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公开(公告)号：KR100319898B1
公开(公告)日：2002-01-10
申请号：KR1020000014024
申请日：2000-03-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼의 치수인자를 측정하는 방법 및 그 장치에 관하여 개시된다. 개시된 웨이퍼의 치수인자 측정방법은, 각각의 웨이퍼에 대하여 치수인자 중 휨정도는 레이저 빔을 이용한 광학적 측정 방식에 의해 측정하고, 휨정도를 제외한 나머지 치수인자는 커패시턴스를 이용한 전기적 측정 방식에 의해 측정하는 것을 특징으로 한다. 상기 측정방법을 실시하기 위한 웨이퍼의 치수인자 측정장치는, 웨이퍼 로딩 유니트 및 웨이퍼 언로딩 유니트와, 웨이퍼의 기준위치를 맞추기 위한 웨이퍼 포지셔닝 유니트와, 웨이퍼의 치수인자 중 휨정도를 제외한 나머지 치수인자를 전기적 측정 방식에 의해 측정하는 전기적 측정유니트와, 웨이퍼의 휨정도를 광학적 측정 방식에 의해 측정하는 광학적 측정유니트 및 상기 유니트들을 제어하기 위한 제어 유니트를 구비한다. 이러한 웨이퍼의 치수인자 측정방법 및 그 장치에 의하면, 12인치 웨이퍼의 치수인자를 측정하는 경우에도 전기적 측정 방식의 장점인 높은 측정 생산성과 광학적 측정 방식의 장점인 휨정도에 대한 측정 데이터의 높은 신뢰성을 동시에 얻을 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR100308561B1
公开(公告)日：2001-11-30
申请号：KR1019980028760
申请日：1998-07-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안정훈
IPC: F24F11/00
Abstract: 본 발명은 공기조화기의 덕트운전장치 및 그 제어방법에 관한 것으로, 실내팬에 의해 순환되는 공기를 열교환시키는 실내열교환기와, 상기 실내열교환기에서 열교환된 공기를 공기조화기 본체가 설치된 실내공간으로 토출시키는 토출구와, 상기 실내열교환기에서 열교환된 공기를 공기조화기 본체가 설치되지 않은 다른 공조공간으로 토출시키는 덕트관과, 상기 실내열교환기에서 열교환된 공기를 상기 덕트관으로 유입시키는 송풍팬을 구비한 공기조화기에 있어서, 상기 실내열교환기에서 열교환된 공기를 본체가 설치되지 않은 다른 공조공간으로 토출시키도록 덕트운전신호를 입력하는 덕트운전키와, 상기 덕트운전키의 조작에 따라 덕트운전신호가 입력되면 상기 실내열교환기에서 열교환된 공기가 상기 덕트관으로 유입되어 다른 공조공간으� �� 토출되도록 상기 송풍팬의 구동을 제어하는 제어수단과, 상기 제어수단의 제어신호에 따라 상기 송풍팬을 구동시키는 송풍팬모터구동수단으로 이루어져, 덕트운전시 실내온도와 설정온도에 따른 온도제어를 무시하고 공기조화기를 연속운전시킴으로써 덕트운전을 행하는 공조공간의 실내온도가 설정온도에 도달하지 못하여도 본체 설치장소가 설정온도에 도달하면 냉방운전을 중지시킴으로 발생하는 오동작을 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020000073223A
公开(公告)日：2000-12-05
申请号：KR1019990016389
申请日：1999-05-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: PURPOSE: A method for polishing a semiconductor wafer is provided to prevent a wave from remaining on a surface of the semiconductor wafer even after a grinding process is performed regarding the wafer having the wave, by uniformly polishing a rough surface of the semiconductor wafer CONSTITUTION: A wafer(100) is placed on wax(104) applied on a mount(102). The first surface of the wafer not contacting the wax is uniformly polished. The wafer is placed on the mount to have the first surface contact the mount. The second surface of the wafer not contacting the wax is uniformly polished.
Abstract translation: 目的：提供一种用于抛光半导体晶片的方法，即使在对具有波的晶片进行研磨处理之后，通过均匀抛光半导体晶片的粗糙表面，也可以在半导体晶片的表面上残留波。构成： 将晶片（100）放置在施加在安装件（102）上的蜡（104）上。 不接触蜡的晶片的第一表面被均匀抛光。 将晶片放置在安装座上以使第一表面与安装座接触。 不接触蜡的晶片的第二表面被均匀抛光。
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公开(公告)号：KR1020000059614A
公开(公告)日：2000-10-05
申请号：KR1019990007355
申请日：1999-03-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: A method for measuring an optimum oxygen concentration having correlation between 300 mm semiconductor wafer measuring apparatuses is to allow wafer measuring apparatuses to have a correlation. CONSTITUTION: A method for measuring an optimum oxygen concentration having correlation between 300 mm semiconductor wafer measuring apparatuses comprises the steps of: withdrawing a double side polished slug from an ingot and a double side polished wafer placed most adjacently to the slug; measuring an oxygen concentration of the double side polished slug; deciding the measured oxygen concentration value as a real oxygen concentration value; measuring an oxygen concentration of the double side polished wafer; designating the measured oxygen concentration value as a real oxygen concentration value; and performing a quality guarantee to confirming whether the oxygen concentration value of the double side polished wafer is within a necessary range.
