公开(公告)号：KR1020170125596A

公开(公告)日：2017-11-15

申请号：KR1020160055602

申请日：2016-05-04

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 오영호 ,  김상효 ,  이현재 ,  김종환 ,  길용성

IPC: H04L1/00

Abstract: 송신장치가개시된다. 본송신장치는수신장치와신호를송수신하는안테나및 기설정된부호율에기초하여 SC-LDPC 인코딩을수행하여 SC-LDPC 코드워드를생성하고, 채널상태에따라 SC-LDPC 코드워드를구성하는서브블록에대한부호율을조정하고, 안테나를통해상기 SC-LDPC 코드워드를수신장치로전송하는신호처리부를포함한다.

Abstract translation: 发送装置启动。 所述发送装置包括构成根据编码率的基础的SC-LDPC码字被设置天线和用于发送和接收接收装置和一个信号执行SC-LDPC编码以生成所述SC-LDPC码字一组的子块，和信道状态 以及信号处理单元，用于通过天线将SC-LDPC码字发送到接收装置。

公开(公告)号：KR1020130096551A

公开(公告)日：2013-08-30

申请号：KR1020120018092

申请日：2012-02-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현재 ,  안명기 ,  김광수 ,  서인호 ,  최창훈

IPC: G02B7/28 ,  G03B13/36 ,  G02B7/09

CPC classification number: G02B27/40 ,  G02B3/10 ,  G02B7/38

Abstract: PURPOSE: An automatic focus control apparatus is provided to overlap light receiving planes of a focal line and an image sensor, thereby facilitating determining the deviation of a focal point. It easily determines to cross each other with focal point. CONSTITUTION: A beam splitter (12) splits the path of a beam of light. The path of the beam of light is classified into an incident path to a sample and a reflected path from the sample. An objective (13) concentrates the beam of light at the sample. A focal point deviation detection unit detects the deviation of a focal point of the sample. The detection is performed based on an optical spot image. [Reference numerals] (16) Control unit; (17) Stage moving unit; (18) Stage

Abstract translation: 目的：提供一种自动聚焦控制装置，用于重叠焦线和图像传感器的光接收平面，从而有助于确定焦点的偏差。 它很容易确定用焦点交叉。 构成：分束器（12）分裂光束的路径。 光束的路径被分类为样品的入射路径和来自样品的反射路径。 物镜（13）将光束聚集在样品上。 焦点偏差检测单元检测样品焦点的偏差。 基于光点图像进行检测。 （附图标记）（16）控制单元; （17）舞台移动单元; （18）舞台

公开(公告)号：KR1020130022025A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：KR1020110084665

申请日：2011-08-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김종삼 ,  김양현 ,  이현재

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67259

Abstract: PURPOSE: A substrate storage container loader is provided to prevent a substrate from being inputted to a substrate storage container twice by checking the loading state of the substrate storage container in a control unit using a dual entry sensor. CONSTITUTION: A body(10) includes a frame(11). A load port(20) simultaneously loads a plurality of substrate storage containers and includes a load port shelf(21) to form a loading surface to load the substrate storage container. A buffer port(30) includes a loading sensor(50), a kinematic coupling(32), and a reflection unit(34). A transfer robot(40) transfers the substrate storage container loaded on the load port in the body. A slide device(90) includes an LM guide and a horizontal shifter.

Abstract translation: 目的：提供一种基板储存容器装载器，用于通过使用双入口传感器检查在控制单元中的基板存储容器的装载状态来防止基板被输入到基板存储容器两次。 构成：主体（10）包括框架（11）。 负载端口（20）同时装载多个基板存储容器并且包括负载端口架（21），以形成负载表面以加载基板存储容器。 缓冲口（30）包括负载传感器（50），运动耦合器（32）和反射单元（34）。 传送机器人（40）将装载在体内的负载端口的基板储存容器传送。 滑动装置（90）包括LM导轨和水平移位器。

公开(公告)号：KR1020120105269A

公开(公告)日：2012-09-25

申请号：KR1020110022976

申请日：2011-03-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현재 ,  박병수 ,  박상혁 ,  이창수 ,  김인철

IPC: G05B19/418 ,  G05B23/00 ,  H01L21/677 ,  G06K17/00

CPC classification number: H01L21/67294 ,  H01L21/67242 ,  G05B19/41815 ,  G05B19/4189 ,  G05B2219/45031 ,  G06K2017/0048

