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公开(公告)号：KR1020180096086A
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：KR1020170022311
申请日：2017-02-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 반도체소자및 상기반도체소자에연결되고, 네거티브캐패시턴스(Negative Capacitance)를가지는강유전체네거티브캐패시터를포함하는네거티브캐패시턴스반도체소자에대한특성을분석하는방법은상기강유전체네거티브캐패시터에인가되는게이트-소스전압(V) 및상기강유전체네거티브캐패시터의성질정보를입력받는제 1 단계, 상기게이트-소스전압및 상기성질정보에기초하여상기강유전체네거티브캐패시터의내부전압을산출하는제 2 단계, 상기게이트-소스전압, 상기성질정보및 상기내부전압에기초하여상기강유전체네거티브캐패시터의채널표면전압을산출하는제 3 단계및 상기채널표면전압에기초하여상기강유전체네거티브캐패시터에인가되는게이트-소스전압에따른드레인전류(I)를산출하는제 4 단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101876416B1
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：KR1020110022976
申请日：2011-03-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G05B19/418 , G05B23/00 , H01L21/677 , G06K17/00
CPC classification number: H01L21/67294
Abstract: 본발명은버퍼에적재된웨이퍼캐리어에관한정보관리시스템및 방법에관한것으로서, 버퍼내의웨이퍼캐리어에부착된송수신유닛으로부터웨이퍼캐리어정보를읽는리더유닛, 상기리더유닛으로부터상기웨이퍼캐리어정보를취합하는리더유닛제어부, 상기리더유닛제어부로부터상기웨이퍼캐리어정보를취합하는버퍼제어부, 상기버퍼제어부로부터상기웨이퍼캐리어정보를전송받는웨이퍼관리부를포함한다. 본발명은버퍼내의웨이퍼캐리어정보를리더유닛제어부, 버퍼제어부에서자체적으로취합함으로써, 반도체공정중 버퍼에적재된웨이퍼캐리어에관한정보를효율적으로관리할수 있도록한다.
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公开(公告)号：KR1020170109267A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：KR1020160033139
申请日：2016-03-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/768 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0337 , H01L21/76802 , H01L23/481
Abstract: 반도체장치의제조방법이제공된다. 반도체장치의제조방법은, 제1 방향으로서로이격되는제1 도전성패턴영역및 제2 도전성패턴영역이그려진레이아웃을생성하고, 기판상에상기제1 도전성패턴영역에대응되는제1 영역과, 상기제2 도전성패턴영역에대응되는제2 영역과, 상기제1 영역과상기제2 영역사이에상기제1 영역및 상기제2 영역과이격되는제3 영역을포함하는제1 층간절연막을형성하고, 상기제1 층간절연막상에, 상기제1 영역및 상기제3 영역사이에배치되는제1 블록패턴과, 상기제2 영역및 상기제3 영역사이에배치되는제2 블록패턴을형성하고, 상기제1 블록패턴및 상기제2 블록패턴을마스크로상기제1 층간절연막의일부를제거하여, 상기제1 영역내에제1 리세스, 상기제2 영역내에제2 리세스및 상기제3 영역내에제3 리세스를형성하고, 상기제1 내지제3 리세스를각각채우는제1 내지제3 하부금속배선을형성하고, 상기제1 층간절연막상에제2 층간절연막을형성하고, 상기제2 층간절연막내에, 상기제3 하부금속배선의상면을노출시키고, 상기제1 하부금속배선및 상기제2 하부금속배선과비중첩(non-overlapped)되는제1 더미비아홀을형성하는것을포함하고, 상기레이아웃은상기제3 영역에대응되는도전성패턴영역을비포함하고, 상기제3 하부금속배선은전기적으로분리(isolation)되어있고, 상기제1 하부금속배선과상기제2 하부금속배선이이격되는거리는, 상기제1 블록패턴의폭, 상기제2 블록패턴의폭 및상기제1 더미비아홀의폭을합한값 보다클 수있다.