Abstract translation: 目的：用于测量300mm半导体晶片测量装置之间的相关性的最佳氧浓度的方法是允许晶片测量装置具有相关性。 构成：用于测量300mm半导体晶片测量装置之间的相关性的最佳氧浓度的方法包括以下步骤：从最靠近放置的铸锭和双面抛光晶片中取出双面抛光块; 测量双面抛光块的氧浓度; 将测得的氧浓度值确定为实际氧浓度值; 测量双面抛光晶片的氧浓度; 将测得的氧浓度值指定为实际氧浓度值; 并且进行质量保证以确认双面抛光晶片的氧浓度值是否在必要范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990054081A
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019970073842
申请日：1997-12-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안정훈
IPC: F24F11/00
Abstract: 본 발명은 사용자가 특정 지역을 선택할 수 있도록 하고 사용지역에 따라 실내기의 풍량을 다르게 설정함으로써 공기조화의 성능을 최적화할 수 있는 공기조화기의 운전제어장치 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 운전조작수단에 실내팬의 구동속도에 따른 풍량을 가변시킬 수 있는 지역들에 대응하는 다수의 지역선택기능키를 포함하는 지역선택입력부가 설치되어 있고, 상기 지역선택입력부의 각 지역선택기능키 입력에 대응하여 상기 실내팬에 의해 실내로 유입되는 풍량을 가변설정하는 제어수단을 포함하여 구성된다. 그리고, 본 발명의 방법은 운전조작수단의 지역선택입력부에 의해 입력되는 지역선택신호를 판정하는 지역판정스텝과; 상기 지역판정스텝에서 선택된 지역에 따라 상기 실내팬을 통해 실내로 유입되도록 풍량을 가변적으로 설정하는 풍량설정스텝과; 상기 풍량설정스텝에서 설정한 풍량에 따라 상기 실내팬을 통해 실내로 유입되도록 풍량을 구동제어하는 풍량구동스텝을 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR100123452B1
公开(公告)日：1997-12-01
申请号：KR1019920016746
申请日：1992-09-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안정훈
IPC: F24F11/06
Abstract: To improve the heating efficiency, this conditioner comprises the following parts : the compressor(1) for coolant compression, the four direction valve(2) establishing the flow direction of the coolant, the indoor heat exchanger(3) conducting heat exchange, the 2 direction valve(5), the second coolant expansion device(6) which secondly expands the firstly expanded coolant, the outdoor heat exchanger(7) which conducts the heat exchange between the coolant expanded and the outdoor air, the outdoor temp detecting sensor(8), the subsidiary heater(9), the drive part(10), the control part(11), the accumulator(12) which accumulates and supplies the coolant heated to the compressor.
Abstract translation: 为了提高加热效率，该调节装置包括以下部件：用于冷却剂压缩的压缩机（1），建立冷却剂流动方向的四方向阀（2），进行热交换的室内热交换器（3），2 方向阀（5），第二冷却剂膨胀装置（6），其第二膨胀第一膨胀的冷却剂;室外热交换器（7），其传导冷却剂膨胀和室外空气之间的热交换;室外温度检测传感器 ），辅助加热器（9），驱动部件（10），控制部件（11），蓄积器（12），其累积并供应被加热到压缩机的冷却剂。
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公开(公告)号：KR1019970059612A
公开(公告)日：1997-08-12
申请号：KR1019960002114
申请日：1996-01-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 공기조화기의 전기집진장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하전부에는 고전압의 펄스신호를 인가하고, 집진부에는 직류고전압을 인가하도록 된 공기조화기의 전기집진장치에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 코로나와이어(11)에 의한 코로나방전으로 실내공기중에 포함된 부유입자를 이온화시키는 하전부(10)와, 소정의 고전압을 인가받는 복수개의 고전압판(22)에 의해 상기 하전된 입자를 집진하는 집진부(20)를 갖는 전기집진장치를 구비한 공기조화기에 있어서, 코로나방전에 의해 부유입자들을 이온화시키도록 상기 코로나와이어(11)에 소정 고전압의 펄스신호를 인가하는 펄스고전압부(12) 및 상기 하전부(10)에 의해 이온화된 입자를 집진하도록 상기 고전압판(22)에 소정의 직류고전압을 인가하는 직류고전압부(23)를 구비한 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1019960019817A
公开(公告)日：1996-06-17
申请号：KR1019940029592
申请日：1994-11-11
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 안정훈
IPC: H02S10/00
Abstract: 본 발명은 태양광 공기 조화기에 관한 것으로, 상세하게는 태양 전지 출력이 일정 전압 이상이고 컨버터의 출력이 일정 전압 이하일 때 태양 전지의 온도에 따라 동작 전압을 이동시키는 상용전력 병용형의 태양광 공기 조화기의 전원 제어 장치에 관한 것이다.
즉, 본 발명에 따른 태양광 공기 조화기의 전원 제어 장치는 태양 전지의 구성 매수를 적절한 매수가 되도록 선택할 수 있으므로, 태양 전지의 구성 매수에 따른 비용을 절감할 수 있고 태양 전지의 출력 전압, 컨버터의 출력 전압 및 태양 전지의 온도에 따라 컨버터의 최종 출력을 인버터 에어컨의 직류부분의 전압 보다 높은 전압(일정한 높은 전압)으로 제어함으로써, 태양 전지의 출력 전력의 이용 효율을 높일 수 있는 장점이 있다. -
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