Abstract:
PURPOSE: A semiconductor memory device including a spare anti-fuse array and a method for repairing the antifuse are provided to minimize the increase of a chip area by not requiring an additional control circuit for driving the spare antifuse array. CONSTITUTION: Antifuses sharing an operation control circuit which performs a program operation or read operation with a unit of a first direction are arranged in an antifuse array(30). A spare antifuse array(40) shares a spare word line with a unit of a second direction cross the first direction. The spare antifuses sharing the operation control circuit with the unit of the first direction with are arranged in the spare antifuse array. The operation control circuit includes a program block logic(10) and a read block logic(20).
Abstract:
금속막 패턴 형성방법 및 이를 이용하여 이미지 센서를 제조하는 방법을 제공한다. 이 방법은 포토 다이오드를 구비한 반도체기판을 준비하는 것을 포함한다. 상기 반도체기판의 전면 상에 층간절연막을 형성한다. 상기 층간절연막을 갖는 반도체기판의 전면 상에 금속막을 형성한다. 상기 금속막을 갖는 반도체기판 상에 상기 금속막의 소정 영역을 노출시키는 마스크 패턴을 형성한다. 상기 노출된 금속막에 대하여 5 내지 40 와트의 기판 바이어스 전력을 이용하는 건식 식각 공정을 실시하여 금속막 패턴을 형성하여 상기 포토 다이오드 상부의 층간절연막을 노출시킨다. 금속막, 금속막 패턴, 층간 절연막, 건식 식각, 이미지 센서
Abstract:
금속막 패턴 형성방법 및 이를 이용하여 이미지 센서를 제조하는 방법을 제공한다. 이 방법은 포토 다이오드를 구비한 반도체기판을 준비하는 것을 포함한다. 상기 반도체기판의 전면 상에 층간절연막을 형성한다. 상기 층간절연막을 갖는 반도체기판의 전면 상에 금속막을 형성한다. 상기 금속막을 갖는 반도체기판 상에 상기 금속막의 소정 영역을 노출시키는 마스크 패턴을 형성한다. 상기 노출된 금속막에 대하여 5 내지 40 와트의 기판 바이어스 전력을 이용하는 건식 식각 공정을 실시하여 금속막 패턴을 형성하여 상기 포토 다이오드 상부의 층간절연막을 노출시킨다. 금속막, 금속막 패턴, 층간 절연막, 건식 식각, 이미지 센서
Abstract:
A data loading circuit comprises a non-volatile storage, a deserializer, a load controller, and a loading storage. The non-volatile storage stores non-volatile data and outputs a serial signal based on the stored non-volatile data when power is supplied. The deserializer receives the serial signal and outputs a plurality of data bits at intervals of a unit period based on the received serial signal. The load controller generates a plurality of loading selection signals that are sequentially activated one-by-one at each interval of the unit period. The data loading memory circuit sequentially stores the outputted data bits at each interval of the unit period in response to the loading selection signals.
Abstract:
Disclosed are an anti-fuse circuit capable of monitoring anti-fuse program data outside of a semiconductor device, and a semiconductor device including the same. The anti-fuse circuit includes an anti-fuse array including at least one anti-fuse block, a data storage, and a first selecting circuit. The data storage receives anti-fuse program data from each of the anti-fuse blocks through data buses, and stores the received data. The first selection circuit receives the anti-fuse program data from each of the anti-fuse blocks through the data buses, and selects one of the anti-fuse program data in response to a first selection signal before outputting the selected data.