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公开(公告)号：KR100237827B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019960063877
申请日：1996-12-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 수조(Bath) 내부에 초순수(Deionized Water)가 일정량 이상 수용된 상태에서만 초음파 세정이 수행되어 설비의 손상을 방지하고 수조의 구조를 개선시킨 반도체제조설비의 초음파 세정장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 진동자를 진동시켜서 초음파를 발생시킴으로써 수조에 수용되는 초순수에 담기는 반도체제조설비의 부품에 붙은 이물질을 세정하는 반도체제조설비의 초음파 세정장치에 있어서, 상기 수조에 수용되는 초순수의 양을 센싱하는 레벨센싱수단 및 상기 레벨센싱수단에서 상기 초순수의 수용량을 소정 양 이상으로 센싱하면 상기 부품을 세정하기 위한 상기 진동자의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하여 이루어진다.
따라서, 수조 내에 순수가 수용되지 않은 상태에서의 초음파 발생이 방지되어 설비의 손상이 예방되므로 수명이 연장되는 효과가 있으며, 수조의 구조 개선으로 세정작업이 원활하게 이루어지며, 초순수를 가열시켜서 초음파 세정이 이루어져서 세정효율이 극대화되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019990069080A
公开(公告)日：1999-09-06
申请号：KR1019980003106
申请日：1998-02-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F04B37/08
Abstract: 본 발명은, 크라이오펌프를 일정 주기로 재생할 때 재생의 효율을 높일 수 있는 크라이오펌프 시스템 및 이를 이용한 크라이오펌프 재생방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 크라이오펌프 시스템은, 콤프레서부와 펌프부를 구비하여 이루어지며, 상기 펌프부는 냉매가스를 팽창시키는 팽창기, 상기 팽창기에 접촉되어 냉각되는 크라이오 어레이, 상기 팽창기 및 크라이오 어레이를 감싸며 공간을 형성하는 펌프몸체를 구비하는 크라이오펌프 시스템에 있어서, 상기 펌프몸체에 설치되며, 재생시에 상기 펌프몸체를 가열시키는 히터 및 상기 히터의 온도를 제어하는 제어부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하고, 본 발명의 크라이오펌프 재생방법은, 크라이오펌프를 재생하는 단계에서, 콤프레서부에서 제공된 고압의 냉매가스를 팽창시키는 팽창기 및 상기 팽창기에 접촉되어 냉각되는 크라이오 어레이를 감싸는 펌프몸체를 히터로 직접가열하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 펌프몸체를 직접 가열하여 재생시간을 줄이고 펌프몸체에 고정되어 있던 물질들을 보다 용이하고 완전하게 배출시킬 수 있다는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019990025129A
公开(公告)日：1999-04-06
申请号：KR1019970046633
申请日：1997-09-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 렌즈부로의 열전달을 방지하고, 위치조절이 자유로운 조명장치와, 전자식으로 조절되는 웨이퍼 육안검사기를 설치하여 웨이퍼의 정밀검사를 가능하게 하여 검사의 자동화를 이룰 수 있게 하는 반도체 웨이퍼 검사 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 검사 시스템은, 위치이동이 자유롭고 웨이퍼에 특정파장의 빛을 조사하도록 하는 조명장치와, 카셋트에 적재된 웨이퍼를 개별이송하여 상기 조명장치에서 조사되는 빛의 조사각도를 조절하도록 웨이퍼의 경사를 조절하고, 회전시키는 웨이퍼 육안검사기 및 상기 웨이퍼 육안검사기로부터 웨이퍼를 인계받아 정밀검사하는 현미경을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서 웨이퍼 반사각도의 조절을 전자장치로 정밀하게 조절하여 미숙련자도 쉽고, 정확하게 웨이퍼 오염을 발견할 수 있으며, 조명장치의 위치조절 및 광량의 조절이 자유롭고, 발열부의 영향이 없어 미세알갱이에 의한 웨이퍼불량을 방지하며, 웨이퍼의 이송을 자동화하여 취급부주의로 인한 웨이퍼 손실을 방지하게 하는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR1019990011933A
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：KR1019970035188
申请日：1997-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 위치가 변동되는 설비와 설비 사이에 수축, 이완, 틀어짐 또는 비틀림 등의 변형이 가능하게 설치되어 각종 유체가 정상적으로 유동할 수 있도록 통로를 이루는 반도체장치 제조설비에 설치되는 벨로우즈관에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체장치 제조설비에 설치되는 벨로우즈관은 수축, 이완, 틀어짐 및 비틀림 변형이 가능하도록 주름진 형상을 이루며 중심 부위가 완만한 소부를 이루고 양측 단부의 소정 부위가 조밀한 밀부로 형성된 주름부와, 상기 주름부의 양측 단부에 각각 설치되는 플랜지를 포함한 구성으로 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 주름부의 밀부가 소부의 주름진 정도보다 작게 형성되어 결합되는 플랜지와의 사이에서 수축, 이완, 틀어짐 및 비틀림에 따른 응력이 분산되어 결합 부위의 파손을 방지하게 되고, 이에 따라 장시간 사용이 가능하며, 보다 안정적으로 사용하게 되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100164529B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019960024194
申请日：1996-06-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B01D47/00
