公开(公告)号：KR1020050041464A

公开(公告)日：2005-05-04

申请号：KR1020030076651

申请日：2003-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박애나 ,  김보성 ,  홍문표 ,  이우재

IPC: G02F1/1333

CPC classification number: G02F1/13439 ,  G02F1/133305 ,  G02F1/1335 ,  G02F2001/134318 ,  G02F2201/123

Abstract: 본 발명에 따른 표시 장치용 표시판의 제조 방법은 플라스틱 기판의 외면에 기판 지지대를 접착하는 단계, 플라스틱 기판 내면 위에 복수개의 박막층을 형성하는 단계, 플라스틱 기판으로부터 기판 지지대를 분리하는 단계를 포함하고, 플라스틱 기판과 기판 지지대는 200℃ 이상의 고온에서 발포하는 발포제를 함유하는 양면 접착제를 사용하여 접착하며, 플라스틱 기판으로부터 기판 지지대는 200℃ 이상의 온도에서 일정 시간 동안 열 공정을 진행하여 분리한다.

公开(公告)号：KR1020040040087A

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：KR1020020068412

申请日：2002-11-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박홍식 ,  박애나 ,  조홍제 ,  강성철

IPC: G03F7/42

Abstract: PURPOSE: Provided is a stripper composition for a high-performance TFT-LCD photoresist, which reduces the stripping time significantly, simplifies gate array processing steps, improves the productivity and saves the cost. CONSTITUTION: The stripper composition for a photoresist comprises 20-60 parts by weight of monoethanol amine, 15-50 parts by weight of N.N-dimethylacetamide, and 15-50 parts by weight of carbitol. The stripper composition is used for a patterning method of a gate array comprising the steps of: depositing a double metal layer on a substrate, coating a photoresist and carrying out exposure and development; etching a first conductive layer; stripping the photoresist by using the stripper composition; and etching a second conductive layer.

Abstract translation: 目的：提供一种用于高性能TFT-LCD光致抗蚀剂的剥离剂组合物，显着减少剥离时间，简化了门阵列处理步骤，提高了生产率并节省了成本。 构成：光致抗蚀剂的脱模剂组合物包含20-60重量份的单乙醇胺，15-50重量份的N-二甲基乙酰胺和15-50重量份的卡必醇。 剥离剂组合物用于栅极阵列的图案化方法，包括以下步骤：在基底上沉积双金属层，涂覆光致抗蚀剂并进行曝光和显影; 蚀刻第一导电层; 通过使用剥离剂组合物剥离光致抗蚀剂; 并蚀刻第二导电层。

公开(公告)号：KR1020030095430A

公开(公告)日：2003-12-24

申请号：KR1020020032328

申请日：2002-06-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박애나 ,  강성철 ,  박홍식 ,  조홍제 ,  박봉옥

IPC: H01L29/786

Abstract: PURPOSE: A method for forming a metal pattern and a method for manufacturing a TFT(Thin Film Transistor) substrate using the same are provided to be capable of reinforcing the bonding force between the metal pattern and a lower substrate by using a bonding layer. CONSTITUTION: A bonding organic metal layer is formed at the upper portion of an insulating substrate(110) by coating the first photosensitive organic metal adhesive. A line organic metal layer is formed at the upper portion of the bonding organic metal layer by coating the second photosensitive organic metal adhesive. An exposure process is carried out at the line organic metal layer and bonding organic metal layer by using a photo mask. Then, a plurality of metal patterns(121,123,125) are formed by developing the resultant structure. At this time, the metal patterns are made of bonding metal patterns(211,231,251) and line metal patterns(212,232,252).

