公开(公告)号：KR1019990036523A

公开(公告)日：1999-05-25

申请号：KR1019980021373

申请日：1998-06-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우창우 ,  최규상 ,  신연경 ,  우재영

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 벨트구동방식을 사용하여 파티클의 발생을 방지하고, 부품의 내구성을 향상시키며, 벨트구동을 선택적으로 해제할 수 있으므로 고속이동을 용이하게 하는 엑스와이 스테이지에 관한 것이다.
본 발명에 따른 엑스와이 스테이지는, 상면에 상기 피사체를 고정하는 피사체고정수단이 설치되고, 엑스축방향으로 이동하는 것이 가능한 엑스축이동판와, 와이축방향으로 이동하는 것이 가능한 와이축이동판과, 상기 와이축이동판을 탑재하고, 일측이 검사설비에 고정되는 고정판과, 엑스축방향으로 설치되는 벨트를 구비하여 이루어지는 엑스축구동장치 및 와이축방향으로 설치되는 벨트를 구비하여 이루어지는 와이축구동장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서 파티클 및 진동의 발생을 방지하고, 이동이 균일하며, 부품의 내구성을 향상시키고, 웨이퍼 고속이동시에 이동속도가 자유로우며, 이동시에 보다 정밀한 웨이퍼 이동을 가능하게 하는 효과를 갖는다.

公开(公告)号：KR1019990033527A

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019970054902

申请日：1997-10-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우창우 ,  김희덕 ,  최규상 ,  우재영

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 검사용 현미경 및 그 조명장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 웨이퍼의 불량여부를 검사하는 반도체 웨이퍼 검사용 현미경은 조명기에 조명광로를 형성하기 위한 조명장치가 현미경 본체와 독립적으로 만들어져 광섬유로 연결되어 이루어져 있다.
본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 검사용 현미경의 조명장치는 이동가능한 하우징, 상기 하우징 내부에 장착된 발광램프, 상기 발광램프에 전원을 조절하여 공급하는 변압기 및 상기 발광램프의 전단에 형성되며 빛을 현미경의 조명기로 전달하는 광섬유를 구비하여 이루어진다.
따라서, 전기배선의 끄으름, 웨이퍼 위에 파티클 떨어짐 방지, 보다 밝은 할로겐램프 사용으로 웨이퍼 검사를 효율적으로 할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970030722A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950043770

申请日：1995-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 손병창 ,  우창우

IPC: H01L23/34

Abstract: 반도체소자 제조설비의 공조용 팬 장치가 개시되어 있다.
본 발명의 공조용 팬 장치는 일정한 온도로 유지되는 반도체 팹 룸으로부터 반도체 제조설비가 설치된 설비 룸 내부로 공기가 유통되도록 배치된 공조용 팬을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 설비의 열이 발생되고 신속히 제거되지 못함으로 인한 부품의 수명단축의 문제점을 해결하는 효과를 가진다.

公开(公告)号：KR1020080063945A

公开(公告)日：2008-07-08

申请号：KR1020070000578

申请日：2007-01-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이상열 ,  최봉 ,  우창우 ,  윤해근

IPC: H01L21/68

CPC classification number: G01N21/9505 ,  H01L22/12

Abstract: An apparatus for inspecting semiconductor wafers is provided to prevent productivity reduction due to the damage of wafers by selecting wafers having chipping defects using sensor and light emitting units. An apparatus for inspecting semiconductor wafers includes a main body(110), a rotation roller(120), a sensor unit(130), and a light emitting unit. The main body includes a wafer cassette for mounting wafers. The rotation roller installed at the main body to contact with a periphery of the wafers rotates the wafers. The sensor unit adjacent to the rotation roller detects chipping which is formed in the respective wafers. The light emitting unit adjacent to the sensor unit radiates beams to the respective wafers with an angle.