CPC classification number: B01D53/002 , B01D49/02
Abstract: 본 발명은 배출 가스 처리 장치 및 방법에 관한 것으로서, 소정의 공정을 거친 후 메인 덕트로 배출되는 가스 중에 내포된 습기 또는 흄 등을 제거할 수 있는 습기 및 흄 제거 장치를 포함하는 배출 가스 처리 장치에 있어서, 상기 습기 및 흄 제거 장치는, 소정의 공정을 거친 가스가 유입 및 배출되는 가스 유입관 및 배기관과, 폐액이 드레인되는 배수관을 갖는 통체와, 상기 통체내에 유입된 배출 가스의 체적을 팽창시켜 온도를 강하시킬 수 있도록 상기 배출 가스를 확산시키는 제1온도 강하 수단과, 상기 제1온도 강하 수단을 거쳐 배출되는 가스의 주위 압력을 낮추어 온도를 재차 강하시킬 수 있도록 소정의 가스를 가속 공급시키는 제2온도 강하 수단과, 상기 제1, 2온도 강하 수단에 의하여 액화된 가스에 내포된 습기 기타 불순물이 걸러지는 집진대� �� 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 배출 가스 중에 포함된 습기 및 흄 등이 완전히 제거될 수 있으므로 덕트의 부식을 방지하게 됨으로써 설비 유지비를 절감할 수 있고, 나아가 환경 오염을 더욱 효과적으로 예방할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100156855B1
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019950013284
申请日：1995-05-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04W72/08
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
셀룰라 단말장치에서 데이타 송수신을 위해 최적채널을 스캔하도록 하는기술이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
이동국에서 데이타 송수신시 통화채널이 페이딩 현상등과 같은 외부 영향에의해 일시적으로 강한 채널로 잘못인식하여 송수신데이타 에러가 발생하는 것을 방지한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
이동국에서 제어채널에 대한 최적재널을 선택함에 있어 수신레벨이 강한 순서대로 7개의 채널을 설정하고, 다시 7개의 채널의 수신레벨을 검색하여 수신레벨이 가장강한 3개의 채널을 추출하여 선택하므로, 이동중에도 항상 수신레벨이 가장 강한 채널을 통해 송수한할 수 있어 호의 성공률을 높인다.
4. 발명의 중요한 용도
셀룰라 이동통신시스템의 최적 채널스캔하는데 적용한다.-
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公开(公告)号：KR1019970078168A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960017272
申请日：1996-05-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김희덕
IPC: H04B7/26
Abstract: 1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
이동무선전화기의 위치파악방법에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
이동무선전화기에 기지국으로부터 수신되는 위도, 경도의 지.피.에스 정보와 상기 기지국의 명칭과 상기 기지국이 속한 지역명칭을 표시장치에 디스플레이한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
기지국으로부터 지. 피.에스 정보를 수신하기 위해 상기 기지국과 파일롯채널, 싱크채널, 시간등을 동기하는 과정과; 상기 기지국으로부터 수신되는 지. 피.에스 정보를 분석하여 상기 기지국의 명칭과 상기 기지국이 속한 지역명을 디스플레이하는 과정으로 이루어짐을 특징으로 한다.
4. 발명의 중요한 용도
이동무선전화기.-
公开(公告)号：KR1019960027134A
公开(公告)日：1996-07-22
申请号：KR1019940035964
申请日：1994-12-22
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김희덕
IPC: H02J7/00
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
재충전이 가능한 배터리에 충전전압을 공급하는 충전장치 및 충전 제어방법에 관한 것이다.
2. 발명에 해결하려고 하는 기술적 과제
만충전된 재충전 배터리를 충전시에 발생되는 과충전을 미연에 방지하여 메모리 효과를 감소시키고, 재충전 베터리의 과열을 방지하여 수명을 연장시키는 충전장치 및 제어방법을 제공한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
배터리가 초기 충전장치에 삽입시에 배터리의 충전 전압의 레벨을 실시간 감지하고, 상기 감지된 전압과 미리 설정된 만충전 임계 전압을 반복 비교하여 재충전 배터리의 충전용량의 상태를 검출한다. 그리고, 상기 충전용량 상태가 만충전 상태라고 판단시에 충전을 차단하여 메모리 효과를 감소시키고, 만충전 상태가 아니라고 판단시에는 충전을 개시하여 상기의 과정으로부터 반복수행하여 충전을 제어한다.
4. 발명의 중요한 용도
배터리의 충전 제어장치.-
公开(公告)号：KR1020160022075A
公开(公告)日：2016-02-29
申请号：KR1020140107672
申请日：2014-08-19
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04W4/16 , H04M1/274508 , H04M1/274533 , H04M1/56 , H04M1/575 , H04M1/72583 , H04M3/42153 , H04M3/58
Abstract: 다양한실시예에따르면, 전자장치에서전환정보를제어하기위한방법은, 전환정보를생성하는동작, 상대전자장치에대한발신이벤트를감지하는동작, 상기상대전자장치로상기전환정보를발송하는동작을포함할수 있다. 다양한실시예들을통해전자장치에서전환정보를제어하기위한방법을구현할수 있다.
Abstract translation: 根据各种实施例，一种用于控制电子设备中的转换信息的方法包括以下操作：产生转换信息; 感测相对于对手电子设备的发送事件; 并将转换信息发送给对方电子设备。 通过各种实施例，可以实现用于控制电子设备中的转换信息的方法。
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