Abstract translation: 目的：提供一种用于形成金属图案的方法和使用其的制造TFT（薄膜晶体管）基板的方法，以能够通过使用粘合层来增强金属图案和下基板之间的结合力。 构成：通过涂覆第一感光性有机金属粘合剂，在绝缘基板（110）的上部形成接合有机金属层。 通过涂布第二感光性有机金属粘合剂，在接合有机金属层的上部形成线有机金属层。 在有机金属层的线上进行曝光处理，并且通过使用光掩模来接合有机金属层。 然后，通过显影所得到的结构形成多个金属图案（121,123,125）。 此时，金属图案由接合金属图案（211,231,251）和线金属图案（212,232,252）制成。

公开(公告)号：KR100964575B1

公开(公告)日：2010-06-21

申请号：KR1020030096493

申请日：2003-12-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이용욱 ,  이우재 ,  박애나

IPC: G02F1/13 ,  B82Y99/00

Abstract: 변형이 발생하지 않는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법 및 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 공정시 유연한 기판을 지지하기 위해 적용되는 캐리어 기판이 개시된다. 플라스틱 기판의 열 평창계수에 상응하는 열 팽창계수를 갖는 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 적층하고, 플라스틱 기판의 표면에 표시 소자를 형성한다. 이어, 플라스틱 기판으로부터 캐리어 기판을 분리시킨다. 따라서, 유연한 기판인 플라스틱 기판과 캐리어 기판간에 열 팽창계수의 차이에 의해 발생되는 변화를 효과적으로 완화시키는 구조를 가지고 있어 표시소자 형성 공정시 플라스틱 기판의 휨 현상을 효과적으로 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR100926302B1

公开(公告)日：2009-11-12

申请号：KR1020020087955

申请日：2002-12-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박애나 ,  강성철 ,  박홍식 ,  조홍제 ,  박봉욱

IPC: G01N27/00

Abstract: 세정제의 특성을 판단할 수 있는 세정력 측정 시료 및 이의 제조 방법이 개시되어 있다. 게이트 전극의 상면에 게이트 절연막을 형성하고, 게이트 절연막의 표면을 세정제로 세정한 후 게이트 절연막의 표면에 채널층을 형성한다. 채널층의 상면에는 유동성이 있는 금속인 수은으로 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성한다. 게이트 전극에 게이트 전압, 소오스 전극에 테스트 전압을 가해 소오스로부터 드레인으로 전류가 흐르도록 한다. 전류량이 많을수록 세정제의 특성이 향상되는 것을 감안하여 세정제의 세정력을 측정한다. 이로써, 세정제의 세정력을 측정하는데 필요한 시료의 제조 과정을 크게 단축시키고, 세정제의 고유한 특성을 정확하게 판단할 수 있도록 한다.
세정제, 세정력 측정 시료

公开(公告)号：KR100878268B1

公开(公告)日：2009-01-13

申请号：KR1020020032328

申请日：2002-06-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박애나 ,  강성철 ,  박홍식 ,  조홍제 ,  박봉옥

IPC: H01L29/786

Abstract: 본 발명은 금속 패턴과 하부층과의 접합성을 강화할 수 있는 금속 패턴의 형성방법과 이를 이용한 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에 관한 것으로 제1 감광성 유기 금속 착제를 도포하여 접합용 유기 금속층을 형성하는 단계, 접합용 유기 금속층 위에 금속을 포함한 제2 감광성 유기 금속 착제를 도포하여 배선용 유기 금속층을 형성하는 단계, 배선용 유기 금속층 및 접합용 유기 금속층을 광마스크를 통해 노광하는 단계, 배선용 유기 금속층, 접합용 유기 금속층을 현상하여 접합용 금속 패턴, 배선용 금속 패턴의 이중층인 금속 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
박막트랜지스터기판, 유기금속착제, 은배선, 반사전극

Abstract translation: 本发明包括：形成第一有机金属层1的步骤，一个光敏涂层粘结到制造使用形成可提高金属图案和下层之间的粘合性能的金属图案的方法中的TFT阵列面板的方法，该有机金属配合物和本，结 该方法包括涂覆第二光敏有机金属配合物，包括用于形成布线有机金属层，通过光学掩模，对布线有机金属层暴露所述有机金属层上的金属和粘结有机金属层，布线有机金属层，粘接有机金属层 发展到包括形成金属图案接合，布线金属图案的金属图案的双层的步骤。

