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公开(公告)号:KR1020060091955A
公开(公告)日:2006-08-22
申请号:KR1020050012756
申请日:2005-02-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C32/0444 , F16C32/0459
Abstract: 본 발명은 선형운동이 일어나는 면과 그 상대면의 면품질이 좋지 않거나 정밀도가 떨어지는 경우에도 선형모터 코일에 흐르는 전류를 제어하여 능동적으로 공극을 제어할 수 있는 능동형 제어 베어링 기구를 이용한 대행정 스테이지에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 선형 운동을 위한 선형모터 자석과 선형모터 코일를 구비하는 선형모터부를 포함하고, 특히 상기 선형모터 자석은 Halbach 자석 배열이 되도록 하여 상기 선형모터부에서 선형 운동을 위한 추진력을 생성함과 동시에 원활한 선형 운동이 이루어질 수 있도록 가이드 하는 베어링 효과를 위한 힘을 생성하도록 한다. 가이드 시스템으로 공기베어링 시스템을 사용하는 경우에는 상기 선형모터부에서 유도되는 힘 중 특정방향의 힘은 공기베어링에 예압을 가하는데 이용된다. 또한 본 발명은 공기베어링 시스템 뿐만 아니라 그 외의 가이드 시스템에 대해서도 동일하게 적용할 수 있다.
스테이지, 공기베어링, 자석배열, 능동형 제어 베어링-
公开(公告)号:KR1020060091495A
公开(公告)日:2006-08-21
申请号:KR1020050012400
申请日:2005-02-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 블라디미르프로토포포브 , 이석원 , 이문구 , 조성훈 , 김광수
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G02F1/1309 , G01N21/95 , G01N2021/9513
Abstract: 본 발명은 액정표시소자의 잉크두께검사 측정장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 잉크젯 프린트 기술을 이용하여 개발된 LCD 컬러필터의 품질검사를 위하여 각 셀 속에 차 있는 잉크의 두께를 빠른 속도로 검사할 수 있는 액정표시소자의 잉크두께검사 측정장치를 제공함에 있다.
또한 LCD 컬러필터의 두께측정에 있어서 전체면을 짧은 시간 안에 검사할 수 있고, 내부구조가 간단하며, 제작비용이 저렴한 액정표시소자의 잉크두께검사 측정장치를 제공함에 있다.
이를 위해 본 발명은 광원과, 상기 광원에서 나온 빛을 원하는 파장으로 분리하여 주는 파장변환장치와, 상기 파장변환장치에서 나온 빛을 평행광으로 만들고 대상물로 입사 시키는 조명장치와, 상기 대상물에서 반사된 빛을 반사 시키는 반사장치와, 상기 반사장치에서 나온 빛을 검출하여 전기적 신호로 변환하여 주는 광 검출장치를 포함한다.-
公开(公告)号:KR100805229B1
公开(公告)日:2008-02-21
申请号:KR1020060050928
申请日:2006-06-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 나노임프린트를 이용하여 간단한 공정으로 친수성과 소수성을 동시에 가지는 미세 패턴을 형성하는 방법을 제공한다. 본 발명은 소수성을 갖는 미세 구조물을 각인한 스탬프를 이용하여 친수성 레지스트의 표면에 상기 스탬프의 미세 구조물을 복제한다. 상기 미세 구조물의 복제는 상기 스탬프의 미세 구조물을 상기 친수성 레지스트에 접촉시켜 소정 압력으로 가압하고, 가열 또는 자외선 조사하여 상기 친수성 레지스트를 경화하고 나서 상기 스탬프를 이형하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号:KR100699270B1
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:KR1020050111040
申请日:2005-11-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B41K3/00 , B81C1/0046
Abstract: A pattern forming apparatus is provided to acquire high qualities from a predetermined pattern and to reduce pattern forming costs. A pattern forming apparatus includes a loading unit(10) for loading a predetermined object, a soft mold, a support body, and a fluid pressure supply unit. The soft mold(20) is installed over the loading unit. The soft mold includes a predetermined pattern. The support body(30) supports the soft mold. The support body encloses a pressurizing space together with the soft mold. A fluid pressure is formed in the pressurizing space. The fluid pressure supply unit(51) supplies a fluid pressure to the pressurizing space.