Abstract translation: 提供了一种制造半导体器件的方法。 一种用于制造半导体器件的方法中，第一区域中产生一第一导电图案区和第二导电图案的布局面积被吸引到彼此在第一方向上分离，且其中所述衬底上的响应于第一导电图案区域，其中 形成第一层间绝缘膜，所述第一层间绝缘膜包括与所述第二导电图案区域对应的第二区域和与所述第一区域和所述第二区域之间的所述第一区域和所述第二区域间隔开的第三区域， 在第一层间绝缘膜上形成设置在第一区域和第三区域之间的第一块图案以及设置在第二区域和第三区域之间的第二块图案， 1块图案和第二块图案作为掩模，以去除第一层间绝缘膜的一部分以在第一区域中形成第一凹槽，在第二区域中形成第二凹槽，并且在第三区域中形成第三凹槽， 形成第一凹部和第二凹部并分别填充第一凹部至第三凹部， 并且在第一层间绝缘膜上形成第二层间绝缘膜，使得第三下层金属互连的上表面暴露在第二层间绝缘膜中， 并且形成与下金属布线不重叠的第一虚设过孔，其中布局不包括与第三区域对应的导电图案区域，并且第三下金属布线电气地 其中，第一下金属互连和第二下金属互连之间的距离是第一阻挡图案的宽度，第二阻挡图案的宽度和第一虚设通孔的宽度的总和 这可能是大于该值。
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公开(公告)号：KR1020170058059A
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：KR1020150161794
申请日：2015-11-18
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 배관커플링장치는제 1 커플러, 제 2 커플러, 이송기구및 로킹기구를포함할수 있다. 상기제 1 커플러는제 1 배관을파지할수 있다. 상기제 2 커플러는상기제 1 배관과연결되는제 2 배관을파지할수 있다. 상기이송기구는상기제 2 커플러를상기제 1 커플러를향해서전후진시킬수 있다. 상기로킹기구는상기제 2 커플러를상기제 1 커플러에로킹시킬수 있다. 따라서, 작업자의수동작업없이제 1 배관과제 2 배관을견고하게연결시킬수 있다.
Abstract translation: 管道连接装置可以包括第一连接器，第二连接器，传送机构和锁定机构。 第一个连接器可以抓住第一根管子。 第二联接器可以夹紧连接到第一管道的第二管道。 并且输送机构可以使第二联接器朝第一联接器前进/后退。 锁定机构可将第二联接器锁定到第一联接器。 因此，第一管道任务2管可以牢固地连接，而不需要操作员的手动工作。
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公开(公告)号：KR1020140006190A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：KR1020120069130
申请日：2012-06-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
CPC classification number: G01B11/00 , G01B11/24 , G01B11/28 , G01B2210/56
Abstract: An optical measurement device is capable of measuring the critical dimension of a microcellular non-repetitive pattern at a high speed. The optical measurement device comprises a station for supporting a measurement object; an image obtaining part for obtaining a one-dimensional line image of the measurement object; a driving part for moving the station and the image obtaining part; and a control part which obtains a plurality of one-dimensional line images about the measurement object while varying the distance between the image obtaining part and the measurement object, which produces a two-dimensional scan image by combining the one-dimensional line images, and which detects the pattern of the measurement object by comparing the two-dimensional scan image with a plurality of two-dimensional reference images. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S220) Setting an obtaining range, an obtaining interval, and the number of obtaining times for a one-dimensional line image; (S230) Obtaining a plurality of one-dimensional line images; (S240) Producing a two-dimensional scan image by combining the one-dimensional line images; (S250) Calculating a threshold by comparing two-dimensional reference images which are previously produced with the two-dimensional scan images
Abstract translation: 光学测量装置能够以高速测量微细非重复图案的临界尺寸。 光学测量装置包括用于支撑测量对象的工位; 用于获得所述测量对象的一维线图像的图像获取部分; 用于移动车站和图像获取部分的驱动部分; 以及控制部，其在通过组合一维线图像而产生二维扫描图像的同时改变图像获取部和测量对象之间的距离来获得关于测量对象的多个一维线图像，以及 其通过将二维扫描图像与多个二维参考图像进行比较来检测测量对象的图案。 （附图标记）（AA）开始; （BB）结束; （S220）设定一维线图像的获取范围，获取间隔和获取次数; （S230）获取多个一维线图像; （S240）通过组合一维线图来生成二维扫描图像; （S250）通过比较先前与二维扫描图像产生的二维参考图像来计算阈值
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101086427B1
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：KR1020070009544
申请日：2007-01-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 콘텐트의 액세스 권리를 공유하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 콘텐트 서버가 제공하는 콘텐트에 액세스를 허가받은 제1 디바이스가 콘텐트의 액세스 권리를 공유하는 방법은 휴대형 보안 모듈을 이용해 제1 디바이스가 속해있는 홈 네트워크 상의 제2 디바이스가 제공하는 암호키에 대한 정보를 수신하고, 수신한 암호키에 기초하여 제2 디바이스를 인증한 후에 콘텐트의 액세스에 필요한 정보를 인증된 제2 디바이스에 전송함으로써, 비접촉식 근거리 무선 통신을 이용해 홈 네트워크 상에서 인증된 디바이스에게만 콘텐트의 액세스를 위해 필요한 정보를 전송하므로 콘텐트의 저작권을 효율적으로 관리할 수 있게 된다.
액세스 권리, CAS, 스마트 카드-
公开(公告)号：KR1020100063174A
公开(公告)日：2010-06-11
申请号：KR1020080121563
申请日：2008-12-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677 , H01L21/673 , H01L21/02
CPC classification number: H01L21/6773 , B65G1/0457 , B65G2201/0297 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , Y10S414/14
Abstract: PURPOSE: A cassette loader is provided to secure a cassette buffer without a change of an existing manufacturing facility by introducing a buffer space to a semiconductor manufacturing facility. CONSTITUTION: A frame(3) is attached in a manufacturing facility. A shelve unit supports a cassette while locating in the frame. A transfer robot(8) transfers the cassette. The transfer robot includes a folder type poking member(7) prepared for catching the cassette. The transfer robot includes a driving axis(6) and an elevating axis(5) capable of guiding the folder type poking member.
