公开(公告)号：KR100335484B1

公开(公告)日：2002-05-04

申请号：KR1019990020973

申请日：1999-06-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박동진 ,  황진호 ,  길준잉 ,  박제응 ,  전상문

IPC: C07C215/02

CPC classification number: G03F7/425

Abstract: 레지스트뿐만아니라폴리머제거력이뛰어나고하부막을손상시키지않는레지스트제거제와레지스트제거용조성물, 이들의제조방법및 이를이용한레지스트제거방법에관해개시한다. 본발명에따른레지스트제거제는알콕시 N-하이드록시알킬알칸아미드로구성된다. 레지스트제거용조성물은알콕시 N-하이드록시알킬알칸아미드와쌍극자모멘트가 3 이상인극성물질, 손상방지제및 알칸올아민으로이루어진그룹에서선택된하나이상의화합물을포함한다.

公开(公告)号：KR100288769B1

公开(公告)日：2001-09-17

申请号：KR1019980027782

申请日：1998-07-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김진석 ,  길준잉 ,  박동진 ,  박상오 ,  이춘득 ,  임석영 ,  김양선

IPC: G03F7/42

Abstract: 본 발명은 포토레지스트용 스트리퍼 조성물에 관한 것으로서, 에어 나이프(air knife)가 부착된 매엽식 설비를 이용하여 포토레지스트를 박리시킬 경우에도 기판 상에 불순물 미립자가 생성되지 않도록 하기 위하여, 5 내지 15중량%의 알칸 올아민과, 35 내지 55중량%의 설폭사이드 또는 설폰 화합물 및 35 내지 55중량%의 글리콜에테르를 포함하는 포토레지스트용 스트리퍼 조성물을 제공한다. 본 발명의 스트리퍼 조성물은 베어 글라스의 세정시 불순물 입자가 생성되지 않도록 계면활성제를 더욱 포함할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020000014875A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019980034493

申请日：1998-08-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박동진

IPC: H04L12/28

CPC classification number: H04L67/125 ,  G05B19/4185 ,  H04L67/025 ,  H04Q9/02

Abstract: PURPOSE: A control system of manufacturing facility is provided which enables identification of data relating to process facility or measurement facility and control of operation thereof. CONSTITUTION: When process-related data which are inputted from a process facility(20) through a first communication network(24) and measurement-related data which are inputted from a measurement facility(22) through the first network are sent to a SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard) host computer(28), a client computer(32) connects to the first network, and requests and receives each data. The client computer refers to the received data and determines whether normal operation is performed or not. If so, present operation state is maintained. If not, the client computer sends control signal relating to program change or operation control through a second communication network(26) which shares a LAN host computer(30), and controls the process facility or the measurement facility to perform normal operation. Thereby, data and control signal are transmitted through different networks, manufacturing facility management being effectively carried out.

Abstract translation: 目的：提供制造设施的控制系统，其能够识别与处理设施或测量设备有关的数据以及其操作的控制。 构成：当从处理设施（20）通过第一通信网络（24）输入的过程相关数据和从测量设备（22）通过第一网络输入的测量相关数据被发送到SECS（ 半导体设备通信标准）主机（28），客户端计算机（32）连接到第一网络，并请求和接收每个数据。 客户端计算机参考接收的数据，并确定是否执行正常操作。 如果是，则保持当前的操作状态。 如果不是，客户端计算机通过共享LAN主机（30）的第二通信网络（26）发送与程序改变或操作控制有关的控制信号，并且控制处理设施或测量设备进行正常操作。 因此，通过不同的网络传输数据和控制信号，有效地执行制造设施管理。

公开(公告)号：KR1019990046981A

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR1019970065170

申请日：1997-12-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박동진

IPC: G01N30/62

Abstract: 본 발명은 가스크로마토그래피를 이용하여 물을 함유하는 유기물시료를 분석하는 분석장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 가스크로마토그래피를 이용한 물함유 유기물시료의 분석장치는, 필수구성요소로서 인젝터, 분석컬럼 및 검출기 등을 포함하여 이루어지는 가스크로마토그래피에서 상기 인젝터와 분석컬럼 사이에 라이너와 블랭크컬럼을 연속으로 설치하여 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 통상 가스크로마토그래피용으로 사용되는 라이너와 충진물을 넣지 않은 블랭크컬럼을 인젝터와 분석컬럼사이에 연결시켜 물을 소량 함유하는 유기물시료에 대하여 물을 제거하기 위한 전처리를 수행하지 않고도 간단히 유기물시료를 높은 신뢰도로 분석할 수 있도록 하는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100178680B1

公开(公告)日：1999-04-01

申请号：KR1019960028398

申请日：1996-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전미숙 ,  박상오 ,  황진호 ,  박동진

IPC: G03F7/26

Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제조 공정에서 포토레지스트에 대한 용해성이 우수하고, 저휘발성, 저인화성을 갖는 반도체 제조용의 무독성 포토레지스트 박리조성물에 관한 것이다.
본 발명은 에틸락테이트(Ethyl Lactate) 90 내지 60 중량%와 감마-부티로락톤(v-Butyro Lactone) 10 내지 40 중량%를 혼합하여 구성되며, 여기에서 에틸락테이트나 감마-부티로락톤은 모두 반도체 등급의 극히 순수한 것이 선택되어 사용되어질 수 있으며, VLSI 등급에서는 0.2㎛ 수준으로 여과한 것이 사용되어질 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 반도체 제조용의 무독성 포토레지스트 박리조성물은 상용적으로 사용되어지는 포토레지스트들에 대한 우수한 용해성을 가지면서도 저휘발성, 저인화성 및 무독성을 나타내며, 특히 포토레지스트들에 대하여 우수한 에지 비드 린스 특성을 제공하는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980010638A