Abstract translation: 提供图案形成装置以从预定图案获得高品质并且减少图案形成成本。 图案形成装置包括用于装载预定物体的装载单元(10),软模,支撑体和流体压力供应单元。 软模具(20)安装在装载单元上。 软模包括预定图案。 支撑体(30)支撑软模具。 支撑体与软模一起包围加压空间。 在加压空间中形成流体压力。 流体压力供给单元51向加压空间供给流体压力。
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公开(公告)号:KR100647314B1
公开(公告)日:2006-11-23
申请号:KR1020050008749
申请日:2005-01-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/00
Abstract: 나노 임프린트 리소그래피용 정렬시스템 및 이를 채용한 임프린트 리소그래피 방법가 개시된다. 개시된 나노 임프린트 리소그래피용 정렬시스템은 몰드에 마련되어 전자들을 방출하는 복수의 전자 방출 소자와, 전자 방출 소자들에 대응하도록 마련되어 전자 방출 소자들로부터 방출된 전자들이 도달하는 전극을 구비하여, 전극에 흐르는 전류가 최대치가 될 수 있도록 몰드와 기판을 조정하여 서로 정렬시킨다.
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公开(公告)号:KR2020000014197U
公开(公告)日:2000-07-25
申请号:KR2019980027495
申请日:1998-12-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 이문구
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 고안이 속한 기술분야
본 고안은 광전송시스템에서 중계기 설치를 위한 쉘프장치에 관한 것이다.
나. 고안이 해결하고자 하는 기술적 과제
이중화되지 않은 중계기를 설치하는 쉘프장치에서 사용되지 않는 슬롯을 최소화한다.
다. 고안의 해결방법의 요지
하나의 쉘프장치가 이스트 유니트 그룹을 설치하기 위한 다수의 슬롯과, 웨스트 유니트 그룹을 설치하기 위한 다수의 슬롯을 구비하는 것을 특징으로 한다.
라. 고안의 중요한 용도
광전송시스템에 사용된다.-
公开(公告)号:KR1020000033424A
公开(公告)日:2000-06-15
申请号:KR1019980050273
申请日:1998-11-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 이문구
IPC: H04B10/00
CPC classification number: H04J14/0287 , H04J14/0273
Abstract: PURPOSE: An interface method of section overhead of regeneration unit for the optical transmission system is provided to minimize the quantity of empty slots, when the terminal of an optical transmission system composed simply of an east unit group and a west unit group is installed in the shelf. CONSTITUTION: If an RPU(Regeneration Process Unit) is a L-ADM(Linear-Add Drop Multiplexor)(100), the RPU searches whether a first group of OBU-EA, REGU-EA, OPU-EA, OBU-WA, REGU-WA and OPU-WA are determined as a working unit group(102). If the first group has been determined as the working unit group, the RPU controls a first switch to a fourth switch(106). If the RPU is not a L-ADM, the RPU searches whether the RPU is a BLSR(Bidirectional Line Sealing)/2(108). If the RPU is the BLSR/2, the RPU controls the first switch to the fourth switch(104).
Abstract translation: 目的:提供一种用于光传输系统的再生单元部分开销的接口方法,以便将简单由东单元组和西单元组组成的光传输系统的终端安装在 架。 规定:如果RPU(再生处理单元)是L-ADM(线性添加丢弃多路复用器)(100),则RPU将搜索第一组OBU-EA,REGU-EA,OPU-EA,OBU-WA, REGU-WA和OPU-WA被确定为工作单元组(102)。 如果第一组被确定为工作单元组,则RPU将第一开关控制到第四开关(106)。 如果RPU不是L-ADM,则RPU检查RPU是否为BLSR(双向线路密封)/ 2(108)。 如果RPU为BLSR / 2,则RPU将第一交换机控制到第四交换机(104)。
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