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公开(公告)号：KR100885919B1
公开(公告)日：2009-02-26
申请号：KR1020070049324
申请日：2007-05-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205
CPC classification number: H01L21/67288 , G05B23/024
Abstract: 펌프 폴트 예측 장치 및 펌프 폴트 예측 방법을 개시한다. 본 발명의 펌프 폴트 예측 장치는 반도체 공정에 마련되는 챔버의 진공 상태를 형성하는 펌프; 상기 반도체 공정 및 상기 펌프에 관한 변수들의 데이터를 실시간으로 수집하는 정보 장치; 를 포함하며, 상기 정보 장치는 상기 데이터를 주성분 분석법으로 분석하여 상기 펌프의 특성 변화를 지배하는 주성분을 선택하며, 상기 선택된 주성분의 변화 추이를 대변하는 새로운 관리 변수를 생성하고, 상기 관리 변수를 실시간으로 모니터하여 상기 펌프의 폴트 발생을 미리 예측하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR100472415B1
公开(公告)日：2005-05-24
申请号：KR1019970067955
申请日：1997-12-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 본 발명은 청정공간에서 천공판넬을 이동시킬 때 파티클의 발생을 방지하고, 이동을 용이하게 하는 청정실의 천공판넬 이송용 픽커 및 픽커사용 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 청정실의 천공판넬 이송용 픽커는, 천공판넬을 이동하기 용이하도록 상기 판넬을 파지하는 청정실의 천공판넬 이송용 픽커에 있어서, 상기 천공구에 일단부가 삽입되는 막대와, 일단부가 상기 막대의 일단부에 접철이 가능하도록 힌지되며, 상기 천공구에 삽입되면 중력을 이용하여 펼쳐져서 상기 막대가 상기 천공구에 걸려 빠져나오지 않도록 하는 접철식 걸대 및 상기 걸대를 상기 막대방향으로 당기는 걸대접철수단을 포함하여 이루어지고, 본 발명의 천공판넬 이송용 픽커사용방법은, 상기 막대의 일단부를 상기 천공구에 삽입시켜서 상기 걸대가 중력에 의해 펼쳐지게 하고, 상기 판넬을 이동시킨 후 상기 레버를 당기어 상기 걸대를 접철하고, 상기 막대를 빼내는 단계들로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서, 판넬의 이동시 발생하는 파티클을 방지하여 웨이퍼의 수율을 증가시키고, 판넬의 파지를 용이하게 하는 효과를 갖는다.
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公开(公告)号：KR1020020080130A
公开(公告)日：2002-10-23
申请号：KR1020010019333
申请日：2001-04-11
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 임기환
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: PURPOSE: A wireless sensor system for monitoring a semiconductor clean room is provided to monitor a semiconductor clean room by using an analog/digital converter, an infrared communication method, and an RS-232 interface communication method. CONSTITUTION: A sensor portion(300) detects various states of a clean room such as temperature and humidity in order to monitor a clean room. An infrared transmission portion(100) receives sense data including the various states of the clean room such as temperature and humidity from the sensor portion(300). The infrared transmission portion(100) is formed with an analog/digital converter(102) for converting analog data of the sensor portion(300) to digital data and an infrared transmitter(103) for transmitting the digital data to an infrared receiver(201) of an infrared reception portion(200). The infrared receiver(201) transmits the digital data to an RS-232 converter(202). The RS-232 converter(202) transmits the digital data to a data acquisition portion(400). A digital data processing portion(401) of the data acquisition portion(400) analyzes the digital data and transmits the analyzed data to a server computer or a workstation computer. An analog signal processing portion(402) of the data acquisition portion(400) provides a voltage for driving the sensor portion(300) and the infrared transmission portion(100).
Abstract translation: 目的：提供一种用于监控半导体洁净室的无线传感器系统，通过使用模拟/数字转换器，红外通信方法和RS-232接口通信方法来监控半导体洁净室。 构成：传感器部分（300）检测洁净室的各种状态，例如温度和湿度，以便监视洁净室。 红外线传输部分（100）从传感器部分（300）接收包括洁净室的各种状态（例如温度和湿度）的感测数据。 红外线传输部分（100）由模拟/数字转换器（102）形成，用于将传感器部分（300）的模拟数据转换为数字数据，以及红外发射器（103），用于将数字数据传送到红外线接收器 ）的红外线接收部（200）。 红外线接收器（201）将数字数据发送到RS-232转换器（202）。 RS-232转换器（202）将数字数据发送到数据获取部分（400）。 数据获取部分（400）的数字数据处理部分（401）分析数字数据并将分析的数据发送到服务器计算机或工作站计算机。 数据采集部分（400）的模拟信号处理部分（402）提供用于驱动传感器部分（300）和红外线传输部分（100）的电压。
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公开(公告)号：KR1019990039685A
公开(公告)日：1999-06-05
申请号：KR1019970059854
申请日：1997-11-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 메인필터의 수명관리를 위하여 메인필터의 오염여부를 용이하게 확인할 수 있도록 하기 위하여 샘플링필터를 취부시킨 반도체 청정실용의 메인필터에 관한 것이다.
