Abstract:
A packaging chip having an inductor is provided to reduce a chip size and improve a Q value by implementing an inductor with a sealing material which is used in packaging and is stacked widely on an edge of a substrate. A packaging chip having an inductor includes a substrate(100), a port(120), a sealing unit(130), and a packaging substrate(160). A predetermined circuit element is mounted on the substrate(100). A port(120) is formed on an upper surface of the substrate(100). The sealing unit(130) is electrically connected to an end of the circuit element and the port(120) on the substrate(100). The packaging substrate(160) is contacted with the substrate(100) through the sealing unit(130), and packages the circuit element. The sealing unit(130) is made of a conductive material and has an inductance of a predetermined amplitude. The port(120) includes a signal port and a ground port.
Abstract:
본 발명에 의한 MEMS 소자 패키지는, MEMS 활성소자가 상면에 형성되어 있는 소자용 기판; MEMS 활성소자가 위치하는 공간 및 MEMS 활성소자의 전기적 경로를 제공하는 것으로, MEMS 활성소자의 양측에 배치되며, 제 1 패드 및 제 2 패드가 일정간격을 두고 대향된 구조의 내부전극패드; 내부전극패드의 외곽에 배치되는 실링패드; 실링패드를 통하여 소자용 기판과 결합되며, 내부전극패드의 간격이 위치하는 부분에 비아홀이 형성된 덮개용 기판; 일단이 내부전극패드와 접촉하도록 비아홀의 내측면에 형성된 연결부재; 및 연결부재의 타단과 접촉하도록 덮개용 기판의 상면에 형성된 외부전극패드;를 포함한다. MEMS, 소자, 패키지, 웨이퍼, 기판, 비아홀, Au, 전극, 실링
Abstract:
An integrated filter comprising an FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) and a SAW(Surface Acoustic Wave) resonator and a method for fabricating the same are provided to reduce the size and to improve the yield by integrating the FBAR and the SAW resonator into one substrate. An integrated filter comprising an FBAR and an SAW resonator comprises a substrate(110), a first electrode(120), a first piezoelectric layer(130), a second electrode(150), a second piezoelectric layer(140) and an inter digital transducer(IDT) electrode. The first electrode(120) is located at a predetermined first area of the top surface of the substrate(110). The first piezoelectric layer(130) is located on the first electrode(120). The second electrode(150) is located on the first piezoelectric layer(130). The second piezoelectric layer(140) is located at a predetermined second area of the top surface of the substrate(110). The IDT electrode is located on the second piezoelectric layer(140). The IDT electrode includes a first IDT electrode(160) with a comb structure and a second IDT electrode(170) with the comb structure engaged with the first IDT electrode(160).
Abstract:
An integrated device and a manufacturing method thereof are provided to widen a tuning range and reduce parasitic resistance happening in case of discrete connection by integrally manufacturing an FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) and a variable capacitor. An integrated device includes a substrate(511), a resonance unit(510), a driving electrode layer(514), a first electrode layer(525), and a second electrode layer(524). The resonance unit is formed on the substrate. The driving electrode layer is formed on the substrate by being separated from the resonance unit. The first electrode layer is separated upward from the substrate, and is formed in the shape corresponding to the resonance unit. The second electrode layer is separated upward from the substrate, and is formed in the shape corresponding to the driving electrode layer. A step is between the first electrode layer and the second electrode.
Abstract:
하나의 트리밍인덕터를 사용하는 필터가 개시된다. 본 필터는, 외부단자와 전기적 연결이 가능한 제1포트, 제2포트, 및, 접지포트가 상부 표면에 형성된 기판, 기판 상에서 제1포트 및 제2포트를 직렬로 연결하는 제1 및 제2 직렬공진기, 기판 상에서 제1포트 및 제1직렬공진기 사이에 형성되는 노드에 연결되는 제1병렬공진기, 기판 상에서 제1 및 제2 직렬공진기 사이에 형성되는 노드에 연결되는 제2병렬공진기, 및, 일측이 제1 및 제2 병렬공진기 각각과 연결되며, 타측이 접지포트에 연결되는 트리밍인덕터를 포함한다. 이에 따라, 소형의 고성능 필터를 구현할 수 있게 된다. 필터, 트리밍 인덕터, FBAR, 직렬공진기, 병렬공진기
Abstract:
제작 공정이 간단하여 구조가 단순한 위상변조기 및 그 제조방법, 이를 구비하는 듀플렉서가 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 듀플렉서는, 송신 주파수 범위 내의 신호만을 통과시키는 송신 필터; 수신 주파수 범위 내의 신호만을 통과시키는 수신 필터; 및 송신 및 수신 필터 사이에 배치되어, 송신 및 수신 필터의 송수신 신호를 상호 격리시키는 위상변조기;를 포함하며, 위상변조기는, 입력 및 출력 포트가 마련되는 기판: 입력 및 출력 포트와 연결되도록 기판에 형성되는 인덕터; 및 인덕터의 소정 영역을 공유하여 형성되게 인덕터 형성 시 기판에 마련되는 캐패시터;를 포함한다. 듀플렉서, 필터, 위상, 변조, 시프터, 인덕터, 캐패시터.
Abstract:
RF 신호의 손실을 줄일 수 있는 RF 스위치가 개시된다. 본 발명에 의한 RF 스위치는, 구동전원의 일단자와 연결되는 제1전극유닛; 상기 구동전원의 타단자와 연결되는 제2전극; 및 상기 구동전원으로부터 전원의 인가여부에 따라 상기 제1전극유닛 및 제2전극과 선택적으로 접촉되는 유전체;를 포함한다. RF 신호손실, 유전체, 임피던스, 스위치
Abstract:
본 발명에 의한 MEMS 소자 패키지는, MEMS 활성소자가 상면에 형성되어 있는 소자용 기판, MEMS 활성소자가 위치하는 공간을 제공하도록 MEMS 활성소자의 양측에 배치되며 MEMS 활성소자에 전기적으로 연결된 내부전극패드, 내부전극패드의 외곽에 배치되는 실링패드, 실링패드를 통하여 소자용 기판과 결합되며 내부전극패드에 위치하는 부분에 비아홀이 형성된 덮개용 기판, 그리고, 비아홀을 통하여 내부전극패드와 전기적인 접속을 이루도록 덮개용 기판의 상면에 형성된 외부전극패드를 포함한다. 내부전극패드와 실링패드는 Au으로 형성되며, 따라서, 소자용 기판과 덮개용 기판은 실링패드에 의해 Au-Au 다이렉트 본딩된다. MEMS, 소자, 패키지, 웨이퍼, 기판, 비아홀, Au, 전극, 실링
Abstract:
A balance filter packaging chip with balun and a manufacturing method thereof are provided to simplify the process by forming the balun on the packaging substrate. A balance filter packaging chip with balun comprises a device substrate(380), a balance filter(390), a bonding layer(400), a packaging substrate(310), a balun and an insulator layer(360). The balance filter(390) is mounted on the device substrate(380). The bonding layer(400) is accumulated in the predetermined area of the device substrate(380). The packaging substrate(310) forms a cavity on the top of the balance filter(390) and is coupled with the device substrate(380) by the bonding layer(400). The packaging substrate(310) includes at least one via hole(330), a metal layer(320) and at least one electrode(340). The via hole(330) penetrates the packaging substrate(310). The metal layer(320) connects the via hole(330) to the bonding layer(400). The electrode(340) is electrically connected to the via hole(330) on the top of the packaging substrate(310). The balun includes a capacitor(350) and an inductor(370) and is located at the predetermined area of the packaging substrate(310). The insulator layer(360) performs the passivation of the balun.