公开(公告)号：KR100878234B1

公开(公告)日：2009-01-13

申请号：KR1020020039333

申请日：2002-07-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박애나 ,  강성철 ,  박홍식 ,  조홍제 ,  박봉옥

IPC: H01L29/786

Abstract: 본 발명은 반사막 패턴의 형성 방법 및 이를 이용한 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에 관한 것으로서 금속을 포함하는 유기 금속 착제를 도포하여 유기 금속층을 형성하고, 유기 금속층을 광 마스크를 통하여 노광하고 현상하여 반사막 패턴을 형성한다. 이어서 반사막 패턴을 열처리하여 반사도를 향상시킨다.
박막트랜지스터기판, 유기금속착제, 반사막패턴, 반사도

公开(公告)号：KR100870019B1

公开(公告)日：2008-11-21

申请号：KR1020020056767

申请日：2002-09-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조홍제 ,  박애나 ,  박홍식 ,  강성철

IPC: G02F1/136

Abstract: 본 발명에 따른 박막 트랜지스터 기판은 절연 기판, 절연 기판 위에 형성되며 주사 신호를 전달하기 위한 게이트 배선, 게이트 배선과 절연하여 교차하도록 형성되며 화상 신호를 전달하는 데이터 배선을 포함하여 이루어지는 박막 트랜지스터 기판에 있어서, 게이트 배선 또는 데이터 배선 중 적어도 하나의 배선은 제1 몰리브덴층, 알루미늄 네오디뮴층, 제2 몰리브덴층이 순차적으로 적층되어 있는 삼중층으로 이루어진다.
박막트랜지스터기판, 저저항, 배선

公开(公告)号：KR100853718B1

公开(公告)日：2008-08-25

申请号：KR1020020031419

申请日：2002-06-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박애나 ,  강성철 ,  박홍식 ,  조홍제 ,  박봉옥

IPC: H01L29/786

Abstract: 식각 특성이 우수한 MoW 박막 패턴의 형성 방법 및 이를 이용한 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판의 제조방법이 개시되어 있다. 먼저, MoW 박막은 상온∼80℃의 온도 범위에서 0.010∼0.015 Å/Ws 의 증착 속도로 스퍼터링하여 형성하도록 한다. 형성되는 MoW 박막을 식각하여 MoW 박막 패턴을 제조하도록 한다. 형성된 패턴은 잔사나 얼룩이 없고, 이중막으로 형성하고 식각한 경우에는 막간 장차도 생성되지 않을 뿐만 아니라 깨끗한 패턴으로 얻어진다. 따라서 이러한 방법을 적용하여 제조되는 MoW 박막 패턴을 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터용 기판에서 게이트 배선이나 데이터 배선용으로 적용시에 우수한 품질을 갖는 기판을 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR100715937B1

公开(公告)日：2007-05-08

申请号：KR1020040008584

申请日：2004-02-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이용욱 ,  김보성 ,  이우재 ,  허종무 ,  서종현 ,  박애나 ,  황진호

IPC: G02F1/13

Abstract: 플라스틱 기판의 변형이 발생하지 않는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법이 개시된다. 상술한 방법은 플라스틱 기판의 표면에 화상 표시소자를 형성하는 공정시 상기 플라스틱 기판의 변형을 방지하기 위한 플라스틱 기판의 적층 방법으로서, 제1 크기를 갖는 캐리어 기판을 마련 후 캐리어 기판 상에 제2 크기를 갖는 플라스틱 기판을 적어도 두 개 이상 적층하는데 있다. 이러한 방법은 유연한 기판인 플라스틱 기판과 캐리어 기판간에 열 팽창계수의 차이에 의해 발생되는 변화를 효과적으로 방지할 수 있을 뿐만 아니라 공정의 효율을 증가시킬 수 있는 특성을 갖는다.