Abstract translation: 目的：提供盒式装载器，以通过向半导体制造设备引入缓冲空间来保护盒式缓冲器而不改变现有的制造设施。 构成：在制造设施中安装一个框架（3）。 搁架单元在定位在框架中的同时支撑盒式磁带。 传送机器人（8）传送盒式磁带。 传送机器人包括准备用于抓住盒式磁带的文件夹型戳状构件（7）。 传送机器人包括驱动轴（6）和能够引导文件夹型戳状构件的升降轴（5）。
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公开(公告)号：KR100736036B1
公开(公告)日：2007-07-06
申请号：KR1020050052056
申请日：2005-06-16
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04N21/4341 , H04N21/23406 , H04N21/23608 , H04N21/2368
Abstract: 본 발명은 AV 스트림의 서비스 품질을 보장하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 데이터를 처리하기 위한 소정의 시간에 AV 스트림을 처리하기 위한 구간을 별도로 할당하여 AV 스트림에 대한 서비스 품질을 제공하고, 입력되는 복수의 AV 스트림을 동시에 처리할 수 있는 AV 스트림의 서비스 품질을 보장하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 AV 스트림의 서비스 품질을 보장하는 장치는 입력된 데이터의 종류를 확인하는 판단부; 상기 확인 결과에 따라 소정의 순환 시간 중 AV 스트림 및 일반 데이터 처리를 위한 시분할 구간의 비율을 동적으로 조정하여 할당하는 TDMA 스케줄러; 상기 할당된 시분할 구간에 대응되는 메모리 영역에 상기 AV 스트림 및 일반 데이터를 저장하는 버퍼; 및 상기 저장된 AV 스트림 및 일반 데이터를 선입선출 방식에 따라 추출하여 출력하는 출력 포트를 포함한다.
AV 스트림, 이더넷 스위치, 순환 시간, 시분할 다중 접속-
公开(公告)号：KR1020060131540A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：KR1020050052056
申请日：2005-06-16
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04N21/4341 , H04N21/23406 , H04N21/23608 , H04N21/2368
Abstract: An apparatus for ensuring QoS(Quality of Service) of an AV(Audio Video) stream and a method therefor are provided to separately allocate a section for processing AV streams at a predetermined time for processing data, thereby offering QoS for the AV streams and simultaneously processing the plural inputted AV streams. A decider(420) confirms a type of inputted data. A TDMA(Time Division Multiple Access) scheduler(430) allocates a TDD(Time Division Duplex) section for processing general data and AV streams at a predetermined cyclic time according to the confirmed results. A buffer(440) stores the AV streams and the general data in a memory area corresponding to the allocated TDD section. An output port(450) extracts the stored AV streams and general data in FIFO(First In First Out) type to output the extracted AV streams and data.
Abstract translation: 提供了一种用于确保AV（音频视频）流的QoS（服务质量）及其方法的装置，用于在预定时间分别分配用于处理AV流的部分以处理数据，由此为AV流提供QoS 处理多个输入的AV流。 决定器（420）确认输入数据的类型。 TDMA（时分多址）调度器（430）根据确认的结果在预定的循环时间内分配用于处理通用数据和AV流的TDD（时分双工）部分。 缓冲器（440）将AV流和通用数据存储在与分配的TDD部分对应的存储区域中。 输出端口（450）以FIFO（先进先出）类型提取存储的AV流和一般数据，以输出提取的AV流和数据。
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公开(公告)号：KR100429791B1
公开(公告)日：2004-05-03
申请号：KR1020000070487
申请日：2000-11-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 이현재
IPC: G06F17/00
Abstract: PURPOSE: An apparatus and method for automatically creating, converting, and inputting a random ID and password are provided to prevent the leakage of the personal information by accessing a web site through the random-created ID and password in the log-in. CONSTITUTION: A user accesses the relevant web site by entering URL(Uniform Resource Locator) of the web site(301). The user runs a log-in mode and a log-in window is displayed through a monitor. The user enters the ID and password for the authentication to the log-in window(303). A user PC runs an ID/password conversion and input program stored to a memory, and searches and outputs the random ID/password stored to a DB(304). The random ID/password are inputted as the ID/password of an authentication site automatically or manually(305).
Abstract translation: 目的：提供一种自动创建，转换和输入随机ID和密码的装置和方法，以通过登录中的随机创建的ID和密码访问网站来防止个人信息泄露。 构成：用户通过输入网站的URL（统一资源定位器）（301）访问相关网站。 用户运行登录模式，并通过监视器显示登录窗口。 用户将用于认证的ID和密码输入登录窗口（303）。 用户PC运行存储在存储器中的ID /密码转换和输入程序，并搜索并输出存储在DB中的随机ID /密码（304）。 随机ID /密码被自动或手动输入为认证站点的ID /密码（305）。
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