본 발명에 따른 샘플링필터가 취부된 반도체 청정실용의 메인필터는, 청정실의 천장에 취부되어 순환되는 프레시에어를 여과하는 메인필터(1)의 상단일측에 샘플링필터(4)를 착탈가능하게 취부시켜서 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 메인필터(1) 상에 취부되어 있는 샘플링필터(4)만을 분리하여 샘플링필터(4)의 오염정도를 확인하는 것만으로 그 직하방에 위치하는 메인필터(1)의 오염정도를 간접적으로 확인할 수 있게 되며, 메인필터(1)의 적절한 교체시기 등을 정하여 유지, 보수를 실시할 수 있도록 하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100252215B1
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019970017064
申请日：1997-05-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N1/24 , G01N1/26 , G01N2015/1486
Abstract: PURPOSE: A system for monitoring the condition of a clean room measurement apparatus and a monitoring method thereof are provided to perform on-line the monitoring for the measuring instruments arranged in the clean room by observing the errors of the measuring instruments with a local area network(LAN). CONSTITUTION: A host computer(20) is connected to a LAN node processor(24) via an interface(22), and performs a warning operation by comparing the signals transmitted from a plurality of sensors and particle counters(16, 18). The particle counter(16) applies the voltage signal in response to the counted result to a signal converter(30). The signal converter(30) converts the voltage signal into the electrical signal of RS-232-C standard to transmit the LAN node processor(24). The particle counter(16) comprises a pump(32) for pumping air or gas. A flow controller(34) detects the quantity of flow pumped by pump(32), and converts an electrical signal to transmit to a signal converter(36).
Abstract translation: 目的：提供一种用于监测洁净室测量装置的状况的系统及其监视方法，通过用局域网观察测量仪器的误差，对布置在洁净室中的测量仪器进行在线监测 （LAN）。 构成：主计算机（20）经由接口（22）连接到LAN节点处理器（24），并且通过比较从多个传感器和粒子计数器（16,18）发送的信号来执行警告操作。 粒子计数器（16）将计数结果响应于电压信号施加到信号转换器（30）。 信号转换器（30）将电压信号转换成RS-232-C标准的电信号，以传送LAN节点处理器（24）。 颗粒计数器（16）包括用于泵送空气或气体的泵（32）。 流量控制器（34）检测由泵（32）泵送的流量，并将电信号转换成信号转换器（36）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990069178A
公开(公告)日：1999-09-06
申请号：KR1019980003256
申请日：1998-02-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 타공판의 하부의 바퀴달린 각 다리의 중간에 진동을 완충하는 완충부를 구성하여 이동 중에 발생되는 진동이나 충격을 상부의 운반물에 전달하지 않고 소음을 방지하도록 개선시킨 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 관한 것으로서, 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 상기 다리 단부에 바퀴가 결합된 운반 장치의 다리는 상부 다리와 하부 다리로 이루어지고, 상부다리와 하부 다리의 사이에 상부 다리와 하부 다리를 결합하면서 완충력을 갖는 완충 수단이 설치되어서 이동 중 하부 다리에서 발생되는 진동이 완충 수단 상부로 전달되는 것을 차단하고, 그로써 소정 목적지로의 이동을 위하여 실리는 웨이퍼와 같은 운반물이 진동에 의하여 손상되는 것이 방지되고, 소음이 억제되어 공정환경이 안정됨으로써 수율 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020000019934A
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019980038292
申请日：1998-09-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: PURPOSE: A monitoring system is made so that a scale of system hardware is increased only in quantity but a cable for installing a number of sensors is not increased when applying a number of sensors in the system by minimizing wire. CONSTITUTION: A monitoring system is applied using the fact that sensing signals of all kinds of sensors(S01-S0n,S11-S1n) can be supplied to a main controller(3) through a data buffer(4a,4b) only by connecting the sensors watching a process state of a facility with wire. The system can use the space of the facility effectively by removing wire connecting the sensors with the data buffer, by adding a function receiving a wireless data to the data buffer and transmitting the sensing signals of the sensors wirelessly by connecting a wireless data transmission unit(5,6) to the sensors which transmits the sensing signals of the sensors wirelessly after converting into wireless signals.