Abstract translation: 提供了用于检查半导体晶片的装置，以通过使用传感器和发光单元选择具有切屑缺陷的晶片来防止由于晶片的损坏而导致的生产率降低。 用于检查半导体晶片的装置包括主体（110），旋转辊（120），传感器单元（130）和发光单元。 主体包括用于安装晶片的晶片盒。 安装在主体上以与晶片的周边接触的旋转辊旋转晶片。 与旋转辊相邻的传感器单元检测形成在各个晶片中的碎裂。 与传感器单元相邻的发光单元以一定角度将光束辐射到相应的晶片。

公开(公告)号：KR1020070083287A

公开(公告)日：2007-08-24

申请号：KR1020060013557

申请日：2006-02-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이혁재 ,  김상호 ,  박휴림 ,  배도인 ,  서기원 ,  우창우

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/681 ,  G06T7/33 ,  G06T7/74 ,  G06T2207/30148 ,  Y10S414/136

Abstract: An apparatus and a method for aligning a wafer is provided to shorten a transfer path of the wafer and reduce a process performing time by using an imaging unit, a signal processing unit, and a robot controller. An imaging unit(20) takes an image of a wafer transferred from a load lock chamber(2) to a transfer chamber(1) to convert it into a digital signal. A signal processing unit(30) operates a centering alignment compensation value of the wafer by a comparison operation of the image signal converted into the digital signal from the imaging unit and a pre-stored master image. A robot controller(40) controls a transfer robot(10) so that the wafer supplied to a process chamber(3) is centering-aligned according to the centering alignment compensation value of the wafer transferred through the signal processing unit.

Abstract translation: 提供一种用于对准晶片的装置和方法，以缩短晶片的传输路径，并通过使用成像单元，信号处理单元和机器人控制器来减少执行时间的处理。 成像单元（20）将从负载锁定室（2）传送到转印室（1）的晶片的图像转换成数字信号。 信号处理单元（30）通过转换成来自成像单元的数字信号的图像信号和预存储的主图像的比较操作来操作晶片的定心对准补偿值。 机器人控制器（40）控制传送机器人（10），使得提供给处理室（3）的晶片根据通过信号处理单元传送的晶片的居中对准补偿值而居中对准。

公开(公告)号：KR1020070054316A

公开(公告)日：2007-05-29

申请号：KR1020050112190

申请日：2005-11-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 현기철 ,  배도인 ,  이태원 ,  조정훈 ,  우창우

IPC: H01L21/02

Abstract: 온도 조절이 가능한 밸브 시스템은 유체의 흐르는 배관을 개폐하기 위한 밸브의 온도를 조절하기 위해 밸브를 둘러싸는 열전소자 어레이를 포함한다. 온도 센서에서 밸브의 온도를 검출하고, 전원부는 열전소자 어레이로 전원을 공급한다. 제어부는 밸브의 온도가 기 설정된 온도에 근접하도록 전원부를 제어한다. 따라서 유체의 온도에 상관없이 밸브의 온도를 조절할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020060080458A

公开(公告)日：2006-07-10

申请号：KR1020050000938

申请日：2005-01-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우창우 ,  배도인 ,  최봉

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67098 ,  B01D8/00 ,  F04B37/08

Abstract: 반도체 장비에 사용되는 냉각 트랩에 관한 것으로, 가스가 포집되는 일정한 공간을 제공하는 케이스; 및 상기 케이스의 내부로 유입되어 상기 케이스의 외부로 배출되는 상기 가스의 흐름 방향으로 순차 배치되는 제1 냉각판과 제2 냉각판을 포함하고, 상기 제1 냉각판과 상기 제2 냉각판은 상기 가스와 접하는 단면적이 확대되도록 복수개의 돌기를 각각 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 냉각판에 돌기를 설치하여 냉각판의 표면적을 확대하고, 돌기의 높이를 상부 냉각판에서 하부 냉각판으로 갈수록 높게 형성한다. 이에 따라, 각 냉각판으로 하여금 가스 포집량을 균일하게 그리고 확대시킬 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100552057B1

公开(公告)日：2006-02-20

申请号：KR1019990013310

申请日：1999-04-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우창우 ,  우재영 ,  윤명식 ,  현기철