Abstract: PURPOSE: A system and a method for managing information about a wafer carrier in a buffer are provided to rapidly restore a database by using real time FOUP(Front Opening Unified Pod) information. CONSTITUTION: An RFID reader(60) is placed in each buffer. The RFID reader reads and stores FOUP information from an RFID tag attached on an FOUP stacked in the buffer. An RFID reader controller(50) collects and stores the FOUP information stored in the RFID reader. The RFID reader controller transmits the FOUP information of each buffer to a buffer controller(70). The buffer controller transmits the FOUP information to a wafer manager(40). [Reference numerals] (41) Controller; (42) Data transmission unit; (43) Data base; (50) RFID reader controller; (60) RFID reader; (70) Buffer controller; (AA) Information transmission; (BB) Information request

Abstract translation: 目的：提供一种用于管理缓冲器中晶片载体的信息的系统和方法，以通过使用实时FOUP（Front Opening Unified Pod）信息快速恢复数据库。 构成：将RFID读取器（60）放置在每个缓冲器中。 RFID读取器从附接在堆叠在缓冲器中的FOUP上的RFID标签读取和存储FOUP信息。 RFID读取器控制器（50）收集并存储存储在RFID读取器中的FOUP信息。 RFID读取器控制器将每个缓冲器的FOUP信息发送到缓冲器控制器（70）。 缓冲控制器将FOUP信息发送到晶片管理器（40）。 （41）控制器; （42）数据传输单元; （43）数据库; （50）RFID阅读器控制器; （60）RFID读写器; （70）缓冲控制器; （AA）信息传输; （BB）信息请求

公开(公告)号：KR1019970049081A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950059248

申请日：1995-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 방주식 ,  고용선 ,  이현재

IPC: G03F7/26

Abstract: 본 발명은 반도체제조공정중에 웨이퍼상에 형성된 막질을 제거하는 방법과 이 방법에 사용되는 습식식각장치에 관한 것으로서, 그 장치의 구성은 상기 용액조(20)를 덮는 커버(28)와; 상기 커버(28)를 개폐하는 커버개폐수단과; 상기 캐리어(24)를 고정하는 캐리어홀더(36)와; 상기 커버(28)를 관통하여 형성되어 있고 그리고 상기 캐리어홀더(36)를 상하방향으로 이동시키는 캐리어이동수단과; 상기 캐리어이동수단을 회전되도록 동력을 제공하는 회전력발생수단을 포함한다. 이러한 장치를 이용하여 웨이퍼를 용액조내에 채워져 있는 식각용액에서 강제적으로 회전시키면, 그 식각용액과 각각의 웨이퍼의 마찰력을 더욱 증대시킬 수 있어서 각 웨이퍼로부터 막질을 균일하게 제거할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019970030435A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950045701

申请日：1995-11-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송재인 ,  박홍수 ,  유성준 ,  이현재

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 반도체장치의 제조에 필요한 화학용액을 개발하는데 사용되는 검사용 용액조에 관한 것으로서, 그 구성은 용기(10)와; 상기 용기(10)내에 복수의 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼수납수단와; 상기 용기(10)내에서 상기 수납된 웨이퍼를 상하방향으로 이동시키는 웨이퍼이동수단와; 상기 용기(10)를 덮는 뚜껑(20)을 포함한다. 상술한 검사용 용액조에 의하면, 반도체장치의 제조에 있어서 특정막질을 세정 또는 식각할 수 있는 화학용액의 개발에 적합할 뿐만 아니라, 웨이퍼를 수용하여서 반도체장치의 제조에 필요한 화학용액을 효율적으로 검사할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019970030430A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950043722

申请日：1995-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박흥수 ,  이현재 ,  유성준 ,  송재인

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 웨이퍼세정시스템의 프로세스 챔버내에 채워져 있는 세정용액의 농도변화를 검출하는 반도체제조시스템의 세정용액농도검출장치에 관한 것으로서, 그 구성은 상기 세정용액의 농도를 검출하기 위하여 제1출력포트를 통하여 제1제어신호를 출력하고, 입력포트를 통하여 세정용액농도검출신호를 입력하여 기준신호와 비교하여 세정용액농도가 기준농도의 범위를 벗어나는 지를 결정하며, 그리고 상기 세정용액농도가 기준농도의 범위를 벗어난 경우 제2제어신호를 출력하는 프로세서(10)와; 검사용 용기(50)와; 상기 제1제어신호를 입력하여 상기 세정용액과 초순수공급라인을 통하여 공급되는 초순수의 일정량이 상기 검사용 용기(50)내에 수용되도록 하고 그리고 일정시간경과후 상기 검사용 용기(50)내에 수용된 혼합물을 배출시키도록 제어하는 제어수단(20)과; 상기 검사용 용기(50)내에 수용된 상기 혼합물의 수소이온지수를 검출하여 상기 세정용액농도검출신호로서 상기 프로세서(10)로 제공하는 세정용액농도검출수단(40)을 포함한다. 상기 세정용액농도검출장치에 의하면, 주기적으로 또는 연속적으로 세정용액의 농도를 검사할 수 있기 때문에 세정용액의 적절한 시기에 교체할 수 있고, 그래서 세정공정중에 발생될 수 있는 웨이퍼의 손실을 초기단계에서 방지할 수 있다. 또한 세정용액이 불량한 경우, 즉 세정용액의 검출된 수소이온지수값이 일정 기준값의 범위를 벗어난 경우에 알람을 통하여 경고할수 있어서 조작자로 하여금 그 세정용액의 적절한 교체시기를 알려줄 수 있다.