Abstract translation: 目的：进行监控系统，使系统硬件的规模只能在数量上增加，但是通过最小化电线来在系统中应用多个传感器时，不会增加安装多个传感器的电缆。 构成：使用以下事实来应用监控系统，只要通过连接数据缓冲器（4a，4b），可以通过数据缓冲器（4a，4b）将各种传感器（S01-S0n，S11-S1n）的感测信号提供给主控制器（3） 用传感器观察设备的过程状态。 通过将数据缓冲器与传感器连接，通过将数据接收无线数据的功能添加到数据缓冲器并通过连接无线数据传输单元（无线传输）来传输传感器的感测信号，系统可以有效地利用设备的空间， 5,6）传送到在转换成无线信号之后无线地传送传感器的感测信号的传感器。
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公开(公告)号：KR100238945B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019970000383
申请日：1997-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: B01D46/0086 , B01D46/4254 , B01D2273/30 , Y10S55/34 , Y10S116/25
Abstract: 팬 필터 유니트의 구동여부를 육안으로 쉽게 확인할 수 있도록 하여 팬 필터 유니트에 대한 유지 관리가 용이하도록 한 반도체장치 제조용 클린룸의 팬 필터 유니트 구동 감시장치에 관한 것이다.
본 발명은 송풍용 팬(22) 및 구동모터(23)와, 공기를 정화시키는 필터(24)를 구비하고, 클린룸의 천정에 다수개 설치되는 반도체장치 제조용 클린룸의 팬 필터 유니트에 있어서, 상기 필터로 흐르는 공기의 흐름방향과, 상기 흐름공기와의 마찰에 의해 발생하는 정전기의 흡인력에 따라 육안으로 확인되는 구동정지위치와 육안으로 확인되지 않는 정상구동위치로 전환되는 정전감응센서(30)를 필터의 하부에 설치하여 구성된 것이다.
따라서 팬 필터 유니트의 구동여부를 작업자가 현장에서 직접 육안으로 확인하는 것이 가능하게 됨으로써 불량을 신속하게 발견하고 조치할 수 있는 것이고, 이로써 항상 클린룸의 고청정도가 유지 및 관리됨으로써 클린룸 내에서의 오염에 의한 불량율이 감소되어 수율이 향상되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019980082259A
公开(公告)日：1998-12-05
申请号：KR1019970017064
申请日：1997-05-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 반도체장치의 제조공정이 수행되는 클린룸 내부의 파티클 카운터와 같은 계측장치로부터 계측상태에 대한 신호가 근거리 통신망(Local Area Network)을 통하여 호스트컴퓨터로 전송됨으로써 계측장치의 동작상태가 온라인으로 실시간 감시하는 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법에 관한 것으로서, 파티클 카운터와 같은 클린룸에 설치된 계측기기의 계측 결과와 계측기기의 정확한 계측수행을 위한 펌핑 상태 또는 광의 세기와 같은 상태에 대한 정보를 온라인으로 원거리에 위치한 호스트 컴퓨터에 전송하고, 호스트 컴퓨터에 인스톨된 자기진단기능을 수행하기 위한 소프트웨어를 이용하여 계측기기의 상태를 정확히 체크하도록 구성되어 있다.
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公开(公告)号：KR1019980065414A
公开(公告)日：1998-10-15
申请号：KR1019970000383
申请日：1997-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 팬 필터 유니트의 구동여부를 육안으로 쉽게 확인할 수 있도록 하여 팬 필터 유니트에 대한 유지 관리가 용이하도록 한 반도체장치 제조용 클린룸의 팬 필터 유니트 구동 감시장치에 관한 것이다.
본 발명은 송풍용 팬(22) 및 구동모터(23)와, 공기를 정화시키는 필터(24)를 구비하고, 클린룸의 천정에 다수개 설치되는 반도체장치 제조용 클린룸의 팬 필터 유니트에 있어서, 상기 필터로 흐르는 공기의 흐름방향과, 상기 흐름공기와의 마찰에 의해 발생하는 정전기의 흡인력에 따라 육안으로 확인되는 구동정지위치와 육안으로 확인되지 않는 정상구동위치로 전환되는 정전감응센서(30)를 필터의 하부에 설치하여 구성된 것이다.
따라서 팬 필터 유니트의 구동여부를 작업자가 현장에서 직접 육안으로 확인하는 것이 가능하게 됨으로써 불량을 신속하게 발견하고 조치할 수 있는 것이고, 이로써 항상 클린룸의 고청정도가 유지 및 관리됨으로써 클린룸 내에서의 오염에 의한 불량율이 감소되어 수율이 향상되는 효과가 있다.
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