公开(公告)日：1998-04-30

申请号：KR1019960028398

申请日：1996-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 전미숙 ,  박상오 ,  황진호 ,  박동진

IPC: G03F7/26

公开(公告)号：KR1019970002863B1

公开(公告)日：1997-03-12

申请号：KR1019930000417

申请日：1993-01-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이래환 ,  전화진 ,  최광식 ,  박홍순 ,  윤상화 ,  송광렬 ,  최해민 ,  이덕현 ,  송봉훈 ,  박동진 ,  변성진

IPC: G11B20/12

Abstract: An image song accompaniment disk recording medium and an apparatus and a method for replaying a data of the medium are disclosed. The image song accompaniment disk recording medium contains a read-in region, a program region, a read-out region. The program region comprises a first program table track for containing each index information of accompaniment song programs; a second video data table track for containing an index information of each of backgrounds; a third song data track for containing a midi data, a words data, a video order data and a song index information; a video data track for containing a video index information. The read-in region contains a start address and a number of pointers each of which points each of the tracks and a start position of the read-out region.

Abstract translation: 公开了一种图像歌曲伴奏盘记录介质以及重放介质的数据的装置和方法。 图像伴奏盘记录介质包含读入区域，程序区域，读出区域。 程序区域包括用于包含伴奏歌曲节目的每个索引信息的第一节目表轨道; 第二视频数据表轨道，用于包含每个背景的索引信息; 用于包含MIDI数据，字数据，视频订单数据和歌曲索引信息的第三歌曲数据轨道; 用于包含视频索引信息的视频数据轨道。 读入区域包含起始地址和多个指针，每个指针指向每个轨道和读出区域的开始位置。

公开(公告)号：KR1019970002862B1

公开(公告)日：1997-03-12

申请号：KR1019920024627

申请日：1992-12-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이래환 ,  전화진 ,  최광식 ,  박홍순 ,  윤상화 ,  송광렬 ,  최해민 ,  이덕현 ,  송봉훈 ,  박동진 ,  변성진

IPC: G11B20/12

Abstract: The device for the reproduction of the record media(200) is structured to be capable of interchanging with the existing CD disk and is composed of CD reproduction device(200), decoding device(600), control processor(300), buffer memory(400), and signal converter(500). During the operation, the CD reproduction device(20) receives an address information and provides CD reproduction signal to the decoding device(600), outputs an error which is detected and error-corrected data to the control processor(300). The control processor receives and keeps the data index table signal and the program index table signal to stay at the 1st and the 2nd area of the memory method(400).

Abstract translation: 用于再现记录介质（200）的装置被构造成能够与现有CD盘进行交换，并且由CD再现装置（200），解码装置（600），控制处理器（300），缓冲存储器 400）和信号转换器（500）。 在操作期间，CD再现装置（20）接收地址信息并将CD再现信号提供给解码装置（600），将检测到的错误和纠错数据输出到控制处理器（300）。 控制处理器接收并保持数据索引表信号和程序索引表信号停留在存储方法（400）的第一和第二区域。

公开(公告)号：KR1019940016014A

公开(公告)日：1994-07-22

申请号：KR1019920024627

申请日：1992-12-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이래환 ,  전화진 ,  최광식 ,  박홍순 ,  윤상화 ,  송광렬 ,  최해민 ,  이덕현 ,  송봉훈 ,  박동진 ,  변성진

IPC: G11B20/12

Abstract: 본 발명은 디스크기록매체와, 그 재생방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 리드인영역, 프로그램영역 및 리드아웃영역을 가지는 디스크기록매체에 있어서, 상기 프로그램영역은 서로 다른 인덱스를 가진 복수의 데이타신호들이 실린 제1트랙; 상기 데이타신호들중 적어도 하나 이상의 데이타신호들의 인덱스들의 순서조합으로 이루어지고 서로 다른 인덱스를 가진 복수의 프로그램들이 실린 제2트랙; 상기 각 데이타신호들의 인덱스 및 초기어드레스정보로 이루어진 데이타인덱스테이블이 실린 제3트랙; 및 상기 각 프로그램들의 인덱스 및 초기어드레스정보로 이루어진 프로그램인덱스테이블이 실린 제4트랙을 포함하며, 상기 리드인영역은 상기 프로그램영역의 각 트랙들과 상기 리드아웃영역의 초기위치를 지정하는 서로 다른 복수의 포인터와 초기어드레스정보로 이루어진 내용테이블이 실려 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 한장의 디스크에 보다 많은 프로그램을 수록할 수 있고 운영프로그램이나 응용프로그램없이 직접 대량의 프로그램을 억세스할 수 있고 경제적이다.

公开(公告)号：KR102218715B1

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：KR1020140075146

申请日：2014-06-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이헌수 ,  이용기 ,  박상현 ,  노미정 ,  최홍묵 ,  박동진 ,  전우형

IPC: G06F21/62

Abstract: 반도체장치및 상기반도체장치내에서의채널별데이터보호방법이개시된다. 본발명의반도체장치는버스, 각각이상기버스를통해데이터를주거나받을수 있는제1 및제2 기능모듈, 상기제1 기능모듈로부터전송되는제1 데이터를제1 암호화키를이용하여암호화하여제1 암호화된데이터를발생하는제1 암호화모듈, 및상기제1 암호화된데이터를상기제1 암호화키를이용하여복호화하여상기제2 기능모듈로전송하고, 상기제2 기능모듈로부터전송되는제2 데이터를제1 암호화키와다른제2 암호화키를사용하여암호화하여제2 암호화된데이터를발생하는제2 암호화모듈을포함한다.