公开(公告)号：KR1019970023892A

公开(公告)日：1997-05-30

申请号：KR1019950035610

申请日：1995-10-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송재인 ,  장규환 ,  남창현 ,  이현재

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/24

Abstract: 본 발명은 반도체소자의 세정장비에 관한 것으로 특히 웨이퍼의 최종 린스 이후 사용되는 IPA증기 건조기에 대한 것이다.
종래의 건조장치는 경우에 따라 다르지만 대개 IPA의 온도가 떨어지고 드레인되는데 수시간이 소요되는 문제점을 가지고 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 극복하기 위한 것으로, 반도체소자의 세정공정 중 웨이퍼의 최종 린스 후 수분을 건조하는 조와 IPA를 배출하는 배출라인을 구비하고, 상기 IPA를 배출하는 조에 연결된 배출라인과 IPA를 배출하는 배출라인 상에 쿨링 컬럼이 연결된 구조로 형성하여, IPA를 냉각컬럼을 통해 강제로 냉각시켜 배출하므로써 공정 시간을 단축하고 제품의 생산성(Through-put)을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.

公开(公告)号：KR1019970008380A

公开(公告)日：1997-02-24

申请号：KR1019950021383

申请日：1995-07-20

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남창현 ,  방주식 ,  박명준 ,  이현재

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 자동조절 정량공급장치에 관한 것으로서, 특히 케미컬용액 공급관을 통해 공급되는 용액을 받는 정량챔버; 상기 정량챔버의 오버플로우 용액을 드레인하기 위한 오버플로우관; 상기 오버플로우관에 설치되어 오버플로우되는 용액의 양을 감지하는 감지센서; 상기 정량챔버로부터 프로세스 배스에 용액을 자유낙하방식으로 공급하기 위한 정량공급관; 상기 정량챔버내에 설치되어 상하로 이동이 가능한 원통형 코아; 공정레시피 조건에 따라서, 상기 원통형 코아의 높낮이를 자동조절하는 자동조절장치를 구비한 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에서는 코아의 높낮이를 자동조절함으로써 조성비관리 및 공정변화에 따른 정량조절이 가능하다.

公开(公告)号：KR101931967B1

公开(公告)日：2018-12-27

申请号：KR1020110094318

申请日：2011-09-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김광수 ,  최창훈 ,  서인호 ,  이현재 ,  안명기 ,  전병환 ,  이성진

IPC: G02B7/28 ,  G01B9/04 ,  G01N21/956

Abstract: 레이저 스캐닝 방식을 이용한 광학 현미경의 초점 조절 장치에 공초점 방식의 수광부를 추가함으로써, 얇은 두께를 가지는 투명한 재질의 시료를 계측 및 검사하는 경우에도 시료나 대물 렌즈를 정확한 초점 위치로 이동시킬 수 있는 광학 현미경의 자동 초점 조절 장치를 제안한다.
특정 파장의 광을 출사하는 발광부; 출사된 광이 시료의 표면의 복수의 지점에 입사되도록 하기 위한 회전 가능한 웨지 미러(Wedge Mirror); 시료의 표면에서 반사되는 광의 광량을 검출하는 제 1 수광부 및 제 2 수광부; 시료의 표면에서 반사되는 광에서 초점이 맞지 않는 광은 제거하고 초점과 일치하는 광의 광량을 검출하는 공간 필터부; 및 제 1 수광부, 제 2 수광부 및 공간 필터부를 통해 검출된 광량 정보를 이용하여 광학 현미경의 초점 조절을 수행하기 위한 제어 신호를 생성하는 제어부를 포함함으로써, 얇은 두께를 가지는 투명한 재질의 시료를 계측 및 검사하는 경우에도 시료나 대물 렌즈를 정확한 초점 위치로 이동시킬 수 있고, 공초점 방식의 수광부만을 채용한 경우에 비해 초점 조절에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.