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 그라인더에서 연마되는 분석용 웨이퍼를 고정하기 위한 지그 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 지그 시스템은 지그와 지지부재를 구비한다. 상기 지그는 상기 분석용 웨이퍼가 수용될 홈이 형성되고, 상기 홈의 일면에는 스크류가 설치되어 상기 분석용 웨이퍼의 착탈을 용이하게 할 수 있다. 상기 지지부재는 상기 그라인더의 상방향에 복수개의 상기 지그가 결합되고, 상기 지그를 고정해서 상기 분석용 웨이퍼가 균일하게 연마되도록 하는 역할을 한다. 이와 같은 구성을 갖는 지그 시스템에 의하면, 분석용 웨이퍼의 착탈이 용이하기 때문에 작업성이 향상되며, 분석용 웨이퍼가 동시에 균일하게 연마되는 것이 가능하므로 설비 가동 효율이 증대되고 재작업으로 인한 시간 손실도 최소화할 수 있다. 또한, 분석용 웨이퍼가 균일하게 연마되므로 분석과 검사의 정확도가 향상되고 불균일한 단층면으로 인한 현미경 렌즈의 손상도 방지될 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980074185A

公开(公告)日：1998-11-05

申请号：KR1019970009878

申请日：1997-03-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍형식 ,  윤명식 ,  우창우

IPC: H01L21/66

Abstract: 마이크로스코프 검사장비에 전원을 자동으로 인가하거나 차단하도록 하는 마이크로스코프 검사장비의 전원 스위치장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명은 마이크로스코프 검사장비를 구성하는 각 구성부에 인가되는 전원을 선택적으로 차단하도록 하는 전원 스위치장치에 있어서, 상기 마이크로스코프 검사장비의 소정 위치에 작업자가 위치됨을 감지하는 인체 감지센서와, 상기 인체 감지센서로부터 인가되는 신호를 통해 마이크로스코프 검사장비의 전원을 선택적으로 차단하는 제어부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 마이크로스코프 검사장비의 사용할 때에만 전원을 인가하도록 함으로써 불필요한 전원에 의한 구성부의 가열 현상이 방지되어 생산라인 내의 온도 상승과 전력 소모를 줄이게 되고, 불필요한 구성부의 사용이 중단됨에 따라 마이크로스코프 검사장비의 수명이 연장되며, 이에 따라 마이크로스코프 검사장비의 관리가 용이한 이점이 있다.

公开(公告)号：KR1020070004230A

公开(公告)日：2007-01-09

申请号：KR1020050059661

申请日：2005-07-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이혁재 ,  박성욱 ,  배도인 ,  서기원 ,  우창우 ,  이태원

IPC: H01L21/68 ,  B65G47/22 ,  B25J9/06

CPC classification number: H01L21/681

Abstract: A semiconductor wafer transfer robot is provided to reduce an occupational area of semiconductor manufacturing equipment by performing simultaneously a wafer transfer function and a wafer align function. A semiconductor wafer transfer robot(40) includes a support shaft(22), a robot arm(16a,16b) on the support shaft, a robot chuck(18) with finger portions capable of supporting an edge portion of a wafer, a guide rail(26) prolonged to a robot chuck from the support shaft, a rotating unit(30) for moving and rotating the wafer according to the guide of the guide rail, a detecting unit(32a,32b) for detecting a flat zone of the wafer on the support shaft, and a controller for controlling the support shaft, the robot arm and the rotating unit.

Abstract translation: 提供半导体晶片传送机器人，通过同时执行晶片传递功能和晶片对准功能来减少半导体制造设备的职业领域。 半导体晶片传送机器人（40）包括支撑轴（22），支撑轴上的机器人臂（16a，16b），具有能够支撑晶片的边缘部分的指状部分的机器人卡盘（18），引导件 轨道（26）从支撑轴延伸到机器人卡盘，用于根据导轨的引导件移动和旋转晶片的旋转单元（30），用于检测导轨的平坦区域的检测单元（32a，32b） 支撑轴上的晶片，以及用于控制支撑轴，机器人臂和旋转单元的控制器。