b）将各种传感器（S01-S0n，S11-S1n）的感测信号提供给主控制器（3） 用传感器观察设备的过程状态。 通过将数据缓冲器与传感器连接，通过将数据接收无线数据的功能添加到数据缓冲器并通过连接无线数据传输单元（无线传输）来传输传感器的感测信号，系统可以有效地利用设备的空间， 5,6）传送到在转换成无线信号之后无线地传送传感器的感测信号的传感器。

公开(公告)号：KR100208703B1

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019960039406

申请日：1996-09-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이중선 ,  최재흥 ,  한상조 ,  한윤수

IPC: H01L21/02

Abstract: 반도체장치 제조를 위한 크린룸 내에 화재의 발생에 의한 산업재해를 조기에 조치할 수 있도록 하는 반도체 크린룸 시스템에 관한 것이다.
본 발명은 반도체 크린룸의 상측 부위에 설치된 필터를 통하여 정화된 공기가 하향 투입되어 바닥에 설치된 그레이팅 패드를 통하여 생산라인 외부로 배출 순환하게 되는 반도체 크린룸 시스템에 있어서, 화재감지장치가 상기 그레이팅 패드의 하측에 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 크린룸 내부를 순환하는 공기의 흐름을 이용하여 화재의 발생을 조기에 감지하게 되고, 열과 연기의 이동 경로를 따라 설치함에 따라 열감지 센서와 연기감지 센서의 설치수를 줄이는 경제적인 이점이 있다.

公开(公告)号：KR1019990039399A

公开(公告)日：1999-06-05

申请号：KR1019970059487

申请日：1997-11-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김혁기 ,  한윤수 ,  김현준 ,  김태규

IPC: A61F9/04

Abstract: 본 발명은 클린룸용 마스크에 관한 것이다.
본 발명에 따른 클린룸용 마스크는 상기 클린룸용 마스크를 착용했을 때 안면과 마스크 사이에 여유공간이 형성될 수 있도록 경직성을 갖는 지지부재를 포함하여 이루어진다.
상기 지지부재의 재료는 고분자화합물 또는 복합물 또는 형상기억물을 사용한다.
따라서, 상기 클린룸용 마스크의 안감이 안면에서 일정공간 떨어지게 되어 입에서 발생하는 입김에 의해 상기 클린룸용 마스크가 젖는 현상을 막아 상기 클린룸용 마스크의 성능저하와 착용감의 저하를 막는 효과가 있다.